Burkert 8006 Series, Руководство по эксплуатации

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104 - MFC/MFM
français
La définition de la consige (w) s'effectue électriquement via un signal normalisé ou
un bus de terrain. La valeur instantanée (x) détectée par le système est
comparée à l'intérieur du régulateur avec la valeur de consigne. Le régulateur
délivre comme valeur réglante un signal en tension modulé à largeur d'impulsion
variable à l'organe de réglage. Le facteur d'impulsion du signal en tension est
modifié en fonction de l'écart de réglage constaté.
Par ailleurs, la valeur instantanée est transmise vers l'extérieur via une interface
électrique analogique ou un bus de terrain. Elle est disponible à des fins de
contrôle ou pour tout autre mise en valeur par l'utilisateur (par ex. détermination de
la consommation par intégration).
Le principe de mesure thermique garantit que le MFC est insensible aux
fluctuations de pression et de température dans toute application de régulation du
débit massique.
Comparativement au MFC, le MFM n'est pas équipé de la vanne proportionnelle,
de sorte que cet appareil est uniquement utilisable pour la mesure du débit
massique, et non pas pour la régulation. Les caractéristiques décrites ci-après
des autres composants, en particulier des capteurs, sont identiques à celles du
MFC.
Capteur Q
Régulateur
Organe de
réglage
p
w
x
y
x
out
x
d
=w-x
Figure: Composants d'un Mass Flow Controller
Fonctionnement général
Les MFC du type 8626 / 8716 / 8713 / 8712 / 8711 / 8710 sont des appareils
compatibles dont la fonction et de contrôler le débit massique de gaz. Ils assurent
la régulation en fonction d'une consigne de débit prédéterminée, indépendamment
des grandeurs perturbatrices telles que fluctuations de pression ou résistance à
l'écoulement variable dans le temps, résultant par exemple du colmatage d'un
filtre.
Les MFC contiennent les composants suivants: capteur de débit (Q-Sensor),
l'électronique (assurant les fonctions de traitement du signal, de régulation et de
commande de la vanne) et une électrovanne proportionnelle constituant l'organe
de réglage.