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(J) 3
出力
信号ピッチ
最小分解能
測定範囲
精度 (20
°C
にて)
測定力 (20
°C
にて)
原点
最大応答速度
エアー駆動
耐振動 (10
〜
2000 Hz)
耐衝撃 (11 ms)
保護等級
使用温度範囲
保存温度範囲
電源電圧
消費電力
ケーブル長
ステム径
質量
*1
測定子
付属品
出力ケーブル長
(後続電子部まで)
A/B/Z相電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422 準拠)
40 µm
12 mm
12 mm
ストロークタイプ
下方位 : 0.6
±
0.3 N
横方位 : 0.5
±
0.3 N
上方位 : 0.4
±
0.3 N
一カ所 (スピンドル移動 1 mmの位置にて)
真空引き込み (DK812FLR/DK812FLR5)
100 m/s
2
1000 m/s
2
IP66
(インターポレーションBOXとコネクタ除く)
0 °C
〜
50 °C
−
20 °C
〜
60 °C
DC
+
5 V
±
5%
1.8 W
2.5 m
φ
9.5
0
–0.009
約30 g
締め付けナット、ウェーブワッシャ、クランプスパナ、回り止めピン
12 m max.
■ 各部の名称
ケーブル
* イラストモデル: DK812FLR
* DK812FR / DK812FR5には、エアーリフターは取付できません。
■ 仕様
インターポレーションBOX
コネクタ
DK812FLR
測定子
エアーリフター取付口
ステム (
φ
9.5 mm)
防塵ベローズ
締め付けナット
ウェーブワッシャ
高分解能タイプ
DK812FR, DK812FLR
0.1 µm
0.5 µm
1 µmp-p
1.5 µmp-p
42 m/min
100 m/min
汎用分解能タイプ
DK812FR5, DK812FLR5
ご注意
∗
1
質量は、ケーブル部およびインターポレーションBOXを除いたときの値です。
超硬合金球面付 (DZ-123)
取付ねじM2.5
スチール球面付
取付ねじM2.5
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