manualshive.com logo in svg

Varian 969-8871, Инструкция по эксплуатации

Поделиться
Скачать
Varian 969-8871 Скачать руководство пользователя страница 98

TECHNICAL INFORMATION 

 93

 

87-900-968-01(C)

 

OFF
SET 

MEANING  

18 B

7 - 4 

Vent/Purge Auto/Man diag status 

B

3 - 0 

Vent/Purge Remote/Profibus diag status 

19 B

7 - 4 

Interlock Mode diag status 

B

3 - 0 

Set Point Logic diag status 

20 B

7 - 4 

Heater Jacket Mode diag status 

B

3 - 0 

Load Gas Type diag status 

21 B

7 - 4 

Purge Gas Type diag status 

B

3 - 0 

Start/Stop/Interlock Mode diag status 

22 B

7 - 4 

Set Point Type diag status 

B

3 - 0 

Analog Out Type 

23 B

7 - 4 

Reserved 

B

3 - 0 

Reserved 

External diagnostic

 

INLET SCREEN INSTALLATION 

 

The inlet screen mod. 969-9138 prevents the 
blades of the pump from being damaged by debris 
greater than 5.2 mm diameter. 

The inlet screen, however, does reduce the pump-
ing speed by about 10%. 

The inlet screen is fitted in the upper part of the 
pump, as shown in the figure. 

It is welded to the center ring of the ISO 250 F vi-
ton gasket. 

 

The screen can be removed as shown in the fol-
lowing figure. 

 

The following figure shows the ISO 250 F pump 
flange section with the protection screen fitted on 
it. As you can see, the overall dimensions do not 
change as the inlet screen remains inside the 
pump profile. 

 

!

   

CAUTION

 

If the chamber of the system is "baked" at a high 
temperature, a shield should be installed to pre-
vent thermal radiation heating the high vacuum 
flange on the pump. The maximum temperature 
allowed for the inlet flange is 80° C. 

WATER COOLING CONNECTION 

The pumping system is supplied with a metallic 
model water cooling kit. 

 

Содержание 969-8871

Страница 1: ...IENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA INSTRUCTION MANUAL ...

Страница 2: ...Turbo V 2K G ...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...n Protocol 77 Window Meanings 79 MONITORR 81 Powering on the MoniTorr 81 Operation 81 Maintenance 81 MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC 81 MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure 82 Interconnections 83 Network Connector RS 485 83 Installing the File Download Software 83 Operating Procedure 84 Download Software 84 Functionality 84 Modifying the Parameters 84 Archive Sa...

Страница 6: ...lla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci fica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata PERICOLO Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel...

Страница 7: ... pompe Turbomolecolari Varian devono essere osservate le seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti con dizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidità relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la p...

Страница 8: ...Turbo V 2K G ha dei connettori per gli ingressi uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibi le Assicurarsi che l isolamento del dispositivo connesso alla Tur bo V 2K G abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010 1 Per l installazione degli ac...

Страница 9: ...e Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo V 2K G indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni opera tive del sistema acceso fisso la pompa è in rotazione ...

Страница 10: ...ndung mit dem spezifischen Ge wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden GEFAHR Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen ...

Страница 11: ...lekularpumpen zu gewährleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten Während des Transports der Handhabung und der Einla gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensie rend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in gan...

Страница 12: ...ie Gegenkonnek toren zu verwenden Der Turbo V 2K G hat Verbinder für den Ein und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation die an die Außenkreise ange schlossen werden müssen sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist Sicherstellen daß die Isolierung der an den Turbo V 2K G angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert wie es von der Richtlinie EN 61010 1 vorge...

Страница 13: ...ungskabel dürfen nur die PN 969 9957 oder 969 9958 verwendet werden Das Kabel ist am Controller mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen siehe nachstehende Abbildung Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose um Stromschläge zu vermeiden und den Anforde rungen der EG Richtlinien zu entsprechen Das System wird mit einer grünen LED gelief...

