PTS-G5K13M
PTS Co., Ltd.
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PR Trip
If PR Trip is generated a continuously, check whether coaxial cable is normal or
not and, contact us. When the product burns on the issues our Company will not
take responsible.
INT-L
It occurs if the equipment-side Interlock occurrence or Analog Interface INT-L is Open,.
8-2 Reflected Power Control
The RF generator has a built in functionality to protect against Reflect Power
.
8-3 Maximum Output Control
The RF Generator has embedded functions to control the maximum output.
Please refer Handy Controller usage.
8-4 Slow Up, Down
본 Generator는 안정적인 플라즈마 형성을 위하여 설정 Power까지 도달하는
시간을 지정할 수 있습니다. 사용자 설정에 의하여 300~500msec까지
설정가능하며, 설정시 Set Power까지 Forward Power가 도달하는 시간이
선형적으로 변경됩니다.(Slow Down은 Option사양이므로 당사 문의 바랍니다.)
8-5 Arc Cut
본 Generator는 Arc 발생시 출력 Power를 제어하는 기능이 내장되어 있습니다.
Arc발생시 2usec이내에 감지하여 출력 Power를 Off하고 약 10usec후
재출력합니다. 감도는 정격출력의 0~100%까지 지정 가능하며,
Ramp up후 활성화되기 때문에 Reflect Power에 의해 오동작을 하지 않습니다.
