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Edwards B42402000, Инструкция по эксплуатации, Страница: 24 / 64

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l da
ta / Te

ch

nische Da

ten / Caractérisques techniques

14

© Edwards Limited 2009. All rights reserved.

Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

B424-01-885 Issue C

Position indicator maximum voltage
Stellungsanzeiger maximale Spannung
Tension maximale de l'indicateur de position

48 V

48 V

48 V

48 V

Molecular conductance

*

: l s

-1

Molekularer Leitwert

*

: l s

-1

Conductance en régime moléculaire

*

 : l s

-1

1300

4700

8000

33000

Flange size
Flanschgröße
Taille de la bride

ISO63

ISO100

ISO160

ISO250

Mass (kg): QSB/QSBP
Gewicht (kg): QSB/QSBP
Masse (kg) : QSB/QSBP

2.0/2.7

3.2/4.8

8/10

25/27

Dimensions
Abmaße
Dimensions

See 

Figure 3

 / Siehe 

Abbildung 3

 / Consulter la 

Figure 3

*

Conductance of equivalent tube length
Leitwert bei äquivalenter Rohrlänge
Conductance d’un tube de longueur équivalente

QSB63

QSB100

QSB160

QSB250

Содержание B42402000

Страница 1: ...885 Issue C Instruction Manual Betriebsanleitung Mode d emploi QSB63 100 160 and 250 Quarter Swing Butterfly Valves QSB63 100 160 und 250 Klappenventile mit Vierteldrehung Vannes papillons QSB63 100 160 et 250 ...

Страница 2: ...0 QSB250 Manual B42802000 to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative document s EN50581 2012 Technical Documentation for the Assessment of Electrical and Electronic Products with respect to the Restriction of Hazardous Substances and fulfils all the relevant provisions of 2011 65 EU Restriction of Certain Hazardous Substances RoHS Directive ...

Страница 3: ...802000 auf das bzw auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht im Einklang steht bzw stehen mit der den folgenden Norm en oder einem anderen normativen Dokument en EN50581 2012 Technische Dokumentation zur Beurteilung von Elektro und Elektronikgeräten zur Beschränkung gefährlicher Substanzen und alle einschlägigen Vorschriften erfüllen aus 2011 65 EU Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung b...

Страница 4: ... x quel s cette déclaration se réfère est ou sont conforme s à la ou aux norme s suivante s ou à un ou plusieurs autre s document s normatif s EN50581 2012 Documentation technique pour l évaluation des produits électriques et électroniques par rapport à la restriction des substances dangereuses et est ou sont conforme s aux clauses pertinentes de 2011 65 UE Directive relative à la limitation de l ...

Страница 5: ...on use period as indicated 材料成分声明 Materials Content Declaration 部件名称 Part name 有害物质 Hazardous Substances 铅 Lead Pb 汞 Mercury Hg 镉 Cadmium Cd 六价铬 Hexavalent Chromium Cr VI 多溴联苯 Polybrominated biphenyls PBB 多溴二苯醚 Polybrominated diphenyl ethers PBDE 电缆 电线 连接器 Cable wire connector X O O O O O 机械部件 Mechanical Components X O O O O O O 表示该有害物质在该部件的所有均质材料中的含量低于 GB T 26572 标准规定的限量要求 O Indicates that the ha...

Страница 6: ...This page has been intentionally left blank ...

Страница 7: ...n zum pneumatischen Ventil 4 2 Technische Daten 13 2 1 Allgemeines 13 2 2 Bestellnummern 15 3 Installation 19 3 1 Ventil auspacken und prüfen 19 3 2 Einbau des Stellhebels nur manuelle Ventile 20 3 3 Ventil installieren 20 3 4 Pneumatische Anschlüsse nur pneumatische Ventile 22 3 5 Stellungsindikator Mikroschalter Anschlüsse nur pneumatische Ventile 23 4 Betrieb 29 Table des matières Section Page ...

Страница 8: ... und QSB160P Ventile 37 5 5 3 Zusammenbau des QSB250P Ventils 38 5 6 Austausch des O Rings der Ventilplatte 39 5 7 Austausch der O Ringe an der Ventilwelle 39 5 8 Fehlersuche 40 5 8 1 Das Ventil spricht nicht an 41 5 8 2 Das Ventil ist undicht 41 6 Lagerung und Entsorgung 43 6 1 Lagerung 43 6 2 Entsorgung 43 7 Kundendienst Ersatzteile und Zubehör 45 7 1 Einführung 45 7 2 Kundendienst 46 7 3 Ersatz...

Страница 9: ...P Ventils 10 4 Abmaße mm 16 5 Pneumatikkreis für QSB63P QSB100P und QSB160P Ventile 24 6 Pneumatikkreis für QSB250P Ventil inkl Steuerventil mit 3 Bohrungen 25 7 Pneumatikkreis für QSB250P Ventil inkl Leichtbau Steuerventil mit 5 Bohrungen 26 8 Mikroschalter Kontaktbelegung für den Stellungsindikator nur pneumatische Ventile 27 Tabellen Tabelle Seite 1 Die zur Anbringung des Ventils benötigten Bef...

Страница 10: ...All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 11: ...mit Vierteldrehung QSB63P QSB100P QSB160P und QSB250P Verwenden Sie bitte das Ventil nur entsprechend den in dieser Betriebsanleitung gegebenen Anleitungen Lesen Sie diese Betriebsanleitung vor Installation und Betrieb des Ventils Wichtige Sicherheitsangaben sind durch WARNUNGS und VORSICHTS Anweisungen hervorgehoben Bitte befolgen Sie diese Anweisungen Die Verwendung von WARNUNGS und VORSICHTS An...

Страница 12: ... in beiden Richtungen gegen Atmosphärendruck beständig Die Ventile haben einen anflanschbaren Körper aus poliertem rostfreiem Stahl und sind mit einer Platte und Welle vom Klappentyp versehen abgedichtet mit einem O Ring aus Fluoroelastomer Die Rille für den O Ring der Ventilplatte ist belüftet damit ein stabiles Hochvakuum aufrechterhalten werden kann Die O Ringe und Lager der Ventilwelle sind mi...

Страница 13: ... dichten wie folgt die Ventilwelle ab z Die beiden dynamischen Wellendichtungen 3 isolieren die Hochvakuumseite des Ventilmechanismus von der Atmosphäre z Die statische Dichtung 2 am Verschluß 14 schützt das Außenende der Ventilwelle vor atmosphärischer Kontamination z Die dynamische Dichtung 4 schützt das Innenende der Ventilwelle vor Öl und Partikeln aus dem Ansteuermechanismus Alle QSB Ventilmo...

Страница 14: ...lplatte 5 und Welle 6 mittels des Verbindungsgliedes 8 Die Ventile QSB63P QSB100P und QSB160P haben doppeltwirkende pneumatische Zylinder zum Öffnen und Schließen des Ventils siehe Abbildung 2 Das Ventil QSB250P hat einen einfachwirkenden Zylinder zum Öffnen des Ventils und eine Feder zum Schließen des Ventils siehe Abbildung 3 Beachten Sie daß bei Ansicht von der oberen Fläche des Ventilflansches...

Страница 15: ... keine Montagehalterung für den pneumatischen Zylinder Alle pneumatischen Ventile sind mit Stellungsindikator Mikroschaltern ausgerüstet Der Anschlag 9 am Ende der Ventilwelle betätigt die Mikroschalter Die Schutzabdeckung 11 umschließt das Verbindungsglied und die Mikroschalter z L actionneur des vannes QSB250P se trouve sur le côté gauche de la bride voir Figure 3 Les vannes QSB250P n ont pas de...

Страница 16: ...Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Figure 1 Manually operated QSB valve Abbildung 1 Manuell betätigtes QSB Ventil Figure 1 Vanne à commande manuelle QSB ...

