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dem auf der Folie angegebenen Wert anzupassen. Der aktuell gemessene Kalibrierpunkt
blinkt im Display.
4) Messen Sie mehrfach an verschiedenen Punkten und drücken Sie bei jedem Anheben die
„CAL“-Taste. Wenn das Gerät 3x piept wird ein Durchschnittswert für die aktuelle Kalibrierung
angezeigt.
5) Drücken Sie die Links-Taste zur Bestätigung und um den Kalibrierpunkt als erfolgreich
abzuschließen. Wenn Sie die Rechts-Taste drücken, brechen Sie den Kalibriervorgang für
diesen Messpunkt ab.
6) Benötigen Sie mehr Kalibrierpunkte, verwenden Sie eine weitere Kalibrierfolie und
wiederholen Sie die Punkte 3), 4) und 5).
7) Haben Sie die Kalibrierung erfolgreich beendet, drücken Sie die CAL-Taste zum Beendigen
des
Kalibrier-Modus.
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Jedes Batch kann einzeln kalibriert werden (Null- und Multi-Punkt-Kalibrierung).
t
Erfolgt eine Kalibrierung bis zu 4 Messpunkten, müssen die gemessenen Punkte für einen
Neustart erst gelöscht werden.
t
Vor der Kalibrierung gemessene Werte haben keinen Einfluss auf die neuen Messungen.
t
Wir empfehlen eine Kalibrierung im Einzelmessmodus.
6.3 Gestrahlte Oberflächen (raue Substate)
Die physikalische Natur von gestrahlten Oberflächen führt zu dem Ergebnis, dass die Werte einer
Schichtdickenmessung zu hoch sind.
Der Durchschnittswert auf den Spitzen kann wie folgt ermittelt werden.
Methode 1:
1) Das Gerät sollte gem. Punkt 6.2 (1-Punkt- oder Multi-Punkt-Kalibrierung) kalibriert werden.
Verwenden Sie eine glatte Kalibrierprobe mit demselben Krümmungsradius und aus dem
gleichen Substrat wie die zu messende Probe.
2) Messen Sie an ca. 10 Punkten auf dem unbeschichteten, kugelgestrahlten Substrat, um einen
Durchschnittswert „A“ zu bekommen.
3) Messen Sie an ca. 10 Punkten auf dem beschichteten, kugelgestrahlten Substrat, um einen
Durchschnittswert „B“ zu erhalten.
4) Schichtdicke T = (B-A) ± S.
„S“ ist die höchste Standardabweichung von Punkt 2) und 3).
Methode 2:
1) Das Gerät sollte gem. Punkt 6.2 (1-Punkt- oder Multi-Punkt-Kalibrierung) auf dem
kugelgestrahlten Substrat kalibriert werden.
2) Messen Sie an ca. 10 Punkten auf dem zu prüfenden Substrat, um einen Durchschnittswert
festzulegen.
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