Страница 14: ...rande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors En cas de panne du système par exemple à cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l énergie de rotation pourrait être libérée DANGER Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation dé crites dans ce manuel...

Страница 15: ...mances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian il est indispensable de res pecter les instructions suivantes Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am biantes suivantes température de 20 C à 70 C humidité relative de 0 à 95 non condensante A la première utilisation les pompes turbomoléculaires doivent toujou...

Страница 16: ...e pro tection IP 54 Le Turbo V 2K G dispose de connecteurs pour les en trées sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu aucune partie sous tension ne soit accessible S assurer que l isolation du dispositif branché au Turbo V 2K G a une isolation appropriée même en condition de panne indivi duelle selon les termes de la norme EN 61010 1 P...

Страница 17: ...N 969 9957 ou 969 9958 et le fixer au contrôleur à l aide de la bride prévue voir la figure ci dessous Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et satisfaire les requis des normes CE Le système est muni d un LED vert piloté par un signal d état La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo V 2K G ind...

Страница 18: ...ebido a la alta velocidad de rotación en combi nación a la masa específica de sus rotores En el caso de un daño del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energía de rotación podría ser liberada PELIGRO Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descrita...

Страница 19: ...superarse las siguientes condiciones ambientales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente ATENCIÓN ...

Страница 20: ... suministrados adjuntos El Turbo V 2K G tiene conectores para las entradas salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al Turbo V 2K G mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería de conformidad con lo establecido por...

Страница 21: ... de la correspondiente abrazadera véase la siguiente figura Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE El sistema cuenta con un LED verde piloteado por una señal de estado El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TURBO V 2K G indica con la frecuencia de su p...

Страница 22: ...a cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específi ca de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o e stator ou uma ruptura do rotor a energia de rotação pode ser liberada PERIGO Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual ...

Страница 23: ...ade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian devem ser observadas as seguintes prescrições durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 não condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativá las sempre em modalidade Soft Start o tempo ...

Страница 24: ...e para garantir o isolamento IP 54 O Turbo V 2K G tem dois conectores para as entradas saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão Assegure se de que o isolamento do dispositivo ligado ao Turbo V 2K G esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria conforme previsto pela norma NE 61010 1 Para a instalaç...

Страница 25: ... os PN 969 9957 ou 969 9958 e fixar o cabo ao controller utilizando a braçadeira específica ver a figura que se segue Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE O sistema está equipado com um LED verde comandado por um sinal de estado A luz piloto verde LD1 posicionada no painel da base do...

Страница 26: ...e energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen GEVAAR Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd ...

Страница 27: ...de voorschriften in acht worden genomen tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd ...

Страница 28: ...K G bezit connectoren voor de ingangen uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo V 2K G goed geïsoleerd is ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010 1 Zie Technical Information voor installatie van accessoires di...

Страница 29: ...opsluitbeugel zie volgende figuur Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG normen Het systeem is voorzien van een groene LED die door een statussignaal wordt aangestuurd De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo V 2K G geeft door de frequentie van zijn knipperen de werkcondit...

Страница 30: ... høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren går i stykker kan omdrejningsenergien spredes ADVARSEL For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning ...

Страница 31: ...de følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian Sørg for at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft Start funktionen ved m...

Страница 32: ...on Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele Kontrollér at anordningen der er tilsluttet Turbo V 2K G har en passende isolering Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010 1 Der henvises til bilaget Teknisk Information for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret ANVENDELSE ...

Страница 33: ...ve konsol se nedenstående figur Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt som på passende måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og opfylde kravene ifølge CE EF normerne Systemet er udstyret med en grøn LED som overvåges af et signal for tilstand Den grønne LED LD1 der er anbragt på panelet på TURBO V 2K G s fundament angiver systemets funktion ved blink konstant tændt...