Страница 17: ... QSB Ventil Legende 1 Ventilkörper 2 O Ring des Verschlußstopfens 3 O Ring der Ventilwelle 4 O Ring der Ventilwelle 5 Anschlagsstift 6 Stellhebel 7 Klemmschraube 8 Hebeschraube 9 Anschlagsplatte 10 O Ring der Ventilplatte 11 Ventilplatte 12 Schraube 13 Ventilwelle 14 Verschlußstopfen Figure 1 Vanne à commande manuelle QSB légende 1 Corps de la vanne 2 Joint torique du bouchon d obturation 3 Joint ...

Страница 18: ...dwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Figure 2 Pneumatically actuated QSB63P QSB100P and QSB160P valves Abbildung 2 Pneumatisch betriebene QSB63P QSB100P und QSB160P Ventile Figure 2 Vannes à commande pneumatique QSB63P QSB100P et QSB160P ...

Страница 19: ...triebene QSB63P QSB100P und QSB160P Ventile Legende 1 Schraube 2 Ventilkörper 3 Verschlußstopfen 4 Schraube 5 Ventilplatte 6 Ventilwelle 7 Schraube 8 Verbindungsglied 9 Anschlag 10 Mikroschalter und Halterungsbaugruppe 11 Sicherheitsdeckel 12 Schraube 13 Gabel 14 Durchführungsdichtung 15 Rückplatte 16 Pneumatikzylinder 17 Montagehalterung Figure 2 Vannes à commande pneumatique QSB63P QSB100P et QS...

Страница 20: ...served Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Figure 3 Side view of pneumatically actuated QSB250P valve Abbildung 3 Seitenansicht des pneumatisch betriebenen QSB250P Ventils Figure 3 Vanne à commande pneumatique QSB250P Vue de côté ...

Страница 21: ...ng 21 Pivot pin 22 Terminal block Abbildung 3 Seitenansicht des pneumatisch betriebenen QSB250P Ventils Legende 2 Ventilkörper 9 Anschlag 10 Mikroschalter und Halterungsbaugruppe 14 Durchführungsdichtung 16 Pneumatikzylinder 18 Hebel 19 Verbindungsglied 20 Rückholfeder 21 Drehzapfen 22 Anschlußklemmenblock Figure 3 Vanne à commande pneumatique QSB250P Vue de côté légende 2 Corps de la vanne 9 Mart...

Страница 22: ...tionally left blank 12 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 23: ...tic valves cycles Maximale Anzahl Betätigungen pro Stunde Pneumatikventile Zyklen Nombre maximum d opérations par heure vannes pneumatiques cycles 360 360 360 360 Mean time to failure MTTF cycles Lebensdauer Zyklen Moyenne des temps d apparition de défaillances cycles 1 5 x 105 1 5 x 105 1 5 x 105 1 5 x 105 Minimum air pressure pneumatic valves Betätigungsdruck Pneumatikventile Gamme de pressions ...

Страница 24: ... V 48 V 48 V Molecular conductance l s 1 Molekularer Leitwert l s 1 Conductance en régime moléculaire l s 1 1300 4700 8000 33000 Flange size Flanschgröße Taille de la bride ISO63 ISO100 ISO160 ISO250 Mass kg QSB QSBP Gewicht kg QSB QSBP Masse kg QSB QSBP 2 0 2 7 3 2 4 8 8 10 25 27 Dimensions Abmaße Dimensions See Figure 3 Siehe Abbildung 3 Consulter la Figure 3 Conductance of equivalent tube lengt...

Страница 25: ...428 03 000 QSB250P B430 03 000 2 2 Bestellnummern Manuelle Klappenventile mit Vierteldrehung Pneumatische Klappenventile mit Vierteldrehung Ventil Bestellnummer QSB63 B424 02 000 QSB100 B426 02 000 QSB160 B428 02 000 QSB250 B430 02 000 Ventil Bestellnummer QSB63P B424 03 000 QSB100P B426 03 000 QSB160P B428 03 000 QSB250P B430 03 000 2 2 Numéros de référence produit Vannes papillons à commande man...

