Varian 969-9447, Instruction Manual

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ISTRUZIONI PER L’USO
4 87-900-905-01 (I)
MESSAGGIO DESCRIZIONE AZIONE CORRETTIVA
CHECK CONNECTION TO
PUMP
Malfunzionamento nel collegamento tra
pompa e controller Verificare che il cavo di collegamento tra
pompa e controller sia ben fissato da
entrambe le estremità e non sia interrotto.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
PUMP WAITlNG INTERLOCK
È attivo il segnale di interlock presente
sul connettore P1 a causa dell'interru-
zione del corto circuito tra il pin 3 ed il
pin 8 del connettore J1, o a causa
dell'apertura del segnale di interlock
esterno. Ripristinare il corto circuito tra il pin 3 ed il
pin 8 del connettore J1, o chiudere il
segnale di interlock esterno
FAULT: PUMP OVERTEMP. La temperatura del cuscinetto
superiore della pompa ha superato
i 60 °C.
La temperatura del cuscinetto inferiore
della pompa ha superato i 100 °C
.
Attendere che la temperatura ritorni al di
sotto della soglia.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
FAULT: CONTROLLER
OVERTEMPERATURE
La temperatura del trasformatore del
controller ha superato i 90 °C. Attendere che la temperatura ritorni al di
sotto della soglia.
Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
FAULT: TOO HIGH LOAD
Durante il funzionamento normale la
corrente assorbita dalla pompa è
maggiore di quella programmata (8 A). Verificare che il rotore della pompa abbia la
possibilità di ruotare liberamente. Premere
due volte il pulsante START per riavviare la
pompa.
FAULT: SHORT CIRCUIT Durante il funzionamento normale
(dopo la fase di avvio) la connessione
di uscita è in corto circuito (corrente di
uscita maggiore di 16 A). Verificare i collegamenti tra pompa e
controller. Premere due volte il pulsante
START per riavviare la pompa.
OVERVOLTAGE Si è verificato un guasto nella sezione
di alimentazione del controller, o il
controller ha ricevuto un segnale
spurio. Premere due volte il pulsante START per
riavviare la pompa.
Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla
Varian per la manutenzione.
FLOW METER ALARM Allarme relativo al flusso di purge. Il
valore del flusso è rimasto ad un valore
inferiore alla soglia impostata, per un
tempo maggiore o uguale a 10 secondi. Controllare il corretto funzionamento del
circuito di alimentazione del gas.