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PCU LED
10. Monitoring
Erklärung der Parameterdarstellung im finalen Screen in der Anwenderebene
Darstellung Bedeutung
216
Laufnummer (Anzahl der Belichtungsjobs)
01.01.2000
Datum
01:17:35
Uhrzeit
040
LED-Intensität der oberen Panels in %
040
LED-Intensität der unteren Panels in %
0800
Belichtungsdauer [Stelle 1 und 2: Minuten; Stelle 3 und 4: Sekunden]
1
Vakuum AN [1 – AN; 0 – AUS]
0
Stickstoff AUS [1 – AN; 0 – AUS]
Aufschlüsseln der Fehlercodes im finalen Screen in der Anwenderebene
Code
Zustand
Hintergrundanzeige
00
Fehlerfreier Ablauf
Grün
01
Pumpe läuft während des Belichtungsvorganges Grün
02
Pumpe kann kein Vakuum ziehen
Rot
03
LEDs funktionieren nicht
Rot
Die verschiedenen Prozessparameter werden durch die in der PCU LED verbaute Sensorik
erfasst. Im finalen Screen in der Anwenderebene werden diese angezeigt.
Содержание PCU LED
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