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Sony BS78 Series, Инструкция по эксплуатации

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Sony BS78 Series Скачать руководство пользователя страница 73

BS78

 (G) 

1

1. ÜBERBLICK

Vorwort

Beim Modell BS78 handelt es sich um einen hochpräzisen, hochauflösenden Maßstab, der einen optischen
Kopf mit einem Halbleiterlaser zum Ablesen einer hochauflösenden Hologrammskala besitzt.

1-1. Merkmale

.

Hochauflösender Maßstab mit einer Signalwellenlänge von 0,1379 

µ

m, der Lichtwellen-Interferometer-

Systeme übertrifft.

.

Hohe Stabilität, die nicht durch Temperatur, Luftdruck und Luftturbulenzen beeinflußt wird.

.

Hohe Präzision von 

±

0,18 

µ

m/220 mm.

.

Völlig kontaktloses Design, das Rückführungsfehler eliminiert.

.

Die Kombination mit anderen Detektoren von Sony Manufacturing Systems Corporation ermöglicht
Messung und Positionierung mit Sub-Nanometer-Genauigkeit (0,14 nm).

.

Der große Spielraum für Montagetoleranzwerte gestattet eine erheblich leichtere Montage im Gegensatz
zu regulären optischen Maßstäben.

1-2. Modellbezeichnungen

Die Modellbezeichnung kennzeichnet die Meßlänge und den Maßstabtyp.

Beispiel:

BS78-220 N

Meßlänge

N

: Normaltyp ohne Bezugspunkt

NS : Hochpräzisionstyp ohne Bezugspunkt
R

: Normaltyp mit Bezugspunkt

RS : Hochpräzisionstyp mit Bezugspunkt

Содержание BS78 Series

Страница 1: ...取扱説明書どおりお使いください お読みになった後は 後日お役に立つこともございますので 必ず保管してください Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them Keep the manual for future references Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum späferen Nachlesen griffbereit auf ...

Страница 2: ......

Страница 3: ...事故につながることが あり 危険です また 機械の性能を落としてしまうこともあります これらの事故を未然に防ぐために 安全のための注意事項は必ず守ってください 操作 や設置 保守 点検 修理などを行う前に この 安全のために を必ずお読みください 警告表示の意味 このマニュアルでは 次のような表示をしています 表示内容をよく理解してから本文 をお読みください この表示の注意事項を守らないと 火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故に つながることがあります 注意 この表示の注意事項を守らないと 感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に 損害を与えることがあります ...

Страница 4: ...で 検出ヘッド部のカ バーは絶対に取り外さないでください 光が漏れる可能性がありますので 通電時にスケール挿入部分を覗き込まないでくだ さい また スケール以外のものを差し込むことは絶対に行なわないでください 本装置は以下の規格 基準に適合しています 日本工業規格 JIS C6802 レーザ製品の安全基準に適合しています CDRH規定 米国食品医薬品局CDRH Center for Devices and Radiological Health のレーザ製品に 関する規定 1976年8月1日施行 に適合しています 米国内で販売される製品はこの規準に適合する必要があります 国際規格 EN60825 1を含む該当する安全基準に適合しています CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 CLASS 1 LASER P...

Страница 5: ...セプタクルを完全に接続し ネジで固定してから電源スイッチを ONにしてください また 電源をONしたままコネクタを抜き差ししないでください ケーブルを強く引いたり 無理に曲げてのご使用は避けてください 曲げ半径 50 mm 内側 以上 電源投入後10分位経過しますと 検出ヘッド部の温度が安定状態となります その後にご使用ください 本品は精密測定器のため 過度の衝撃が加わらないよう取扱いには十分注意してください また 輸送すると きは必ず製品購入時と同じ包装形態でお願いします 一般的注意事項 以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注意事項です 個々の詳細な取扱上の注意は 本取扱説明 書に記述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従い 正しくお使いください 始業または操作時には 当社製品の機能および性能が正常に作動していることを確認してからご使用くださ い 当社製品が万一故...

Страница 6: ...A LA NORME NMB 003 DU CANADA For EU and EFTA countries CE Notice Marking by the symbol CE indicates compliance with the EMC directive of the European Community This marking shows conformity to the following technical standards EN 55011 Group 1 Class A 98 Limits and methods of measurement of radio disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 6100...

Страница 7: ...取付けの前に 4 2 3 1 補正値について 4 2 3 2 補正値のセット方法 4 3 取付け 調整方法 5 3 1 取付面の準備 5 3 2 スケールの取付け 8 3 2 1 BS78 10N NS 8 3 2 2 BS78 40N NS R RS 420N NS R RS 8 3 3 検出ヘッドの取付け 12 3 4 信号調整 13 3 4 1 信号調整準備 13 3 4 2 アジマス調整 14 3 5 取付け 調整終了 15 3 6 内蔵原点について R RS 16 3 6 1 原点検出 16 3 6 2 原点マスク 16 3 6 3 原点検出時の速度変動 16 3 6 4 原点位置 17 4 仕様 18 5 外形寸法図 19 ...

Страница 8: ......

Страница 9: ...干渉計を超える信号波長0 1379 umの高分解能スケール 湿度 気圧 空気の乱れに影響を受けない高安定性 0 18 um 220 mmの高精度 完全非接触なので 原理的に戻り誤差が発生しません 弊社デテクタと組み合わせることで サブナノメートル 0 14 nm の計測や位置決めができま す 通常の光学スケールに比べ広い取付け許容値を持つため 取付けが大変簡単です 1 2 型名について 型名で有効長とスケールタイプを示します 例 BS78 220 N 有効長 N 原点なしノーマルタイプ NS 原点なし高精度タイプ R 原点付ノーマルタイプ RS 原点付高精度タイプ ...

Страница 10: ...2 J BS78 1 3 BS78の構成と各部の名称 図1 1 基準プレート ケーブルクランプ ヘッドケーブル 検出ヘッド スケール コネクタプラグ 取付ねじ スペーサ スケール クランプ 補正値ラベル スケール 有効長10 mm 補正値ラベル スケール 有効長40 mm以上 ...

