Agilent Technologies TwisTorr 305 FSQ, User Manual

Page: 141 / 218

取扱説明書
Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual 141
注意
鋭い縁による損傷のリスク。
ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常に鋭くなっています。
•
ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け / 取り
外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。
•
高真空フランジ内で直接操作しないでください。
•
必要に応じて、指令
EN 420
に従った保護手袋を着用してください。
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターの
t
特定
の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。
ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されて
いるどの部分へも放出されています。
警告
装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された
取り付けの指示に厳密に従ってください！