Страница 26: ... Daten Caractérisques techniques 16 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Figure 4 Dimensions mm Abbildung 4 Abmaße mm Figure 4 Dimensions mm ...

Страница 27: ...g zeigt die QSB63 QSB100 und QSB160 Ventile Beim QSB250P Ventil befindet sich der pneumatische Zylinder auf der gegenüberliegenden Seite des Ventils Cette figure illustre les vannes QSB63 QSB100 et QSB160 Sur la vanne QSB250P l actionneur pneumatique se trouve de l autre côté de la vanne K L QSB63 130 63 4 9 111 130 23 5 24 5 19 110 QSB63P 130 63 4 9 105 23 5 24 5 19 235 108 110 QSB100 165 96 8 9 ...

Страница 28: ...tionally left blank 18 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 29: ...von innerhalb WARNUNG Bei Einbau des Ventils in eine Anlage durch die Gefahrstoffe gepumpt worden sind müssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen getroffen werden WARNUNG Das Ventil nicht betätigen wenn es von Ihrem Vakuumsystem getrennt ist Zugang zum offenen Ventilmechanismus ist gefährlich WARNUNG Verwenden Sie ein geeignetes Hebegerät um das QSB250 Ventil zu transportieren Angaben zum Gewich...

Страница 30: ...tellhebels nur manuelle Ventile Die in der nachfolgenden Beschreibung in Klammern angegebenen laufenden Nummern beziehen sich auf die Abbildung 1 1 Das Ventil auf eine saubere Fläche legen und die Ventilplatte 11 vollständig so schließen daß der Anschlagstift 5 die Anschlagplatte 9 im Ventilkörper 1 berührt 2 Den Stellhebel 6 auf das Ende der Welle aufsetzen und zwar mit dem Griff nach rechts wie ...

Страница 31: ...s Ventil so abstützen daß es nicht herunterfallen kann bevor es fest in seiner Einbaustellung montiert ist Das Ventil mittels der Co Dichtung oder des umschlossenen O Ringes im Lieferumfang enthalten und geeigneten Befestigungs schrauben nicht im Lieferumfang enthalten an Ihr Vakuumsystem anschließen Anzahl und Größe der Schrauben die Sie benötigen sind in Tabelle 1 aufgeführt Tabelle 1 Die zur An...

Страница 32: ...Zylinders zu verlängern Zur Betätigung eines QSB63P QSB100P oder QSB160P Ventils empfehlen wir die Verwendung eines Regelventils mit 5 Bohrungen wie in Abbildung 5 dargestellt Zur Betätigung eines QSB250P Ventils empfehlen wir die Verwendung z eines Steuerventiles elektro pneumatisch mit 3 Bohrungen wie in Abbildung 6 dargestellt wenn das Steuerventil direkt auf dem QSB250P Ventil installiert wird...

Страница 33: ...nd mit Lötösen versehen Das QSB250P hat einen Anschlußklemmenblock wie in Abbildung 3 dargestellt Die Ziffern auf dem Anschlußklemmenblock entsprechen den Ziffern auf den Mikroschalter kontakten Siehe Abbildung 8 bezüglich der Mikroschalter Kontaktbelegung 1 Schließen Sie ein geeignetes Kabel an die Lötösen oder den Anschlußklemmenblock an Führen Sie das Kabel durch die Kabeldurchführung und befes...

Страница 34: ...5 Bohrungen 6 Nicht belegt 7 Elektrische Anschlüsse 8 QSB Ventil geht bei Stromausfall in Stellung geschlossen 9 QSB Ventil geht bei Stromausfall in Stellung geöffnet 1 Alimentation pneumatique 2 Vanne d arrêt 3 Filtre 4 Régulateur de pression 5 Vanne de commande à 5 orifices 6 Inutilisé 7 Branchements électriques 8 Vanne QSB sécurité intrinsèque électrique fermeture en cas de défaillance 9 Vanne ...

