1.
装置とサンプルプローブを接続することができる長さに吸気チュー
ブを切断します。チューブはできるだけ短くしてください。長さが
3 m
以下であることを確認してください。
2.
カウンターを真空源と接続するための真空チューブを切断します。
チューブはできるだけ短くしてください。
3.
取り付け時にチューブに異物が入り込まないように、チューブの端に
カバーを取り付けます。
4.
フックまたはケーブルタイを
1.2 m
以下の間隔で取り付けて、チュー
ブを固定します。チューブの曲げ半径が
10 cm
以上になっていて、
空気流量が減少しないことを確認します。
5.
吸気チューブを装置の吸気用継手に接続します。チューブのもう一
方の端を付属のサンプルプローブに接続します。
6.
真空チューブをカウンターの裏面
(
または側面
)
にある継手に接続し
ます。真空チューブのもう一方の端は、クリーンルームのサンプリン
グ準備が整うまで接続しないでください。
配線
配線にあたっての安全
警 告
感電死の危険。ローカル電源切断へのアクセスが容易であることを確
認します。
告 知
電気配線を接続する前に必ず装置の電源を切断してください。
装置への接続が行われる間は、すべての安全に関する記載事項に従って
ください。
電源に接続
外部電源
(24 VDC)
を
5
ピンまたは
10
ピンコネクタに接続します。配
線情報については、
と
を参照してください。
外部電源の出力電圧が
28 VDC
を超えていないことを確認してくださ
い。
通信オプションに応じて、外部電源に接続できる装置の最大数は異なり
ます。詳細については、技術サポートにお問い合わせください。
5
に示す手順を参照してください。
10
ピンコネクタの配線については、
に示す手順を参照してくださ
い。
図
7 5
ピンコネクタ
表
5 5
ピンコネクタ配線
ピン
説明
ピン
説明
1
—
4
ユニット主電源
(9
~
28 VDC
、最大
1 A)
2
—
5
コモン
3
コモン
(
シールド接地
)
図
8 10
ピンコネクタ
100
日本語
Summary of Contents for MET ONE 6003
Page 2: ...English 3 Fran ais 24 Espa ol 48 72 91 113 2...
Page 13: ...Figure 9 5 pin connector wiring Figure 10 10 pin connector wiring English 13...
Page 75: ...1 3 1 1 ModBus FX 2 Status 10Base T 100Base T 2 2 1 3 2 4 3 3 75...
Page 77: ...3 m 10 ft 3 m 10 ft 1 m 3 m 10 ft schedule 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 77...
Page 78: ...5 DIN 79 6 90 90 T 78...
Page 81: ...9 5 10 10 81...
Page 83: ...12 1 5 2 6 4 20 mA 3 24 VDC 7 24 VDC 4 8 13 1 3 2 4 VHP IPA 83...
Page 89: ...3 PC CSV 15 1 1 7 cfm L min 2 8 cfm L min 3 9 RH 4 10 5 11 6 1 89...
Page 90: ...9 9 1 90 X 90 X FMS 90...
Page 95: ...2 2 1 3 2 4 3 3 3 1 3 5 2 4 3 0 0 1 cfm 0 3 m 0 5 m F 1 1 0 cfm 0 5 m N 95...
Page 97: ...3 m 3 m 1 m 3 m 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 97...
Page 98: ...5 DIN 99 6 90 90 T 98...
Page 99: ...6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 1 2 2 95 30 cm 30 cm 4 4 Hytrel Bevaline Tygon Hytrel Bevaline Tygon 99...
Page 112: ...HACH Japan 9 9 1 112 X 112 X FMS 1 112...
Page 114: ...5 1 CE 1 ISO21501 4 CD 114...
Page 119: ...DIN DIN 5 5 DIN 119...
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Page 133: ...9 9 1 133 X 133 X FMS 1 133...
Page 134: ......
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