Страница 34: ...otationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppstå i systemet t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det hända att rotationsenergin frigörs VARNING För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga ...

Страница 35: ...de anvisningar för att garantera optimal pre standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras Temperaturområde 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången De turbomolekylära pumpa...

Страница 36: ... utrustad med kontaktdon för ingångarna utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att komma åt någon spänningsförande del Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo V 2K G har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010 1 Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i Technical Information ...

Страница 37: ...ast strömkabeln art nr 969 9957 eller 969 9958 Fäst strömkabeln vid styrenheten med hjälp av en lämplig fästbygel se följande figur Använd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar och enligt krävande EU normer Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO V 2K G anger genom frekvensen av dess blinkninga...

Страница 38: ...inivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren kan roteringsenergien bli frigitt ADVARSEL For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installa sjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye ...

Страница 39: ...drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges Under transport flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden må alltid soft starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 må...

Страница 40: ...ykker for inn utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo V 2K G har en egnet isolering også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010 1 standarden For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Teknisk informasjon BRUK Alle instruksjoner for kor...

Страница 41: ... 969 9958 og fest den til styreenheten med det bestemte festet se figuren nedenfor Bruk denne kabelen og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk støt og for å overholde EU forskriftene Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal Den grønne lysdioden LD1 på TURBO V 2K G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink den lyser fast pumpen roterer norm...

Страница 42: ...heutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan Järjestelmän vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa pyörimisenergia saattaa vapautua VAARA Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi ...

Страница 43: ...ARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirretään ja varastoidaan seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää lämpötila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivistävä Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään si...

Страница 44: ...ttuja liittimiä taataksesi IP54 eristyksen Turbo V 2K G laitteissa on liittimet sisääntuloille ulostuloille sekä sarjakytkennälle jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi Varmista että Turbo V 2K G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010 1 säännösten edellyttämällä t...

Страница 45: ...oketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa jotta sähköiskuilta vältytään ja CE normien vaatimukset täyttyvät Järjestelmä on varustettu vihreällä LED valolla jota ohjataan tilasignaalilla Vihreä LED LD1 joka sijaitsee TURBO V 2K G n perustan paneelissa osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet palaa jatkuvasti pumppu pyörii normaalisti vilkkuu hitaasti noin 400 ms n j...

Страница 46: ...περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος για παράδειγµα επαφής ρότορα επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα η ενέργεια περιστροφής µπορεί να ελευθερωθεί KINDUNOS Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού οι οδηγίες εγκατάστασης όπως δίνονται στο παρ...

Страница 47: ...r pei na throÚntai oi exÿj prodiagraf j kat th metafor th diak nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn den pr pei na uperba nontai oi exÿj periballontik j sunqÿkej qermokras a apÒ 20 C wj 70 C scetikÿ ugras a apÒ 0 wj 95 mh sumpuknèsimh o pel thj pr pei na an bei tij strobilomoriak j antl ej me ton trÒpo Soft Start Òtan paralamb nontai kai q tontai se leitourg a gia prèth for o crÒnoj apoqÿkeushj m aj...

Страница 48: ... O Turbo V 2K G evcei buvsmata gia tiÇ eisovdouÇ exovdouÇ kai gia th seiriakhv epikoinwniva pou prevpei na sundeqouvn sta exwterikav kuklwvmata evtsi wvste na mhn eivnai prositov kanevna mevroÇ upov tavsh Bebaiwqeivte ovti h movnwsh thÇ sundemevnhÇ diavtaxhÇ ston Turbo V 2K G evcei mia ka tavllhlh movnwsh akovma kai se katavstash monhvÇ blavbhÇ ovpwÇ problevpetai apov ton kanonismov EN 61010 1 Gia...