Страница 35: ...tversorgung 2 Absperrventil 3 Filter 4 Druckregler 5 Steuerventil mit 3 Bohrungen 6 QSB Ventil 7 Elektrische Anschlüsse 1 Alimentation pneumatique 2 Vanne d arrêt 3 Filtre 4 Régulateur de pression 5 Vanne de commande à 3 orifices 6 Vanne QSB 7 Branchements électriques Figure 6 Pneumatic circuit for QSB250P valve with 3 port control valve Abbildung 6 Pneumatikkreis für QSB250P Ventil inkl Steuerven...

Страница 36: ...Absperrventil 3 Filter 4 Druckregler 5 Leichtbau Steuerventil mit 5 Bohrungen 6 QSB Ventil 7 Elektrische Anschlüsse 1 Alimentation électrique 2 Vanne d arrêt 3 Filtre 4 Régulateur de pression 5 Vanne légère commande à 5 orifices 6 Vanne QSB 7 Branchements électriques Figure 7 Pneumatic circuit for QSB250P valve with lightweight 5 port control valve Abbildung 7 Pneumatikkreis für QSB250P Ventil ink...

Страница 37: ...hlossen A 1 und 2 geschlossen 2 und 3 geöffnet Geöffnet B 4 und 5 geschlossen 5 und 6 geöffnet Position de la vanne Contacts du microrupteur Fermée A 1 et 2 fermés 2 et 3 ouverts Ouverte B 4 et 5 fermés 5 et 6 ouverts Figure 8 Position indicator microswitch contact assignments pneumatic valves only Abbildung 8 Mikroschalter Kontaktbelegung für den Stellungsindikator nur pneumatische Ventile Figure...

Страница 38: ...tionally left blank 28 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 39: ...h betätigten QSBP Ventils unterliegt der Regelung durch den pneumatischen Schaltkreis Die näheren Ausführungen zu den pneumatischen Regelungskreisen unterliegen örtlichen und nationalen gesetzlichen Bestimmungen und Vorschriften und sind somit außerhalb des Umfanges dieser Betriebsanleitung Bitte beachten Sie dass bei einem Ausfall der Druckluftversorgung die Pneumatikventile QSB63 100 und 160 wah...

Страница 40: ...tionally left blank 30 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 41: ...n Atmosphäre zu erwarten ist Siehe Abschnitt 5 4 bezüglich des Austauschverfahrens Siehe Abschnitt 7 bezüglich der Bestellnummern der O Ringe 5 2 Sicherheit z Die Wartungsarbeiten nur in einem gut belüfteten Bereich durchführen z Bei Wartung eines Ventils aus einem System in dem gefährliche Prozeßsubstanzen gepumpt worden sind alle relevanten Sicherheitsanweisungen befolgen WARNUNG Beachten Sie di...

Страница 42: ...egen bewegliche Teile z Prüfen Sie das Ventil nach der Wartung auf Dichtigkeit um sicherzustellen daß keine gefährlichen Prozeßsubstanzen an Atmosphäre austreten können z Die in diesem Ventil verwendeten dynamischen Dichtungen und O Ringe bestehen aus Fluoroelastomer Fluoroelastomere können sich in sehr gefährliche Substanzen zersetzen wenn sie auf 260 C und darüber erhitzt werden Überhitzung kann...

Страница 43: ...to Section Siehe Abschnitt Voir Section Dismantle and inspect the valve Ventil zerlegen und prüfen Démontage et inspection de la vanne Every 6 months Alle 6 Monate Tous les 6 mois 5 4 Replace the valve plate O ring O Ring der Ventilplatte austauschen Remplacement du joint torique du clapet de la vanne As required typically every 1 x 105 cycles nach Bedarf im typischen Fall alle 1 x 105 Zyklen Suiv...