Страница 11: ...ケール最大可動長以下にしてください 有効長10 mmの場合 最大可動長 有効長 2 mm 片側 1 mm 有効長40 mm以上の場合 最大可動長 有効長 10 mm 片側 5 mm 最大可動長を超えた場合はスケールユニットの信号が出力されず エラーが発生しますので ご注意ください スケールユニットは その取付け後にスケール信号調整を必要とします 機械への取付けにあ たって 調整するためのスペースを十分とれるよう考慮してください 5 15ページをご参照ください ご使用前に必ずスケールの補正値を接続するデテクタにセットしてください 2 2 取付け時に準備するもの 測定器 てこ式ダイヤルゲージ 1台 2 1000 mmまたは1 1000 mm目量のもの ダイヤルゲージスタンド 1台 オシロスコープ 1台 2現象 X Y表示可能なもの 入力感度 DC 0 1 V DIV X Y周波数帯域 1 MH...

Страница 12: ...方では お客様の機械でリニア補正を行なっていただく必要がありま す 20 dCと異なる温度環境でご使用になる場合 使用温度が20 dCと異なる場合には 次のように補正値の修正を行なうことにより 温度補正を 行なうことができます 使用温度が23 dCの場合の例を示します 例 補正値ラベルに示された補正値が 1 2 3 4 の場合 0 1379 1 2 3 4 x 1 23_20 x _0 7 x 10_6 0 1379 1 2 0 5 20 dCとの温度差 スケールの温度膨張係数 18ページ参照 温度補正後の補正値は 1 2 0 5 となります この値をセットしてください 2 3 2 補正値のセット方法 デテクタ BD60 95シリーズ 取扱説明書の 補正値の設定 の項をご覧ください 注意 デテクタ BD60シリーズ の補正値は出荷時オールゼロが設定されています この状態ではア ラームが出力...

Страница 13: ...付けねじ座標の精度を確認してください 3 BS78 N NSタイプは 基本的に両面とも取付けができます 図中 寸法は右出しケーブ ルの場合を示します R RSタイプについては別途ご相談ください スケール取付面 粗さ Rmax 6 3S 平面度 0 01 mm以下 機械の走りに対する平行度 0 01 mm以下 検出ヘッド取付面 粗さ Rmax 12 5S スケール取付面に対する平行度 0 03 mm以下 BS78 10N NS 図3 1 注 Mはマシンガイド 機械の走り を示します 31 5 Rmax 6 3S Rmax 12 5S 10 4 0 2 10 9 8 0 2 20 7 0 2 47 10 8 0 1 16 38 0 2 A 0 03 M 0 01 0 01 3 5 _0 5 0 スケール取付面 スケール取付面 参考 検出ヘッド取付面 検出ヘッド取付面 4 M3 深6 単位 mm...

Страница 14: ... 0 2 25 0 2 40 0 2 88 0 3 100 25 0 2 15 38 0 2 23 10 Rmax 12 5S Rmax 6 3S A 0 03 M 0 01 0 01 スケール取付面 スケール取付面 検出ヘッド取付面 検出ヘッド取付面 2 M3 深6 6 M4 深6 9 8 0 2 20 7 0 2 単位 mm 注 Mはマシンガイド 機械の走り を示します 注 Mはマシンガイド 機械の走り を示します 単位 mm 16 0 2 50 0 3 7 39 2 0 2 25 0 2 47 23 70 38 0 2 10 Rmax 12 5S Rmax 6 3S A 0 03 M 0 01 0 01 スケール取付面 スケール取付面 検出ヘッド取付面 検出ヘッド取付面 2 M3 深6 4 M4 深6 9 8 0 2 20 7 0 2 単位 mm 注 Mはマシンガイド 機械の走り を...

Страница 15: ...ル取付面 スケール取付面 検出ヘッド取付面 検出ヘッド取付面 2 M3 深6 10 M4 深6 9 8 0 2 20 7 0 2 単位 mm 注 Mはマシンガイド 機械の走り を示します BS78 270N NS R RS 320N NS R RS 図3 5 BS78 370N NS R RS 420N NS R RS 図3 6 75 398以上 L2 1 L1 型名 BS78 370N NS R RS 100 448以上 BS78 420N NS R RS 39 2 0 2 47 38 0 2 L2 25 0 2 L2 50 0 3 7 16 0 2 25 0 2 L1 25 0 2 L2 L2 25 0 2 25 0 2 23 10 Rmax 12 5S Rmax 6 3S A 0 03 M 0 01 0 01 スケール取付面 スケール取付面 検出ヘッド取付面 検出ヘッド取付面 2 M...

Страница 16: ...ンガイドに対し平 行に取付けます 締め付けトルク 1 4 N m 図中 左側が基準穴となっています てこ式ダイヤルゲージで平行度の確認を行ないながら 右側で調整してください 図3 8 注意 基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準となり スケール精度を再現する上で 重要なものです 付属のねじを使い 必ず仕様どおり取付けてください 図3 9 注 Mはマシンガイド 機械の走り を示します 0 01 M M3 x 8 ワッシャ 呼び3 0 01 M 基準 Ø4 0 0 05 BS78 40N NS R RS 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS 注 Mはマシンガイド 機械の走り を示します M4 x 8 ワッシャ...

Страница 17: ...面および突当面にほこり 汚れが無いことを確認してください 汚れがある 場合はアルコールを含ませたガーゼで 拭き取ってください 図3 11 BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS BS78 40N NS R RS M4 x 8 ワッシャ 呼び4 基準プレート スケールクランプ 基準プレート スペーサ M4 x 8 ワッシャ 呼び4 基準プレート スケールクランプ 取付面 突当面 ...

Страница 18: ...ずつ締め付けていきます 最終締付けトルク 1 4 N m 図3 12 注意 スケールを基準面に突き当てるときは 図3 13左のように基準面に対向するスケール端面を指で 軽く 9 8 N以下の力 押さえてください 図3 13右のようにスケールの中央部を押さえる 4 9 N 以上の力 など スケールに変形を加えたまま固定しますと所定の精度を得ることができません 以下の手順でもこの点に十分ご注意ください 万一強い曲げ力が加わったと思われる場合は スケールクランプを緩め再度正しく取付けてください 図3 13 B A B A BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS 良 不可 ...

Страница 19: ...N m 図3 14 7 両端にスケールクランプを同様に締め付けます 最終締め付けトルク 1 4 N m 図3 15 8 スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します 汚れがある場合は アルコールを含 ませたガーゼで拭き取ります このときスケールの表面に拭きムラが無いことを確認してく ださい BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 370N NS R RS 420N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS B A A B スペーサ B A A B スペーサ ...

