µ-Dimension MTPro, Operation Manual

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MTPro
单多芯光纤端面干涉仪
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4.4
软件操作说明
4.4.1
单芯校准操作
在单芯测量模式下，单击主界面的“校准”按钮进入校准界面，界面如下图所示
图
4-15
单芯校准界面
依照操作提示，不断点击下一步即可完成校准工作。
校准注意事项：
1、校准时要保证校准件端面清洁；
2、校准时每次旋转校准件大约 60 度，旋转角度太大或太小将会导致校准失败或带来
较大的校准误差。
3、每次测量时保证夹具锁紧并且调焦清晰。
4、校准完成后需要对校准结果的可靠性进行检验，否则校准产生的误差会引入到后续
测量的每个连接器中。检验的方法是校准成功后，对校准件旋转 6 个面进行测量，6 次测
量的顶点偏移最大偏差不超过 3um。
4.4.2
多芯校准操作
-
两步法
软件默认的多芯校准方法：两步法。
在多芯测量模式下点击主界面的“校准”按钮进入校准界面，界面如下图所示：