Ulvac FR-E720, Инструкция по эксплуатации

Страница: 22 / 26

Inverter Instruction Manual
ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED 13/14
IN2 IN1
22
21
BK WT RD
96
95
Y
W
/
G
N
UL1007 #18
FG
Magnetic Valve
UL1015 #10
YW/GN
１ ２
１ ２
ＣＮ1
V V V
13
14
43
44
E5
E5
BK
WT
RD
4
3
2
1
14
15
13
12
11
16
9
8
7
RD
UL1007 #24
CONNECTOR
COLD HEAD
No.3
POWER
COLD HEAD
No.2
POWER
No.1
POWER
×2
UL1007 #16YW/GN
基板取付穴(TH)
1
2
3
4
FG BAR
VR2 VR1 VR3
TB1
4
2
R
D
W
T
B
K
B
K
W
T
R
D
B
K
W
T
R
D
BK
WT
RD RD
WT
BK
B
K
W
T
R
D
B
K
W
T
R
D
AC200V 3φ
YW/GN UL1007 #16
COMPRESSOR
CH3
CH2
COMPRESSOR
COMPRESSOR
COMPRESSOR
CH1
Y
W
/
G
N
G
N
Y
W
/
G
N
Y
W
/
G
N
UL1007 #18
BK
RD
BE
YW
YW
YW
BE
BE
BE
YW
E4
B
K
R
D
E T S R
W V U
M
COMPRESSOR MOTER
YW
BE
YW
BE
YW
BE
CN5
CN6
REMOTE RESPONSE
INPUT POWER
COLD HEAD
UL1015 #14
YW
BE
BE
YW
BE
YW
BE
YW
YW
BE
YW
BE
UL1007 #18
UL1007 #18
UL1007 #24
UL1007 #24
UL1007 #24
UL1007 #24
BK
BK
RD
RD
UL1007 #24
UL1007 #18
UL1007 #18
YW/GN BK WT RD
UL1015 #10
UL1015 #10
UL1015 #10
Cold Head No3 Cold Head No.2 Cold Head No.1
UL1007 #24
UL1007 #18
UL1007 #18
UL1007 #24
UL1007 #24
UL1007 #18
UL1007 #18
UL1007 #20
YW
BE
YW
YW
BE
BE
YW
BE
YW
BE
BE
YW
BE
YW
BK
BK
RD
BK
RD
YW/GN
YW/GN
YW
BE
BK
BK
RD
RD
RD
BK
BK
WT
RD
YW/GN
WT
BK
BK
WT
RD
RD
WT
BK
BK WT RD
5
3
4
2
1
5
E1 E2
CP2
A2
A1
CR
MV1 MV2
MV1 MV2
4 3 2 1 4 3 1 2
13
14
12 11 10 9
8 7 6 5
13
14
12 11 9 10
8 7 5 6 8 7 6 5 14
12 11 9 10 13
LOAD
LINE
COM
NO
RY1
RY2
RY3
TS3
LPS
TS2
TS1
E3
E4 E3 E2 E1
MC
CP1
CN1
CN2
TB1
HOUR METER
CPU BOARD RELAY BOARD
PS1
TB3
24
23
22
21
2
4
5
3
7
6
9
8
12
11
14
13
17
16
19
18
15
10
20
1
10
2
5
4
7
6
9
8
3
1
C
N
5
2 1
CN2
4
3
1
2
CN1
1
3
1
CN1
3
2
6
5
4
4 3 1 2
1
CN3
3
2
4
CN9
1
2
4
3
CN3
2
3
5
4
1
7
8
9
6
CN8
1
3
2
6
5
4
1 2 3 4
1
CN7
4
3
6
5
9
8
11
10
7
2
15
16
13
14
18
19
20
17
12
1
CN4
4
3
6
5
8
7
2
1
CN6
4
3
5
6
2
5 6 9 8 4 3 2 1 7 10
TB2
INV
R S T
U V
W
E
IN1IN2
SD
MRS
(C30MVRT＋INVERTER)
7. SCHEMATIC DIAGRAM
Answer back output
Answer back output
Answer back output
Answer back output
CH1 Command
CH2 Command
CH3 Command
ON Command
OFF Command
C20 mode
ON/OFF Command
Substrate mounting hole (TH)
26-core flat cable
Female
Male
ALARM output