Страница 20: ...12 J BS78 スケール スケールクランプ 基準プレート 検出ヘッド 3 3 検出ヘッドの取付け 1 取付ける機械のテーブルを移動させ スケールのほぼ中央位置に検出ヘッドの取付け位置を 合わせます 2 付属の取付ねじで検出ヘッドを仮止めします 図3 16 スケール 検出ヘッド 検出ヘッド取付ねじ 六角穴付ボルトM3 x 30 ワッシャ 呼び3 ...

Страница 21: ...2 デテクタのシグナル調整部にオシロスコープのCH1プローブをS SIN とG GND に接続し ます 3 オシロスコープのCH2プローブをC COS とG GND に接続します 図3 17 4 TIME DIVスイッチをX Y MODEにします 5 CH1 CH2の偏向感度 VOLTS DIV を0 5 V DIVにします 6 オシロスコープのCH1 CH2のINPUT COUPLINGスイッチをGNDに合わせ 信号がスク リーン中央にくるようにオシロスコープのPOSITIONを調整します 7 オシロスコープのCH1およびCH2のINPUT COUPLINGスイッチをDCにします 8 デテクタの電源をONにします LASER SCALE RESET REF LALM SALM HEAD IN CHECK SIG OUT S C G オシロスコープ BS78とデテクタユニットBD15シリー...

Страница 22: ...ッド取付ねじをゆるめます 2 検出ヘッドを図3 18のように回転させ リサージュの振幅が最大となる場所をみつけます 3 リサージュの振幅が最大となる検出ヘッド位置で 検出ヘッド取付ねじを2本交互に徐々に締 め付けます 締付トルク0 8 N m 4 スケールと検出ヘッドが干渉していないこと および図3 19に示す隙間が2 0 2 mmであるこ とを確認してください 図3 19 5 スケールを移動させて全長に渡りリサージュの振幅A B 図3 20参照 が1 6 Vp p以上である ことを確認します 注意 調整を繰返しても1 6 Vp pの出力が得られない場合は スケールと検出ヘッドの取付面精度 参照 5 7ページ およびスケール面上にゴミの付着がないか再度ご確認ください 図3 20 B A リサージュ ...

Страница 23: ...BS78 J 15 スケール 小ねじ M4 x 8 ケーブル クランプ 3 5 取付け 調整終了 ケーブルを付属のケーブルクランプと小ねじ M4 x 8 で固定します 締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるため 本スケールによる計測は取付け 後3時間程度放置してから行なってください 図3 21 ...

Страница 24: ... 原点の検出については ドグを用いて検出する方法と 付属の原点マスクラベルにより 不必要 な原点をマスクする方法があります 原点をマスクする場合は 図3 23の手順でマスクラベルを 貼付けてください 図3 23 3 6 3 原点検出時の速度変動 所定の再現精度 0 1 um を得るため 原点検出時の速度は一定にしてください そのとき 速 度変動を0 2 mm s以下におさえてください 最大検出速度は 100 mm sとなります 検出ヘッド 原点信号 スケール 標準仕様の場合 スケール 原点マスクラベル 貼付方法 1 スケールをアルコールで清浄します 2 ピンセットで付属の原点マスクラベルを 台紙からはがします 3 機番ラベルの貼ってある面から不要の原 点パターンをおおいかくすように貼付け ます 注意 このとき スケール面に触れて指紋等を残 さないようにしてください ...

Страница 25: ...位置については 次のとおりです 図3 24 原点位置の変更と真空使用時の原点数の削減は特殊仕様にて承ります 公差 1 単位 mm 246 146 196 48 50 50 50 50 48 96 66 33 23 50 50 23 50 50 93 50 50 446 68 396 43 346 48 296 50 50 50 50 20 20 20 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 420 370 320 270 220 120 170 70 40 ...

Страница 26: ...0 1 um R RS もどり誤差 原理的にありません ご使用デテクタの2分解能以下とお考えください 繰返し精度 原理的にありません ご使用デテクタの1分解能以下とお考えください 温度係数 _0 7 x 10_6 dC 光源 半導体レーザ 790 nm 検出方式 回析格子走査型格子干渉計 使用温度範囲 10 30 dC 結露不可 保存温度範囲 _10 50 dC 湿度60 以下 付属品 スケール有効長 10 40 70 120 170 220 270 320 370 420 取扱説明書 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 六角穴付ボルト M3 x 8 2 _ _ _ _ _ _ _ _ _ 六角穴付ボルト M3 x 30 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 六角穴付ボルト M4 x 8 _ 4 6 8 8 8 10 10 12 12 ワッシャ 呼び3 4 2 2 2 2 2 2 2...

Страница 27: ... 注2 スケール取付面の面粗度はRmax 6 3Sとする 注3 検出ヘッド取付面の面粗度はRmax 12 5Sとする 27 8 29 5 38 0 2 10 4 0 2 13 3 6 8 30 5 Ø7 45 9 40 5 16 30 5 0 03 A 6 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A 46 3 ケーブル長3000 検出ヘッド取付ねじ 2 M3 x 30 スケール取付ねじ 2 M3 x 8 スケール信号検出位置 3 8 4 58 8 43 14 5 46 単位 mm ...

Страница 28: ... 75 246 196 146 446 BS78 120N NS BS78 170N NS BS78 220N NS BS78 370N NS BS78 420N NS 30 5 0 03 A 19 24 5 25 0 2 23 14 5 6 39 2 0 2 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A 25 0 2 L3 1 3 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 Ø4 0 0 05 N M4スケールクランプ取付ねじ 2 M4基準プレート取付ねじ 基準穴 スペーサ t 2 基準プレート t 2 スケールクランプ ケーブル長3000 検出ヘッド取付ねじ 2 M3 x 30 スケール信号検出位置 型名 単位 mm 注1 印の寸法は取付面の加工寸法を示す 注2 スケール取付面の面粗度はRmax 6 3Sとする 注3 検出ヘッド取付面の面粗度はRmax 12 5Sとする 注4...

Страница 29: ...20 L2 8 8 296 L1 96 BS78 70N NS 346 BS78 270N NS BS78 320N NS 30 5 0 03 A 19 24 5 25 0 2 23 14 5 6 39 2 0 2 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A 25 0 2 25 0 2 46 0 3 3 Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 N M4スケールクランプ取付ねじ 2 M4基準プレート取付ねじ 基準穴 基準プレート t 2 スペーサ t 2 スケールクランプ ケーブル長3000 検出ヘッド取付ねじ 2 M3 x 30 スケール信号検出位置 型名 単位 mm 注1 印の寸法は取付面の加工寸法を示す 注2 スケール取付面の面粗度はRmax 6 3Sとする 注3 検出ヘッド取付面の面粗度はRmax 12 5Sとする 注4 Mはマシンガイド 機械の走...

