Thyracont VSL53D, Руководство по эксплуатации

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4 Betrieb
4.1 Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Transmitter VSL besitzt eine interne Kombination aus einem piezore-
sistiven Membransensor und einem Piranisensor, der die Wärmeleitfähigkeit von
Gasen zur Vakuummessung nutzt. Ein weiterer piezoresistiver Sensor dient zur
Erfassung des Umgebungsdruckes.
Unter Einwirkung des Druckes verformt sich die dünne Membran des Piezosen-
sors, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. Die da-
bei auftretende Verstimmung der Messbrücke ist ein Maß für den auf die Membran
wirkenden Absolutdruck.
Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü-
ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken-
spannung ist ein Maß für den Absolutdruck.
Zur Ausgabe des Relativdruckes wird von dem im Sensorflansch gemessenen Ab-
solutdruck der separat erfasste Umgebungsdruck subtrahiert.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,5 V - 8,58 V des VSL ist über den gesamten Messbereich von
1,0x10
-4
- 1200 mbar logarithmisch vom Druck abhängig. Die Umrechnung erfolgt
gemäß folgendem Zusammenhang:
V
out
/V = log(p/mbar) + 5,5
p/mbar = 10
(V
out
/V - 5,5)
Die Ausgangs-Kennlinie kann per
Softwarebefehl skaliert werden,
siehe hierzu Abschnitt 5.8.
Alternativ kann der Relativdruck als Mess-Signal 0 - 10 V ausgegeben werden.
Die Konfiguration erfolgt per Softwarebefehl, siehe hierzu Abschnitt 5.8.
Serielle Schnittstelle RS485
Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des Trans-
mitters digital ausgelesen werden. Darüber hinaus können verschiedene Para-
meter wie Gasart-Korrekturfaktoren programmiert werden. Weitere Informationen
hierzu finden Sie im Abschnitt 5.
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt ca. 2 s nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit kann es -auch nach extremen Drucksprüngen-
angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 5 Minuten zu beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24 VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische Bedingungen
oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich machen.
VSL-RS485-200116