Страница 49: ...τροφοδότησης µε τον ρευµατολήπτη να χρησιµοποιήται µαζί µε έναν ρευµατοδότη κατάλληλα συνδεδεµένο µε το έδαφος για να αποφεύγεται η ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγίων ΕΚ Το σύστηµα χορηγείται µε ένα πράσινο LED χειριζόµενο από ένα σήµα κατάστασης To pr sino LED LD1 to opo o br sketai sto pla sio thj b shj tou Turbo V 2K G endeiknÚei me th sucnÒthta pou anabosbÿnei tij ...

Страница 50: ...val rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt A rendszer hibás működése például a rotor állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése esetén a forgási energia felszabadulhat VIGYÁZAT A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani ...

Страница 51: ...arian Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni szivattyúk szállításakor mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni hőmérséklettartomány 20 C 70 C relatív páratartalom 0 95 nem kondenzáló A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani amikor a felhasználó átveszi és először ...

Страница 52: ...unikációs csatlózásai vannak amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők Használja a mellékelt csatlakozókat az IP 54 védelmi fokozat fenntartásához Győződjön meg róla hogy a Turbo V 2K G hez csatlakoztatott eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN 61010 1 direktíva szerint Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a Műszaki informáci...

Страница 53: ... vezérlőhöz alkalmas tartóbilincs segítségével lásd következő ábra Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal használja hogy elkerülje az áramütés veszélyét és eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel A Turbo V 2K G n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendsze...

Страница 54: ...bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników W przypadku uszkodzenia systemu na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika energia obrotowa może być zwolniona NIEBEZPIECZEŃSTWO Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała ope ratorów należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej i...

Страница 55: ...ekstu MAGAZYNOWANIE W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian muszą być przestrzegane następujące zalecenia podczas transportu przesunięcia i magazynowania pomp nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe temperatura od 20 C do 70 C względna wilgoć od 0 do 95 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy ...

Страница 56: ...jściowe wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna Należy upewnić się że izolacja podłączonego urządzenia do Turbo V 2K G posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010 1 Aby zainstalować opcjonalne akcesoria należy za...

Страница 57: ...odpowiednim wspornikiem patrz niniejszy rysunek Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz spełnienia wymogów norm CE System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez sygnał stanu Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo V 2K G wskazuje z częstotliwością własnego migania stan operacyjny systemu zaświecona...

Страница 58: ...ují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů V případě systémové nefukčnosti např kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie VÝSTRAHA Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy ...

Страница 59: ...sledující pokyny Při přepravě přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí Teplotní rozpětí 20 C až 70 C Rozpětí vlhkosti 0 až 95 bez srážení turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překroče...

Страница 60: ...du Vývěva Turbo V 2K G je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci které se musí připojit k externím obvodům tak aby žádná elektrická součást nebyla přístupná Pro zachování ochranného krytí IP 54 použijte odpovídající dodané konektory Zajistěte aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo V 2K G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 610...

Страница 61: ...8 pro napájecí kabel a připevněte jej k regulátoru vhodnou příchytkou viz následující obrázek Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku abyste předešli úrazu elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES Zařízení se dodává se zelenou kontrolkou která signalizuje provozní stav Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy Turbo V 2K G indikuje provoz...

Страница 62: ...ĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov V prípade systémovej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia VAROVANIE Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy ...

Страница 63: ...omolekulárne vývevy značky Varian podávali maximálny a spoľahlivý výkon dodržiavajte nasledujú ce pokyny neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu prenášania a uchovávania vývev rozsah teplôt 20 C až 70 C rozsah relatívnej vlhkosti 0 až 95 bez kondenzácie zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10...

Страница 64: ... uvedenej kategórii Zariadenie Turbo V 2K G má konektory pre vstup výstup a konektory sériovej komunikácie ktoré je potrebné pripojiť k vonkajším okruhom tak aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť Pre získanie úrovne ochrany IP 54 použite dodané protikusy konektorov Presvedčite sa či zariadenie pripojené k Turbo V 2K G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 6...

Страница 65: ...ými svorkami pozri nasledujúci obrázok Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES Systém je vybavený zelenou stavovou LED diódou Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo V 2K G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému žiadne blikanie výveva normálne rotuje pomalé ...

Страница 66: ...ino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija OPOZORILO Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika ...

Страница 67: ...olecular se morate držati naslednjih vodil Pri pošiljanju premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij temperaturno območje 20 C do 70 C območje relativne vlažnosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja POZOR Če zaradi kakršnega koli razlo...

Страница 68: ...na napetost ki je v vskladu z zgornjo kategorijo Naprava Turbo V 2K G ima vhodne izhodne in serijske pri ključke ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako da noben električni del ni dosegljiv Za vzdrževanje IP 54 zaščitnega nivoja uporabite priložene priključke Prepričajte se da je izolacija naprave priključene na Turbo V 2K G primerna tudi v primerno ene napake kar je opisano v direktivi EN ...

Страница 69: ...itrdite na upravljalec s posebnim nosilcem glej naslednjo skico Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno vtičnico tako da vas tok ne strese in da zadovoljite EU predpisom Sistem ima zeleni statusni signal Zelena LED dioda ki se nahaja na sprednji plošči Turbo V 2K G s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema Brez utripanja Črpalka je normalno vrti Počasno utripanje pe...

Страница 70: ...rgy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating per sonnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed ...

Страница 71: ...and reliability of Varian Turbomolecular pumps the following guide lines must be followed when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the cus tomer the shelf l...

Страница 72: ...fy the above category The Turbo V 2K G has Input Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible Use the provided mating connectors in order to maintain the IP 54 protection level Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo V 2K G is adequate even in the case of single fault as per direc...

Страница 73: ...eans of the suitable retaining bracket see the following figure Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power socket to avoid electrical shock and to satisfy CE requirements The system is provided with a green status led signal The green LED located on the Turbo V 2K G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating condi tions with no flash...

Страница 74: ...tic blades of the stator are made of alumin ium alloy These are supported and accurately po sitioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are made of aluminium alloy During normal operation the motor is fed with a voltage of 54 Vac between phases three phase at...

Страница 75: ... dedicated controller is a solid state frequency converter which is driven by a single chip micro computer The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection a Windows based software is available as an option or by the remote I O connector At every power up the controller is in Remote Mode of operation and accepts only commands from J1 remote I O connector To put it...

Страница 76: ...EN 61000 3 3 Limitation of voltage changes voltage fluc tuations and flicker EN 61000 6 2 and EN 61326 Immunity for industrial envi ronments which recall EN 61000 4 2 Electrostatic discharge phenomena EN 61000 4 3 Radiated high frequency phenomena EN 61000 4 4 EN 61000 4 5 EN61000 4 6 Conducted high frequency phenomena EN 61000 4 11 Voltage fluctuation voltage dips and short interruptions Installa...

Страница 77: ...L INFORMATION 72 87 900 968 01 C Throughput and power curves for Argon power limit 350 W Data with 80 m3 h primary pump Throughput and power curves for Nitrogen power limit 400 W Data with 80 m3 h primary pump ...

Страница 78: ...control the Turbo V 2K G It is a 15 pins D type connector the available sig nals are detailed in the table the following para graphs describe the signal characteristics and use PIN N SIGNAL NAME INPUT OUTPUT ISOLATION 1 START STOP IN Optocoupled 2 START STOP IN Optocoupled 3 INTERLOCK IN Optocoupled 4 INTERLOCK IN Optocoupled 5 SPEED SETTING IN Optocoupled 6 FAULT COMMOMN OUT Relay 7 SOFT START IN...

Страница 79: ...e default value is 555 Hz it is settable via serial line by means of window 121 see the serial command table If a continuous signal is applied pin 5 connected to pin 9 the driving frequency is set to Low Speed the default value is 475 Hz it is settable via serial line by means of window 117 see the serial command table The Low Speed function can also be activated by serial line with win 001 and th...