Страница 44: ...n Sie dann Ventilwelle und Stellhebel aus dem Ventilkörper 1 heraus Passen Sie dabei auf daß die O Ringe der Ventilwelle während dieses Arbeitsganges nicht beschädigt werden 3 Prüfen Sie den O Ring der Ventilplatte 10 den O Ring des Verschlusses 2 und die O Ringe der Ventilwellendichtung 3 und 4 Gegebenenfalls die O Ringe austauschen wie in den Abschnitten 5 6 und 5 7 beschrieben Das Ventil wieder...

Страница 45: ...eses Arbeitsganges nicht beschädigt werden 5 Prüfen Sie den O Ring der Ventilplatte den O Ring des Verschlusses und die O Ringe der Ventilwellendichtung Gegebenenfalls die O Ringe austauschen wie in den Abschnitten 5 6 und 5 7 beschrieben Das Ventil wieder zusammenbauen wie in Abschnitt 5 5 2 beschrieben 5 4 3 QSB250P Ventil Die in der nachfolgenden Beschreibung in Klammern angegebenen laufenden N...

Страница 46: ...en 7 Prüfen Sie den O Ring der Ventilplatte den O Ring des Verschlusses und die O Ringe der Ventilwellendichtung Gegebenenfalls die O Ringe austauschen wie in den Abschnitten 5 6 und 5 7 beschrieben Das Ventil wieder zusammenbauen wie in Abschnitt 5 5 3 beschrieben 5 5 Zusammenbau des Ventils 5 5 1 Zusammenbau der manuellen Ventile Die in der nachfolgenden Beschreibung in Klammern angegebenen lauf...

Страница 47: ...e Gabel 13 auf das Verbindungsglied 8 und sichern Sie dieses mit dem Stift Montieren Sie wieder den Verschluß 3 2 Die Rückplatte 15 sowie die Sicherheitsabdeckung 11 wieder montieren und mit den Schrauben 12 sichern 3 Montieren Sie die Ventilplatte 5 wieder an der Ventilwelle 6 und befestigen Sie sie mit den Schrauben 4 4 Prüfen Sie ob die geschlossene Ventilplatte korrekt abdichtet Gegebenenfalls...

Страница 48: ...die geschlossene Ventilplatte korrekt abdichtet Gegebenenfalls die Schrauben 4 lösen und die Ventilplatte einjustieren Das Ventil fest schließen um die Ventilplatte zu zentrieren und die Schrauben festziehen 3 Den pneumatischen Zylinder 16 Hebel 18 und Verbindungsglied 19 wieder am Ventilkörper 2 anbringen und mit den Schrauben sichern 4 Bringen Sie den Anschlag 9 wieder am Ende der Ventilwelle 6 ...

Страница 49: ...der Rille in der Ventilplatte herauszuholen entsorgen Sie den O Ring 3 Prüfen Sie die Rille für den O Ring sowie die Kontaktflächen Überarbeiten Sie Oberflächen die zerkratzt oder beschädigt sind 4 Fetten Sie den neuen O Ring leicht mit Fomblin Fett ein und setzen Sie diesen neuen O Ring in die Rille in der Ventilplatte ein 5 Das Ventil wieder zusammenbauen wie in den Abschnitten 5 5 1 5 5 2 oder ...

Страница 50: ... 5 5 2 oder 5 5 3 je nach Modell beschrieben 5 8 Fehlersuche Es folgt hier eine Auflistung möglicher Fehlerzustände und ihrer wahrscheinlichen Ursachen um Ihnen bei einer einfachen Fehlersuche zu helfen Wenn Sie aber einen Fehler mit Hilfe dieser Betriebsanleitung nicht beheben können wenden Sie sich zwecks Unterstützung an Ihren Lieferanten oder Ihr nächstgelegenes Edwards Service Center 2 A l ai...

Страница 51: ...t betätigt wird kann bei anschließender Betätigung ein erhöhter Druck zur Öffnung des Ventils erforderlich sein dies ist auf Haftreibung am O Ring der Ventilplatte zurückzuführen z Das Ventil ist verstopft z Der pneumatische Zylinder ist defekt 5 8 2 Das Ventil ist undicht z Der O Ring der Ventilplatte und oder die Sitzrille sind beschädigt z Die O Ringe an der Ventilwelle sind beschädigt 5 8 1 La...

