Agilent Technologies TV 551 Navigator, User Manual

Page: 177 / 328

Felhasználói Kézikönyv
Használat
11
TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 177/328
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a
rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemen eti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
FIGYELEM!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív
gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges
porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N
2
, Ar) stabil áramlását védelmet
viselő szivattyú számára (lásd “Technical Information” függelék).
VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!