Страница 30: ...RS BS78 220R RS BS78 370R RS BS78 420R RS 30 5 0 03 A 14 5 25 0 2 23 14 5 6 39 2 0 2 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A 25 0 2 3 Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 N M4スケールクランプ取付ねじ 2 M4基準プレート取付ねじ 基準穴 スペーサ t 2 基準プレート t 2 スケールクランプ ケーブル長3000 検出ヘッド取付ねじ 2 M3 x 30 スケール信号検出位置 スケール移動 原点検出方向 原点検出位置 型名 L2 1 L2 1 L3 1 L1 1 L3 1 BS78 R RS 有効長40 120 170 220 370 420 単位 mm 注1 印の寸法は取付面の加工寸法を示す 注2 スケール取付面の面粗度はRmax 6 3Sとする 注...

Страница 31: ...78 70R RS 346 BS78 270R RS BS78 320R RS 25 0 2 23 14 5 39 2 0 2 25 0 2 25 0 2 46 0 3 3 Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 N M4スケールクランプ取付ねじ 2 M4基準プレート取付ねじ 基準穴 基準プレート t 2 スペーサ t 2 スケールクランプ ケーブル長3000 検出ヘッド取付ねじ 2 M3 x 30 型名 スケール移動 原点検出方向 30 5 0 03 A 14 5 6 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A スケール信号検出位置 原点検出位置 単位 mm 注1 印の寸法は取付面の加工寸法を示す 注2 スケール取付面の面粗度はRmax 6 3Sとする 注3 検出ヘッド取付面の面粗度はRmax 12 5Sとする 注4 Mはマシンガイド 機械の走り を示...

Страница 32: ......

Страница 33: ...vent these types of accidents and to read these Safety Precautions before operating installing maintaining inspecting repairing or otherwise working on this unit Safety Precautions Warning indication meanings The following indications are used throughout this manual and their contents should be understood before reading the text Warning Failure to observe these precautions may lead to fire electri...

Страница 34: ...ck Do not perform installation work with wet hands as this may result in electric shock Do not disassemble or modify the unit as this may result in injury or damage the internal circuits This scale unit is a class 1 laser product using a semiconductor laser with wavelength of 790 nm and maximum output of 10 µW The light transmitted from the detector head is hazardous to the human body though it is...

Страница 35: ... or perfomance of procedures other than those specified herein may result in hazardous radiation exposure See Manual LASERSCALE BS78 Ser No Sony Manufacturing Systems Corporation MADE IN JAPAN R CERTIFICATION PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1 10 KIYOKU CHO KUKI SHI SAITAMA 346 0035 JAPAN MANUFACTURED AT I...

Страница 36: ...emperature of the detector head reaches a stable state The BS78 is a precision measuring instrument Handle it with extreme care so that no excessive shock is applied to it For transport be sure to pack it in the same way as it was packed at the time of purchase General Precautions When using Sony Manufacturing Systems Corporation products observe the following general precautions along with those ...

Страница 37: ...A LA NORME NMB 003 DU CANADA For EU and EFTA countries CE Notice Marking by the symbol CE indicates compliance with the EMC directive of the European Community This marking shows conformity to the following technical standards EN 55011 Group 1 Class A 98 Limits and methods of measurement of radio disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 6100...

Страница 38: ......

Страница 39: ...1 Mounting Surface Preparations 5 3 2 Scale Mounting 8 3 2 1 BS78 10N NS 8 3 2 2 BS78 40N NS R RS to 420N NS R RS 8 3 3 Detector Head Mounting 12 3 4 Signal Adjustment 13 3 4 1 Signal Adjustment Preparations 13 3 4 2 Azimuth Adjustment 14 3 5 Completion of Mounting and Adjustment 15 3 6 Built in Reference Point R RS 16 3 6 1 Reference Point Detection 16 3 6 2 Reference Point Mask 16 3 6 3 Speed Va...

Страница 40: ......

Страница 41: ...on of 0 18 µm 220 mm Total non contact design virtually eliminates return error Combining with other Sony Manufacturing Systems Corporation detectors allows sub nanometer 0 14 nm measurement and positioning Large range for mounting allowance values in comparison to regular optical scales allows significantly easier mounting 1 2 Model Names The model name indicates the measuring length and scale ty...

Страница 42: ... more Compensation value label Scale measuring length 10 mm Compensation value label Connector plug Scale Detector head Head cable Cable clamp Spacer Scale clamp Mounting screw Reference plate 1 3 BS78 Configuration and Names of Parts Fig 1 1 ...

Страница 43: ...ength 2 mm 0 08 1 mm 0 04 per each side Measuring length 40 mm or more Scale s max travel measuring length 10 mm 0 39 5 mm 0 20 per each side If the scale s max travel is exceeded the scale unit signals will not be output and an error will occur For the scale unit scale signal adjustment is necessary after mounting When mounting the scale to the machine make sure that there is enough space for the...

Страница 44: ...ate the unit in an environment where the temperature is not 20 dC 68 dF adjust the compensation value as shown below to make a temperature adjustment The following example shows the adjustment method for an operating temperature of 23 dC 73 dF Example The compensation value shown on the compensation value label is 1 2 3 4 0 1379 1 2 3 4 x 1 23_20 x _0 7 x 10_6 0 1379 1 2 0 5 Temperature difference...

Страница 45: ...case when right protruding cables are used Contact Sony Manufactur ing Systems Corporation for information about the R RS type Scale mounting surface Roughness Rmax 6 3S 250 µinch Flatness 0 01 mm 0 00039 or less Parallelism to machine travel 0 01 mm 0 00039 or less Detector head mounting Roughness Rmax 12 5S 500 µinch surface Parallelism to machine travel 0 03 mm 0 00118 or less BS78 10N NS Fig 3...

Страница 46: ...x 12 5S 500 µinch Rmax 6 3S 250 µinch 0 03 0 00118 Scale mounting surface Scale mounting surface 38 0 2 1 496 0 008 M 0 01 0 00039 0 01 0 00039 6 M4 depth 6 0 24 2 M3 depth 6 0 24 Detector head mounting surface Detector head mounting surface 9 8 0 2 20 7 0 2 0 386 0 008 0 815 0 008 16 0 2 0 63 0 008 BS78 40N NS R RS Fig 3 2 BS78 70N NS R RS Fig 3 3 BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS Fig 3...