Страница 80: ... becomes higher than 505 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz then the output goes closed and stays colsed until the frequency becomes lower than 495 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz It is possible to mask the set point checking for a programmable mask time window 103 The SET POINT signal has the following default settings reference quantity controller status thereshold not relevant hysteresis not relevant ...

Страница 81: ...lose def win 122 1 Vent Open win 145 0 Purge Close def win 145 1 Purge Open Win 126 set the Vent Valve Opening Delay from 0 to 65535 1bit 0 2s def 10s 50bit Win 147 set the Vent Valve Open Time from 0 to 65535 1bit 0 2s def 0 infinite Start Command Stop Ramp Normal AutoTun Breaking Stop Command Stop Win 126 Win 147 If win 147 0 Purge Vent O O C C Fail Vent and Purge Closed Power Fail Purge and Ven...

Страница 82: ...ow a string of 3 numeric char acter indicating the window number from 000 to 999 for the meaning of each window see the relevant paragraph COM Command 0x30 to read the window 0x31 to write into the window DATA an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window In case of a reading command this field is not present The field length is variable according to the data type as per...

Страница 83: ...ecified window Win Disabled 1 byte 0x35 The specified window is Read Only or tempo rarily disabled for ex ample you can t write the Soft Start when the Pump is running NOTE The RS 485 is a 2 wire gnd optional half duplex communication link Examples Command START Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03...

Страница 84: ...lowing 101 R W N Set Point type 0 Frequency 1 Current 2 Time 3 Status default 3 N Read Write Data Type Description Admitted Values 102 R W N Set Point threshold expressed in Hz mA or s default 500 103 R W N Set Point mask time between the pump start and the set point check seconds 0 to 99999 default 0 104 R W L Set Point signal acti vation type the signal can be N O or N C 0 active close N O 1 act...

Страница 85: ...water max 200 R N Pump current in mA dc 201 R N Pump volt age in Vdc 202 R N Pump power in W pump current X pump voltage X duty cycle 203 R N Driving fre quency in Hz N Read Write Data Type Description Admitted Values 204 R N Pump tem perature in C 0 to 70 205 R N Pump status Stop 0 Waiting intlk 1 Starting 2 Auto tuning 3 Braking 4 Normal 5 Fail 6 206 R N Error code Bit description see the follow...

Страница 86: ...ownload program where are stored and where can be analyzed by Varian s specialised person nel Maintenance The MoniTorr card doesn t require any mainte nance Any intervention must be carried out by authorised personnel In case of failure the Varian Repair Service is available or Advanced Exchange Service that pro vides you with a regenerated controller in re placement of the faulty one MoniTorr Ins...

Страница 87: ...wnload Program PC FileDW Setup exe on CD rom see In stalling the File Download Software paragraph 8 Connect the RS232 cable from PC to Protocol Converter 9 Connect the RS485 cable between the proto col converter and the network connector of each pump 10 Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 switch between 9 position and F position 11 Connect the power supply to protocol con ve...

Страница 88: ...nectivity kit comes with the soft ware needed to transfer via RS 485 all the data stored To install the software simply insert disk ette No 1 into the personal computer drive and run the Setup program If the personal computer uses with Windows 2000 Professional Operating System copy the three diskettes into a temporary directory in the PC and then run the W2000 bat file from the hard disk In the t...

Страница 89: ...can the net work and it continuously downloads the file when it is ready The program is configured to work with the COM 1 serial port If a change is required click the right mouse button with the cursor on the Varian logo on the right hand side of the windows bar Select the Setup option and the program displays the following Select the COM port of the computer being used and then check whether or ...

Страница 90: ...omer should send by e mail the compressed CAB file every archive time pe riod to Varian Technical support at the following address vtt technical support varianinc com Only for information all files are automatically stored in the directory C Varian PROFIBUS OPTION General The ProfiBus option allow to communicate with the controller as Profibus DP slave device The option works as a bi directional b...

Страница 91: ...he first 45 seconds after the interface power on Controller address searching phase or after the controller power on 2 pulses ProfiBus link not established yet ProfiBus state machine not in Regular data exchange This failure has priority in the indication over the previous Blink fast Gateway fail internal check or wrong ad dress set address 0x7D or address not stable during power on Blink slow Gat...

Страница 92: ...e scale and the meaning of some parame ters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface PROFIBUS MESSAGE MAPPING PARAMETER BUFFER 17 BYTES OFFSET BYTE SIZE BYTE UNIT RES RANGE DESCRIPTION WIN SERIAL 0 1 C 15 35 Water Cooling Max Temperature Enter here the max temperature you foreseen for your cooling system this value will set the maximum power provid...

Страница 93: ...pump 1 at start the interlock must be present only at start command 110 B3 Setpoint Logic 0 active close NO 1 active open NC 104 B4 Heather Jacket Mode Auto man Specific option not available on standard models B5 Gas Load Type 0 Ar 1 N2 157 B6 Purge Gas Type 0 N2 1 Ar 15 1 Bit Filed B7 Reserved 114 B0 B1 Reserved B2 B3 Start Stop Interlock Mode Change the logic of Start stop and Interlock inputs A...

Страница 94: ...fter a stop command the controller will brake the pump using the motor activate this function only if you don t use the vent valve and for few cycles at week 107 B3 Vent Valve On Off 0 close 1 open Valid only if in Parameter buffer Byte 15 B1 1 and Byte 15 B2 0 122 B2 Purge Valve On Off 0 close 1 open Valid only if in Parameter buffer Byte 15 B1 1 and Byte 15 B2 0 145 B1 Heather Jacket Enable Spec...

Страница 95: ... If Pump Body Temperature Limit In Buff byte 25 the controller will re duce the Max Allowable Power If 38 C the controller goes in fail pump over temperature and the pump is stopped 216 23 1 C 0 100 Controller Power Section Temperature Read the controller power section temperature if 75 C the controller goes in fail controller over temperature 222 24 1 C 0 100 Controller CPU Section Temperature Re...

Страница 96: ...ff byte 8 is high speed Out Buff byte 1 1 on the target speed In Buff byte 8 is low speed Out Buff byte 3 001 B2 Soft Start Status 0 on 1 off this function is active at first pump run up and can t be deactivated by the user after first run up activate this function only if the pump has been stopped for at least3 months this procedure will take 1h 100 B3 Vent Valve Status 0 close 1 open 122 B4 Purg...

Страница 97: ...ts in the diagnosis frame signals which parameter is wrong i e over range or under range Diagnostic buffer OFF SET MEANING 0 B0 station non exist set by master B1 station not ready slave not ready for data exchange B2 cfg fault configuration data doesn t match B3 ext diag slave has external diagnostic data B4 not supported slave doesn t support re quested function B5 invalid slave response slave s...

Страница 98: ...eter The inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure It is welded to the center ring of the ISO 250 F vi ton gasket The screen can be removed as shown in the fol lowing figure The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it As you can see the over...

Страница 99: ...gen to the pump through the purge port connect a gas purge line to the pump The purging device automatically provides 20 sccm when fed with 1 bar 14 psi absolute at mospheric pressure CAUTION To prevent bearing damage Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 20 sccm 0 33 mbar l s This value can be exceeded according to the process requirements Please contact Var ian for specific applicatio...

Страница 100: ...h is dissipated in the rotor Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radia tion and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the inten sity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this inc...

Страница 101: ...NTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Custome...

Страница 102: ...ate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach v...

Страница 103: ... Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Japan Varian Vacuum Technologies Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beis...

Отзывы:

Нет отзывов

Бренды по названию

Популярные бренды

Загрузить еще бренды