High Capacity Helium Compressor
Manual
Brooks Automation
8040600
Revision A
4-1
4
Installation
Overview
This chapter provides you with the information required to install the High
Capacity Helium Compressor and connect it to multiple On-Board 8F
Cryopumps for 300mm PVD configurations.
Chapter Contents
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Supply and Return Water Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Hard Water Lines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Flexible Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-4
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Power Cable Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-5
Phase Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-8
RS-232 Cable Connections (Optional). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Emergency Off (EMO) System Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Multiple On-Board 8F Cryopump for 300mm PVD Flexline Connections . . . . . .4-10
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-10