Страница 47: ...0 2 0 63 0 008 BS78 270N NS R RS 320N NS R RS Fig 3 5 BS78 370N NS R RS 420N NS R RS Fig 3 6 Unit mm inch Note M refers to the machine guide Unit mm inch Note M refers to the machine guide 75 2 953 398 15 67 or more L2 1 0 04 L1 BS78 370N NS R RS 100 3 94 448 17 64 or more BS78 420N NS R RS 39 2 0 2 1 543 0 008 47 1 850 L2 L2 50 0 3 1 969 0 011 L1 L2 L2 23 0 91 Model 10 0 394 25 0 2 0 984 0 008 25...

Страница 48: ...there is no dust or other foreign substances on the mounting surface and mount the reference plate parallel to the machine guide as shown in the figure Fastening torque 1 4 N m The reference hole is located on the left as shown in the figure Adjust at the right side while observing the parallelism with the lever type dial gauge Fig 3 8 n The scale is pressed against the reference plate for paralle...

Страница 49: ...ion by using the mounting screws as shown in the figure Fig 3 10 3 Check the mounting surface and the datum surface of the scale for dust and dirt If the surfaces are dirty wipe them clean with gauze moistened with alcohol Fig 3 11 BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS Mounting surface Datum surface BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS Referen...

Страница 50: ...ws Final fastening torque 1 4 N m Fig 3 12 n When pressing the scale against the reference surface lightly press two points on the edge of the scale surface opposite the reference surface with your fingers with a force of 9 8 N or less as shown in Fig 3 13 below If the middle part of the scale is pressed with a force of 4 9 N or more as shown in Fig 3 13 below or if the scale is installed with def...

Страница 51: ...rews Final fastening torque 1 4 N m Fig 3 14 7 Fasten scale clamps on both ends of the scale with the same torque Final fastening torque 1 4 N m Fig 3 15 8 Check the surface of the scale for oil and dust If the surface is dirty wipe it clean with gauze moistened with alcohol Be sure to wipe off oil and dust on the surface thoroughly BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N...

Страница 52: ...hex socket head cap screw 3 3 Detector Head Mounting 1 Move the machine table and adjust the mounting position of the detector head to roughly the center of the scale 2 Use the supplied mounting screws to semi tighten the detector head Fig 3 16 Scale Scale clamp Reference plate Detector head ...

Страница 53: ...tor 2 Connect the CH1 probe of the oscilloscope to S SIN and G GND of the signal adjustment section of the detector 3 Connect the CH2 probe of the oscilloscope to C COS and G GND of the signal adjustment section of the detector Fig 3 17 4 Set the TIME DIV switch to the X Y mode 5 Set the deviation sensitivity VOLTS DIV of CH1 and CH2 to 0 5 V DIV 6 Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of...

Страница 54: ...d mounting screws little by little at the detector head position with the maximum amplitude of the Lissajous figure Fastening torque 0 8 N m 4 Check that there is no interference between the scale and detector head and make sure that there is a gap of 2 0 2 mm as shown in Fig 3 19 Fig 3 19 5 Move the scale and make sure that the amplitudes A and B of the Lissajous figure see Fig 3 20 are 1 6 Vp p ...

Страница 55: ... cable clamp and small screw M4 x 8 Before using the scale to perform measurements allow the scale to set for about three hours after mounting so that the secured parts can stabilize and the ambient temperature around the scale can stabilize Fig 3 21 M4 x 8 small screw Scale Cable clamp ...

Страница 56: ...reference point masking labels If masking the reference point affix a mask label using the procedure shown in Fig 3 23 Fig 3 23 3 6 3 Speed Variation During Reference Point Detection To attain the designated accuracy 0 1 µm speed should be kept constant during reference point detec tion Any speed variation should be limited to less than 0 2 mm s The maximum detection speed is 100 mm s Detector hea...

Страница 57: ...as a special specification Error 1 Unit mm inch 246 9 69 146 5 75 196 7 72 48 1 89 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 97 48 1 89 96 3 78 66 2 60 33 1 30 23 0 91 50 1 97 50 1 97 23 0 91 50 1 97 50 1 97 93 3 66 50 1 97 50 1 97 446 17 56 68 2 68 396 15 59 43 1 69 346 13 62 48 1 89 296 11 65 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 97 20 0 79 20 0 79 20 0 79 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 97 50 1 ...

Страница 58: ...1 um R RS Return error This is virtually eliminated It should be considered to be less than two resolution limits of the detector that is used Repeatability This is virtually eliminated It should be considered to be less than one resolution limit of the detector that is used Temperature coefficient dC_1 dF_1 _0 7 x 10_6 0 39 x 10_6 Light source Semiconductor laser 790 nm Detecting mode Diffraction...

Страница 59: ...ctor head mounting screw 2 M3 x 30 8 0 315 58 2 284 43 1 693 14 5 0 571 Scale signal detection position Cable length 3000 9 8 ft 46 1 811 3 0 118 4 0 157 8 0 315 13 3 0 524 5 Dimensions BS78 10N NS Note 1 The items marked by an asterisk indicate the machining dimensions on the mounting surface Note 2 The surface roughness of the scale mounting surface is Rmax 6 3 S 250 µinch Note 3 The surface rou...

Страница 60: ... 196 7 717 146 5 748 446 17 56 BS78 120N NS BS78 170N NS BS78 220N NS BS78 370N NS BS78 420N NS 9 8 0 2 0 386 0 008 13 1 0 516 6 0 236 4 6 0 181 24 5 0 965 14 0 551 29 5 1 161 46 0 3 1 811 0 012 3 0 118 38 0 2 1 496 0 008 43 5 1 713 27 8 0 3 1 094 0 012 6 8 0 268 30 5 1 201 25 0 984 1 4 0 055 21 0 827 16 0 63 25 0 984 5 0 197 13 8 0 543 0 4 0 016 38 1 496 38 1 496 12 0 472 Spacer t 2 0 079 Referen...

