background image

BRUKERVEILEDNING 

 17 

87-900-915-01(E) 

GENERELL INFORMASJON 

Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. 
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen 
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke 
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av 
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, 
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av 
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med 
nasjonale bestemmelser. 
Turbo-V2000 ICE serien med pumper er turbo-molekulære 
pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan 
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke 
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. 
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000 
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000 ICE 
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for 
anlegg med behov for "rene" vakuum. 
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er 
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer 
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". 

Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: 

 

,

 

ADVARSEL! 

Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet 
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke 
følges, kan medføre alvorlige skader. 

 FORSIKTIG ! 

Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de 
ikke følges, kan føre til at utstyret skades. 

MERK

 

Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra 
teksten. 

LAGRING 

Når pumpene transporteres eller lagres, må følgende 
miljømessige krav oppfylles: 

temperatur: fra -20°C til +70°C 

relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) 

Skal utstyret lagres lengre, må pumpen MYKSTARTES (se 
kontrollenhetens manual). 

KLARGJØRE TIL INSTALLASJON 

Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser 
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, 
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. 
Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned 
eller utsettes for noen form for støt. 
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer 
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 
om miljøbeskyttelse. 

 

FORSIKTIG !

 

For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal 
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid 
hansker eller andre og passende verneutstyr. 

MERK

 

Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. 
Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i 
systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for 
nedstøving. 

 

 

INSTALLASJON 

 

,

ADVARSEL! 

Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk 
av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. Ved behov må 
man bruke øyeboltene som skal skrues fast i de gjengete 
hullene M8 på pumpehuset. 
 
Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er 
produsert for å brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt 
hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum 
Technologies eller din forhandler for annet bruk. 
Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, 
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer 
eller miljøer med stor brannfare. 
Under bruk må følgende forhold respekteres: 

maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) 

temperatur: fra +5°C til +35°C 

relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens). 

 

 

  

FORSIKTIG !

 

Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når 
turbopumpen skal sluttes til systemet.

 

 

 

Содержание Turbo-V 2000 ICE

Страница 1: ...9127 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA...

Страница 2: ...Turbo V 2000 ICE...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...9 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 VENT DEVICE INSTALLATION 31 VENT VALVE INSTALLATION 32 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES 33 Gas Purge 33 Gas Purge Vent Device Description 33 Solid State Flowmeter Ins...

Страница 6: ...azzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare...

Страница 7: ...raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento PERICOLO Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare...

Страница 8: ...und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltnisse vorliegen Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend Nach extrem langer Lagerung mu die P...

Страница 9: ...akuumkammer darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120 C nicht berschreiten Vakuumsystemen die TP mit Was serk hlung arbeiten GEFAHR W hrend des Ausheizens d rfen weder die Pumpe noch...

Страница 10: ...il faudra veiller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche...

Страница 11: ...urs le refroidissement par eau pendant les op rations de chauffage DANGER viter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peu...

Страница 12: ...n las condiciones ambientales siguientes temperatura de 20 C a 70 C humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START...

Страница 13: ...empre la refrigeraci n por agua durante las operaciones de calentamiento PELIGRO No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede pro...

Страница 14: ...evem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20 C a 70 C humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT START ver manua...

Страница 15: ...deve ultrapassar 120 C Utilizar sempre o resfriamento com gua durante as opera es de aquecimento PERIGO N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A eleva...

Страница 16: ...belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve v...

Страница 17: ...sunit Tijdens het eventuele verwarmen van de vacu mkamer mag de temperatuur van de ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 C bedragen Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe GEVAAR Raak d...

Страница 18: ...ade p udstyret BEM RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumperne skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20 C...

Страница 19: ...en og rotoren ikke overskride 120 C Brug altid vandafk ling under opvarmningen ADVARSEL R r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh r under opvarmningsman vrerne Den h je temperatur kan for rsage...

Страница 20: ...ARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20 C till 70 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Efter l ng f rvaring skall pumpen start...

Страница 21: ...en ska temperaturen f r ing ngsfl nsen och rotorn inte verstiga 120 C Under uppv rmningen m ste vattenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r a...

Страница 22: ...pfylles temperatur fra 20 C til 70 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Skal utstyret lagres lengre m pumpen MYKSTARTES se kontrollenhetens manual KLARGJ RE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesi...

Страница 23: ...ling under oppvarmingen ADVARSEL Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller...

Страница 24: ...stoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Jos varastointiaika on hyvin pitk tulee pumppu k ynnist SOFT STA...

Страница 25: ...120 C K ytt k aina kuumentamisen aikana vett j hdytykseen VAARA lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P...

Страница 26: ...louqej periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C m cri 70 C scetik ugras a 0 95 asump knwth An o cr noj apoq keushj e nai pol makr j h antl a qa pr pei na teqe se k nhsh me tr po SOFT START bl pe...

Страница 27: ...ta ugr y xh KINDUNOS KINDUNOS KINDUNOS KINDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH...

Страница 28: ...TORAGE When transporting and storing the pumps the following envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20 to 70 C relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is...

Страница 29: ...nd of the rotor must not exceed 120 C Always use the water cooling system during the heating operations WARNING Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high...

Страница 30: ...rced air cooling A water cooling kit is available to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when forced air is insufficient for cooling purposes Two thermistor sensors are mou...

Страница 31: ...TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo V2000 ICE outline dimensions The dimensions arte indicated in mm inches 26 87 900 915 01 E...

Страница 32: ...5 bar 45 to 75 Psi Bakeout tempera ture 80 C at inlet flange ISO flange 120 C at inlet flange CF flange Max rotor temperature 120 C Vibration level displacement 0 01 m at inlet flange Motor supplied...

Страница 33: ...CAL INFORMATION Graph of compression ratio vs foreline pressure measured with vertical axis Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 28 87 900 91...

Страница 34: ...h a 120 Vac power supplied controller mod 969 9449 CAUTION The use of a wrong supply voltage heating jacket model may cause a serious damage to both heat ing jacket and controller It is applied to the...

Страница 35: ...338 metallic model and 969 9348 plastic model Model 969 9338 Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be hel...

Страница 36: ...LATION Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjust...

Страница 37: ...e mod 969 9843 allows to avoid un desired venting of the pump during a temporary power failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Tighten...

Страница 38: ...ing figure or model 969 9115 operating in the range from 0 to 150 SCCM with Nitrogen and from 0 to 125 SCCM with Argon that connected to the controller can monitor the flow of the protective gas purge...

Страница 39: ...for refer ence Ask VARIAN for proper temperature set ting Heater jacket must be always on even during start up and shutdown 1 Turbo V controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional Fil...

Страница 40: ...mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures...

Страница 41: ...Inlet screen ISO 250 969 9350 Heating jacket 120 Vac 969 9821 Heating jacket 220 Vac 969 9820 Water cooling kit for American fractional tubes 969 9338 Water cooling kit for Metric tubes 969 9348 Pump...

Страница 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Страница 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Страница 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Отзывы: