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WIKA Betriebsanleitung Ultra High Purity Transducer, Typ WUD-2x
DE
11611057.05 08/2021 EN/DE
9. Technische Daten
9. Technische Daten
Technische Daten
Typen WUD-20, WUD-25 und WUD-26
WUD-20 / WUD-25
WUD-26
Messbereich
psi
-
30
60
100
160
250
350
500
1,000 1,500
bar
-
2
4
7
11
17
25
36
70
100
Überlastgrenze
1)
psi
120
120
120
210
320
500
750
1,100 2,100 3,000
Berstdruck
1)
psi
1,800 1,800 1,800 2,200 2,600 4,800 6,200 7,400 8,000 10,500
Messbereich
psi
2,000 3,000 5,000
bar
145
225
360
Überlastgrenze
1)
psi
4,200 6,600 10,000
Berstdruck
1)
psi
10,500 10,500 10,500
Messprinzip
Dünnfilmsensor
Werkstoff
Messstoffberührte
Teile
Prozessanschluss
CrNi-Stahl 316L, nach SEMI F20 (Option: 316L VIM/VAR)
Drucksensor
2.4711 / UNSR 30003
Gehäuse
Unterteil
304 SS
Kunststoffkopf
PBT
Tastatur
TPE
Displaykappe
PC
Inboard Helium-
Lecktest
< 1 x 10
-9
mbar l/sec (atm STD cc/sec) nach SEMI F1
Oberflächengüte
Elektropoliert, typ. Ra ≤ 0,13 µm (RA 5); max. Ra ≤ 0,18 µm (RA 7) nach SEMI F19
Totraumvolumen
WUD-20 < 1,5 cm
3
, WUD-25 < 1 cm
3
, WUD-26 < 1 cm
3
Zulässige Messstoffe
Spezialgase, Nebel, Flüssigkeiten
1) 1 psi = 0,069 bar