Страница 61: ...079 16 0 63 25 0 984 Scale clamp Ø4 0 0 05 4 0 0 05 23 0 906 5 0 197 39 2 0 2 1 543 0 008 14 0 551 19 0 748 6 0 236 4 6 0 181 24 5 0 965 30 5 1 201 9 8 0 2 0 386 0 008 13 1 0 516 40 5 1 59 16 0 63 45 9 1 81 29 5 1 161 46 0 3 1 811 0 012 3 0 118 38 0 2 1 496 0 008 27 8 0 3 1 094 0 012 43 5 1 713 6 8 0 268 30 5 1 201 13 3 0 524 1 4 0 055 21 0 827 5 0 197 13 8 0 543 0 4 0 016 38 1 496 12 0 472 0 157 ...

Страница 62: ...2 1 0 039 L3 1 0 039 L1 1 0 039 0 984 0 008 0 984 0 008 0 984 0 008 1 969 0 012 0 984 0 008 25 0 2 0 984 0 008 46 0 3 1 811 0 012 Reference point detection position 9 8 0 2 0 386 0 008 13 1 0 516 14 0 551 6 0 236 4 6 0 181 30 5 1 201 5 0 197 23 0 906 5 0 197 39 2 0 2 1 543 0 008 14 0 551 3 0 118 38 0 2 1 496 0 008 38 1 496 12 0 472 5 0 197 1 4 0 055 13 8 0 543 0 4 0 016 43 5 1 713 32 7 0 3 1 287 0...

Страница 63: ...gle detection position Reference point detection position 29 5 1 161 46 0 3 1 811 0 012 3 0 118 38 0 2 1 496 0 008 43 5 1 713 32 7 0 3 1 287 0 012 23 0 906 5 0 197 39 2 0 2 1 543 0 008 14 0 551 9 8 0 2 0 386 0 008 13 1 0 516 14 0 551 6 0 236 4 6 0 181 30 5 1 201 5 0 197 6 8 0 268 30 5 1 201 9 0 354 16 0 63 38 1 496 12 0 472 5 0 197 1 4 0 055 21 0 827 13 8 0 543 0 4 0 016 15 0 591 40 0 2 1 575 0 00...

Страница 64: ......

Страница 65: ...m derartige Unfälle zu verhüten und lesen Sie die folgenden Sicherheitsmaßnahmen vor der Inbetriebnahme Installation Wartung Inspektion oder Reparatur dieses Gerätes oder der Durchführung anderer Arbeiten durch Bedeutung der Warnhinweise Bei der Durchsicht dieses Handbuchs werden Sie auf die folgenden Hinweise und Symbole stoßen Machen Sie sich mit ihrer Bedeutung vertraut bevor Sie den Text lesen...

Страница 66: ... das menschliche Auge unsichtbar ist Aus diesem Grund darf die Abdeckung der Detektorkopfeinheit auf keinen Fall geöffnet werden Da die Gefahr von Leckstrahlung besteht blicken Sie bei eingeschalteter Stromversorgung nicht in die Maßstabs Einschuböffnungen und versuchen Sie niemals irgendwelche anderen Gegenstände außer dem Maßstab in die Maßstabs Einschuböffnungen einzuführen Vorsicht Überprüfen ...

Страница 67: ...führen DANGER INVISIBLE LASER RADIATION WHEN OPEN AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM CAUTION DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO QUALIFIED PERSONNEL ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CAPOT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE CERTIFICATION PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1 10 KIYOKU CHO KUKI SHI SAITAMA 346 0035...

Страница 68: ...s sich die Temperatur des Detektorkopfes stabilisiert hat Die Maßstabseinheit BS78 ist ein Präzisions Meßinstrument Behandeln Sie sie mit äußerster Sorgfalt damit sie keinen starken Erschütterungen ausgesetzt wird Benutzen Sie zum Transport die Originalverpackung der Maßstabseinheit Allgemeine Vorsichtsmaßregeln Beachten Sie bei Verwendung unserer Produkte die folgenden allgemeinen Vorsichtsmaßreg...

Страница 69: ...A LA NORME NMB 003 DU CANADA For EU and EFTA countries CE Notice Marking by the symbol CE indicates compliance with the EMC directive of the European Community This marking shows conformity to the following technical standards EN 55011 Group 1 Class A 98 Limits and methods of measurement of radio disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 6100...

Страница 70: ......

Страница 71: ... 3 1 Vorbereitung der Montagefläche 5 3 2 Montage des Maßstabs 8 3 2 1 BS78 10N NS 8 3 2 2 BS78 40N NS R RS bis 420N NS R RS 8 3 3 Montage des Detektorkopfes 12 3 4 Signaleinstellung 13 3 4 1 Vorbereitung zur Signaleinstellung 13 3 4 2 Azimuteinstellung 14 3 5 Abschluß von Montage und Einstellung 15 3 6 Interner Bezugspunkt R RS 16 3 6 1 Bezugspunkterfassung 16 3 6 2 Bezugspunktabdeckung 16 3 6 3 ...

Страница 72: ......

Страница 73: ...ohe Präzision von 0 18 µm 220 mm Völlig kontaktloses Design das Rückführungsfehler eliminiert Die Kombination mit anderen Detektoren von Sony Manufacturing Systems Corporation ermöglicht Messung und Positionierung mit Sub Nanometer Genauigkeit 0 14 nm Der große Spielraum für Montagetoleranzwerte gestattet eine erheblich leichtere Montage im Gegensatz zu regulären optischen Maßstäben 1 2 Modellbeze...

Страница 74: ...der Teile Abb 1 1 Kompensationswertaufkleber Maßstab Meßlänge 40 mm oder mehr Kompensationswertaufkleber Maßstab Meßlänge 10 mm Befestigungsschraube Abstandsstück Kabelklemme Kopfkabel Detektorkopf Maßstab Anschlußstecker Maßstabsklammer Bezugsplatte ...

Страница 75: ...rweg des Maßstabs ein Meßlänge 10 mm Max Verfahrweg des Maßstabs Meßlänge 2 mm 1 mm auf jeder Seite Meßlänge 40 mm oder mehr Max Verfahrweg des Maßstabs Meßlänge 10 mm 5 mm auf jeder Seite Bei Überschreitung des max Maßstab Verfahrwegs werden die Signale der Maßstabseinheit nicht ausgegeben so daß ein Fehler auftritt Nach der Montage ist eine Signaleinstellung der Maßstabseinheit erforderlich Acht...

