2
Table of contents
Table of contents
1
About this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1
Validity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2
Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
2
Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.1
Safety precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2
Proper use. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.3
Improper use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
3
Transport and storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.1
Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
3.2
Storage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
4
Product description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
4.1
Product identification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
4.2
Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
4.3
Range of application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
5
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5.1
Set-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5.2
Preparatory work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5.3
Connecting the high vacuum side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5.4
Connecting the exhaust side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
5.5
Connecting to the mains power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
5.6
Connecting accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
6
Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
6.1
Commissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
6.2
Operation modes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
6.3
Function description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
6.4
Operation with gas ballast valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
6.5
Monitoring of the operation conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
6.6
Switching off and venting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
7
Maintenance / replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
7.1
Maintenance intervals and responsibilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
7.2
Removal of components for their maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . 16
8
Decommissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
8.1
Shutting down for longer periods. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
8.2
Re-starting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
8.3
Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
9
Malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
9.1
Rectifying malfunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
10
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
11
Spare parts HiCube 80 Eco . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
12
Technical data and dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
12.1
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
12.2
Technical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
12.3
Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Declaration of conformity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
