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KA 05.144/1 - 11/99
Abb. 3 Maßzeichnung; alle Maß ein mm
Страница 1: ...etlagerung Turbomolecular Pump with Magnetic Bearing Kat Nr Cat No 136 30 Operating Instructions Gebrauchsanleitung Vakuum L sungen Applikations Unterst tzung Service LEYBOLD VAKUUM KA 05 144 1 Erg nz...
Страница 2: ...e hat einen Hochvakuum Anschlussflansch DN 250 CF Sie ist nicht f r Sperrgasbetrieb vorgesehen der Sperrgasanschluss ist blind geflanscht Die K hlwasser Anschl sse sind anders Deshalb ist die Gebrauch...
Страница 3: ...ein Die max Ausheiztemperatur am CF Flansch ist 100 C 3 KA 05 144 1 11 99 32 Schrauben M8 x 45 Anziehmoment 30 Nm Abb 2 Schnitt durch eine CF Flanschverbindung Kupferdichtung Alle 32 Schrauben zur Bef...
Страница 4: ...4 KA 05 144 1 11 99 Abb 3 Ma zeichnung alle Ma ein mm...
Страница 5: ...inie entspricht Gleichzeitig best tigen wir Konformit t zur Niederspan nungsrichtlinie 73 23 EWG Bei Verwendung des entsprechenden Leybold Zube h rs z B Verbindungsleitungen und Antrieb mit den geeign...
Страница 6: ...the purge gas connector is blank flanged The cooling water connectors are different Therefore the Operating Instructions GA 05 135 are valid for this pump except from the following modifications Cool...
Страница 7: ...MAG W 2000 136 30 Seal Kit on request 2 6 Cooling water Cooling water is only reqired when baking out the pump No cooling water is reqired when operating the pump at ultimate pressure At cyclic operat...
Страница 8: ...KA 05 144 1 11 99 8 Fig 3 Dimensional drawing dimensions in mm...
Страница 9: ...WG When using the appropriate Leybold accessories e g connector lines and when powering the pump with the specified Leybold frequency converters the protection level prescribed in the EMC Guidelines w...
Страница 10: ...CT MAG W 1600 C CT MAG 2000 C CT MAG W 2000 C CT MAG DRIVE 2000 GA 05 135 1 02 August 1998 MAG W 2010 C 3 Beta site units MAG DRIVE 2000 GA 05 136 1 02 July 1998 MAG W 2010 C MAG DRIVE 2000 GA 05 136...