Страница 76: ...n deren Temperatur von 20 dC abweicht muß der Kompensationswert gemäß der nachstehenden Beschreibung eingestellt werden Das folgende Beispiel zeigt die Einstellung für eine Betriebstemperatur von 23 dC Beispiel Der auf dem Kompensationswertaufkleber angegebene Kompensationswert beträgt 1 2 3 4 0 1379 1 2 3 4 x 1 23_20 x _0 7 x 10_6 0 1379 1 2 0 5 Temperaturdifferenz zu 20 dC Wärmeausdehnungskoeffi...

Страница 77: ...ung der Montagefläche 1 Überprüfen Sie die Größe schraffierte Teile in der Abbildung und Genauigkeit der Montagefläche 2 Überprüfen Sie die Genauigkeit der Befestigungsschrauben Koordinaten 3 Das Modell BS78 N NS ist für beidseitige Montage ausgelegt Die in der nachstehenden Abbildung in Klammern angegebenen Maße gelten für den Fall daß nach rechts überstehende Kabel verwendet werden Wenden Sie si...

Страница 78: ... M 0 01 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 2 M3 Tiefe 6 6 M4 Tiefe 6 Maßstab Montagefläche Maßstab Montagefläche Detektorkopf Montagefläche Detektorkopf Montagefläche 16 0 2 50 0 3 7 39 2 0 2 25 0 2 47 23 70 38 0 2 10 Rmax 12 5S Rmax 6 3S A 0 03 M 0 01 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 Maßstab Montagefläche Maßstab Montagefläche Detektorkopf Montagefläche Detektorkopf Montagefläche 2 M3 Tiefe 6 4 M4 Tiefe 6 BS78 40N NS R ...

Страница 79: ...fläche 298 oder mehr BS78 270N NS R RS 348 oder mehr BS78 320N NS R RS L1 39 2 0 2 100 1 100 1 25 0 2 7 16 0 2 25 0 2 15 40 0 2 88 0 3 L1 25 0 2 38 0 2 47 10 25 0 2 23 Rmax 12 5S Rmax 6 3S A 0 03 M 0 01 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 Modell 2 M3 Tiefe 6 10 M4 Tiefe 6 Maßstab Montagefläche Maßstab Montagefläche Detektorkopf Montagefläche Detektorkopf Montagefläche BS78 270N NS R RS 320N NS R RS Abb 3 5 BS78...

Страница 80: ...1 4 N m Die Bezugsbohrung befindet sich auf der linken Seite wie in der Abbildung gezeigt Nehmen Sie die Einstellung auf der rechten Seite vor während Sie die Parallelität mit der Hebel Meßuhr überwachen Abb 3 8 Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Der Maßstab wird bei der Montage zur Einhaltung der Parallelität gegen die Bezugsplatte gedrückt Die Bezugsplatte ist ausschlaggebend für eine genau...

Страница 81: ...fläche des Maßstabs auf Staub und Schmutz Falls die Flächen verschmutzt sind wischen Sie sie mit alkoholgetränkter Gaze ab Abb 3 11 M4 x 8 Unterlegscheibe Nennmaß 4 Maßstabsklammer Bezugsplatte M4 x 8 Unterlegscheibe Nennmaß 4 Maßstabsklammer Bezugsplatte BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS Montagefläche Bezugsfläche BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS ...

Страница 82: ...he drücken üben Sie mit den Fingern an zwei Stellen einen Druck von 9 8 N oder weniger auf die der Bezugsfläche gegenüberliegende Kante des Maßstabs aus wie in der nachstehenden Abb 3 13 gezeigt Wird ein Druck von 4 9 N oder mehr auf die Mitte des Maßstabs ausgeübt wie in der nachstehendenAbb 3 13 gezeigt oder wird der Maßstab mit Verzug montiert kann die angegebene Genauigkeit nicht erzielt werde...

Страница 83: ...auben Endanzugsmoment 1 4 N m Abb 3 14 7 Ziehen Sie die Maßstabsklammern an beiden Enden des Maßstabs mit dem gleichen Anzugsmoment an Endanzugsmoment 1 4 N m Abb 3 15 8 Überprüfen Sie die Oberfläche des Maßstabs auf Öl und Staub Falls die Oberfläche verschmutzt ist wischen Sie sie mit alkoholgetränkter Gaze ab Wischen Sie Öl und Staub gründlich von der Oberfläche ab BS78 70N NS R RS 270N NS R RS ...

Страница 84: ... 3 3 Montage des Detektorkopfes 1 Verschieben Sie den Maschinentisch und stellen Sie die Montageposition des Detektorkopfes ungefähr auf die Mitte des Maßstabs ein 2 Ziehen Sie den Detektorkopf mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben provisorisch an Abb 3 16 Maßstab Maßstabsklammer Bezugsplatte Detektorkopf ...

Страница 85: ...onst die internen Elektronikteile durch statische Elektrizität beschädigt werden können Wenn der Stecker nicht angeschlossen ist z B während des Transports bringen Sie unbedingt die Schutzkappe an Schalten Sie vor dem Anschließen oder Abtrennen des Steckers unbedingt die Stromzufuhr des Detektors aus 2 Verbinden Sie die Sonde CH1 des Oszilloskops mit S SIN und G GND des Signaleinstellteils des Det...

Страница 86: ...itude der Lissajousfigur an Anzugsmoment 0 8 N m 4 Stellen Sie sicher daß kein Kontakt zwischen Maßstab und Detektorkopf besteht und daß ein Abstand von 2 0 2 mm vorhanden ist wie in Abb 3 19 gezeigt Abb 3 19 5 Verschieben Sie den Maßstab und vergewissern Sie sich daß dieAmplitudenA und B der Lissajousfigur siehe Abb 3 20 einen Wert von 1 6 Vs s oder größer über die gesamte Maßstabslänge haben Hin...

Страница 87: ... und der kleinen Schraube M4 x 8 Bevor Sie den Maßstab für Messungen benutzen lassen Sie ihn nach der Montage etwa drei Stunden lang ruhen damit sich die befestigten Teile stabilisieren können und die Umgebungstemperatur des Maßstabs sich normalisieren kann Abb 3 21 Maßstab Kleine Schraube M4 x 8 Kabelklemme ...

Страница 88: ...nach dem in Abb 3 23 gezeigten Verfahren an Abb 3 23 3 6 3 Geschwindigkeitsschwankungen während der Bezugspunkterfassung Um die vorgeschriebene Genauigkeit 0 1 µm zu erzielen sollte die Geschwindigkeit während der Bezugspunkterfassung konstant gehalten werden Geschwindigkeitsschwankungen sollten auf einen Wert von maximal 0 2 mm s begrenzt werden Die maximale Erkennungsgeschwindigkeit beträgt 100 ...