Страница 52: ...tionally left blank 42 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 53: ...rn bis es gebraucht wird Bei Bedarf das Ventil dann installieren wie in Abschnitt 3 beschrieben 6 2 Entsorgung Das QSB Ventil und alle von demselben abgebauten Teile und Komponenten nur unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits und Umweltschutzbestimmungen sicher entsorgen Besondere Vorsicht ist bei Komponenten geboten die durch gefährliche Prozeßsubstanzen kontaminiert worden si...

Страница 54: ...tionally left blank 44 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

Страница 55: ...Netz von Vertriebs firmen erhältlich Die Mehrzahl dieser Firmen beschäftigt Wartungstechniker die umfassende Edwards Schulungen besucht haben Ersatzteile und Zubehör bei Ihrer nächstgelegenen Edwards Vertretung oder Vertriebsstelle bestellen Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil folgendes an z Modell und Bestellnummer Ihrer Ausrüstung z Seriennummer z Bestellnummer und Bezeichnung...

Страница 56: ...e Austauschen die Reparatur das Überholen und Prüfen auf Einhaltung der Werksspezifkationen Alle Geräte die gewartet repariert oder überholt wurden werden mit voller Garantiegewährung wieder an unsere Kunden zurückgesandt Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe stellt Ihnen auch Edwards Wartungstechniker zur Verfügung die die Wartung den Service oder die Reparatur Ihrer Geräte vor Ort durchführen Fü...

Страница 57: ...blin Fett 100 g H113 50 003 Ventilplatte O Ring für QSB63 H021 06 161 Ventilplatte O Ring für QSB100 H021 06 055 Ventilplatte O Ring für QSB160 H021 06 210 Ventilplatte O Ring für QSB250 H021 06 095 Ventilwelle O Ringe Satz für QSB63 und QSB100 H021 06 010 Ersatzteil Bestellnummer Ventilwelle O Ringe Satz für QSB160 H021 06 011 Ventilwelle O Ringe Satz für QSB250 H021 06 121 7 3 Pièces détachées P...

Страница 58: ...gen für QSB63P QSB100P und QSB160P Regelventil mit 3 Bohrungen für QSB250P Elektr Steuerspannung Bestellnummer 110 V Wechselstrom 1 phasig 50 oder 60 Hz H062 00 136 230 V Wechselstrom 1 phasig 50 oder 60 Hz H062 00 137 Elektr Steuerspannung Bestellnummer 24 V Gleichstrom H062 00 124 24 V Wechselstrom 1 phasig 50 oder 60 Hz H062 00 125 110 V Wechselstrom 1 phasig 50 oder 60 Hz H062 00 126 230 V Wec...

Страница 59: ...z B287 03 031 230 V a c 1 phase 50 or 60 Hz B287 03 032 24 V d c B287 03 055 Leichtbau Steuerventil mit 5 Bohrungen für QSB250P Elektr Steuerspannung Bestellnummer 24 V Wechselstrom 1phasig 50 oder 60 Hz B287 03 030 110 V Wechselstrom 1phasig 50 oder 60 Hz B287 03 031 230 V Wechselstrom 1phasig 50 oder 60 Hz B287 03 032 24 V Gleichstrom B287 03 055 Vanne legère de commande à 4 orifices pour vanne ...

Страница 60: ...tionally left blank 50 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited B424 01 885 Issue C Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est délibérément laissée vierge ...

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Страница 63: ...n of Vacuum equipment and Components Procedure HS1 If you are returning a vacuum pump note the following If a pump is configured to suit the application make a record of the configuration before returning the pump All replacement pumps will be supplied with default factory settings Do not return a pump with accessories fitted Remove all accessories and retain them for future use The instruction in...

Страница 64: ...P800 80 000 Issue T edwardsvacuum com ...

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