Страница 89: ...ig 3 24 Die Löschung der Bezugspunktmenge im Falle einer Bezugspunktänderung oder bei Unterdruckanwendung ist als Sonderspezifikation erhältlich Fehler 1 Einheit mm 246 146 196 48 50 50 50 50 48 96 66 33 23 50 50 23 50 50 93 50 50 446 68 396 43 346 48 296 50 50 50 50 20 20 20 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 50 420 370 320 270 220 120 170 70 40 ...

Страница 90: ...praktisch eliminiert Es sollte als weniger als zwei Auflösungsgrenzen des verwendeten Detektors betrachtet werden Wiederholgenauigkeit Dies wird praktisch eliminiert Es sollte als weniger als eine Auflösungsgrenze des verwendeten Detektors betrachtet werden Temperaturkoeffizient dC_1 _0 7 x 10_6 Lichtquelle Halbleiterlaser 790 nm Erfassungsart Beugungsgitterabtastungs Interferometer Betriebstemper...

Страница 91: ...der Maßstabsmontagefläche beträgt R MAX 6 3 S Hinweis 3 Die Oberflächenrauheit der Schiebermontagefläche beträgt R MAX 12 5 S Einheit mm 27 8 29 5 Erfassungsposition für Maßstabsignal Maßstab Befestigungsschraube Detektorkopf Befestigungsschraube Kabellänge 3000 38 0 2 10 4 0 2 13 3 6 8 30 5 Ø7 45 9 40 5 16 30 5 0 03 A 6 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A 46 3 3 8 4 58 8 43 14 5 46 ...

Страница 92: ...bsklammer Befestigungsschraube L2 1 L3 1 L1 1 25 0 2 25 0 2 25 0 2 60 50 0 3 27 8 0 3 43 5 29 5 38 0 2 46 0 3 13 3 6 8 30 5 Ø7 2 Ø5 10 25 1 4 21 16 25 5 13 8 0 4 38 38 12 42 25 50 60 9 14 3 Ø5 45 9 40 5 16 2 N 100 75 100 75 50 L2 10 10 6 6 6 396 L3 L1 66 BS78 40N NS Modell 100 75 246 196 146 446 BS78 120N NS BS78 170N NS BS78 220N NS BS78 370N NS BS78 420N NS 30 5 0 03 A 19 24 5 25 0 2 23 14 5 6 3...

Страница 93: ... 2 40 0 2 27 8 0 3 43 5 29 5 38 0 2 13 3 98 88 15 25 5 Ø5 14 9 25 6 8 30 5 Ø7 60 42 2 Ø5 10 25 1 4 21 16 25 5 13 8 0 4 38 38 12 45 9 40 5 16 4 N 120 120 L2 8 8 296 L1 96 BS78 70N NS 346 BS78 270N NS BS78 320N NS 30 5 0 03 A 19 24 5 25 0 2 23 14 5 6 39 2 0 2 9 8 0 2 4 6 13 1 0 01 0 01 M A 25 0 2 25 0 2 46 0 3 3 Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 2 M4 Bezugsplatten Befestigungsschraube N M4 Maßstabsklamme...

Страница 94: ...tigungsschraube N M4 Maßstabsklammer Befestigungsschraube Modell Kabellänge 3000 Bezugsbohrung Bezugsplatte t 2 Abstandsstück t 2 Maßstabsklammer Detektorkopf Befestigungsschraube 2M 3 x 30 Erfassungsposition für Maßstabsignal Erfassungsposition für Bezugspunkt BS78 R RS Meßlängen 40 120 170 220 370 420 mm Hinweis 1 Die mit einem Sternchen markierten Punkte geben die Bearbeitungsmaße auf der Monta...

Страница 95: ...rung Bezugsplatte t 2 Abstandsstück t 2 Maßstabsklammer Detektorkopf Befestigungsschraube 2M 3 x 30 Erfassungsposition für Maßstabsignal Erfassungsposition für Bezugspunkt Bewegung des Maßstabs Bezugspunkt Erfassungsrichtung BS78 R RS Meßlängen 70 270 320 mm Hinweis 1 Die mit einem Sternchen markierten Punkte geben die Bearbeitungsmaße auf der Montagefläche an Hinweis 2 Die Oberflächenrauheit der ...

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Страница 97: ...stems Corporation et sont destinées exclusivement à l usage des acquéreurs de l équipement décrit dans ce manuel Sony Manufacturing Systems Corporation interdit formellement la copie de quelque partie que ce soit de ce manuel ou son emploi pour tout autre but que des opérations ou entretiens de l équipement à moins d une permission écrite de Sony Manufacturing Systems Corporation Die in dieser Anl...

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Страница 99: ...による故障 3 消耗品および付属品の交換 4 本書の提示が無い場合 5 本書にお買い上げ日 お客様名 販売店名等の記入 が無い場合 ただし 納品書や工事完了報告書が ある場合には その限りではありません 3 離島 遠隔地への出張修理および持込修理品の出張修理 については 出張に要する実費を別途申し受けます 4 本書は日本国内においてのみ有効です 5 本書の再発行はいたしませんので 紛失しないよう大切 に保管してください 本書はお買上げ日から保証期間中に故障が発生した場 合には 右記保証規定内容により無償修理を行うこと をお約束するものです お 客 様 お 名 前 ご 住 所 フリガナ 様 電話 保 証 期 間 お買上げ日 本 体 年 月 日 1 年 型 名 お買上げ店住所 店名 電話 印 お客様にお届けする日時が当社工場において記録される場合 納入日が工場で特定できる場合 保証書への記入 ...

Страница 100: ...地区 岐阜 カトー商事 株 TEL 0583 83 6234 愛知 有 カメテック TEL 0568 72 1435 近畿 中国 四国地区 大阪 有 宮下電機サービス TEL 06 6724 7005 広島 株 三田電子 TEL 082 831 5261 九州地区 福岡 三伸エンジニアリング 株 TEL 092 963 1296 Sony Manufacturing Systems Corporation Isehara Plant 45 Suzukawa Isehara shi Kanagawa 259 1146 Japan TEL 81 463 92 7971 FAX 81 463 92 7978 Sony Precision Technology America Inc 20381 Hermana Circle Lake Forest CA 92630 U S A TEL 949 7...

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