Leybold vacuum MAG W 2000 Operating Instructions Manual Download Page 10

MAG.DRIVE 2000

including NRTL & 

SEMI S2 certifications

LEYBOLD VAKUUM GmbH

Bonner Strasse 498 (Bayenthal)

D-50968 Cologne
Tel.: + 49 (221) 347-0

Fax: + 49 (221) 347-1250

http://www.leyboldvac.de

e-mail:[email protected]

LVSVS_02062_1999 

  

 PG 

  

 11.99

Printed 

in 

Ger

many 

on 

chlorine-fr

ee 

bleached 

paper

Technical 

alterations 

reser

ved

MAG W 1600 C, CT

(Operation diagram & pum-

ping speed curve missing)

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

GA 05.130/1.02

(December 1997)

MAG.DRIVE L

MAG.DRIVE L2  (Trouble-

shooting incomplete)/

(Fehlersuche 

unvollständig)

MAG.DRIVE L

MAG.DRIVE L2  (Trouble-

shooting incomplete)

GA 05.130/2.02

(February 1998)

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE L

MAG.DRIVE L2

GA 05.130/3.02

(May 1998)

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE 2000

GA 05.135/1.02

(August 1998)

MAG W 2010 C

3 Beta site units

MAG.DRIVE 2000

GA 05.136/1.02

(July 1998)

MAG W 2010 C

MAG.DRIVE 2000

GA 05.136/2.02

(October 1998)

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE 2000

GA 05.135/2.02

(October 1998)

Operating Instructions for MAG 2000 series / Gebrauchsanleitungen für die MAG 2000 Serie

Operating 

Instructions

in English

Valid for pumps /

Gültig für Pumpen

Valid for Converters /

Gültig für 

Frequenzwandler

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE 2000

including NRTL & 

SEMI S2 certifications /

mit NRTL und 

SEMI S2 Bescheinigung

GA 05.135/3.02

(June 1999)

MAG W 2010 CHT

GA 05.139/1.02

(June 1999)

GA 05.130/3.01

(August 1999)

GA 05.135/3.01

(in Arbeit)

MAG W 2020 C

KA 05.143/1.02

(November 1999)

Supplement to 

GA 05.136

MAG W 2000

KA 05.144/1

(November 1999)

Ergänzung zu GA 05.135

Supplement to GA 05.135

Gebrauchs-

anleitung 

in deutsch

Summary of Contents for MAG W 2000

Page 1: ...etlagerung Turbomolecular Pump with Magnetic Bearing Kat Nr Cat No 136 30 Operating Instructions Gebrauchsanleitung Vakuum L sungen Applikations Unterst tzung Service LEYBOLD VAKUUM KA 05 144 1 Erg nz...

Page 2: ...e hat einen Hochvakuum Anschlussflansch DN 250 CF Sie ist nicht f r Sperrgasbetrieb vorgesehen der Sperrgasanschluss ist blind geflanscht Die K hlwasser Anschl sse sind anders Deshalb ist die Gebrauch...

Page 3: ...ein Die max Ausheiztemperatur am CF Flansch ist 100 C 3 KA 05 144 1 11 99 32 Schrauben M8 x 45 Anziehmoment 30 Nm Abb 2 Schnitt durch eine CF Flanschverbindung Kupferdichtung Alle 32 Schrauben zur Bef...

Page 4: ...4 KA 05 144 1 11 99 Abb 3 Ma zeichnung alle Ma ein mm...

Page 5: ...inie entspricht Gleichzeitig best tigen wir Konformit t zur Niederspan nungsrichtlinie 73 23 EWG Bei Verwendung des entsprechenden Leybold Zube h rs z B Verbindungsleitungen und Antrieb mit den geeign...

Page 6: ...the purge gas connector is blank flanged The cooling water connectors are different Therefore the Operating Instructions GA 05 135 are valid for this pump except from the following modifications Cool...

Page 7: ...MAG W 2000 136 30 Seal Kit on request 2 6 Cooling water Cooling water is only reqired when baking out the pump No cooling water is reqired when operating the pump at ultimate pressure At cyclic operat...

Page 8: ...KA 05 144 1 11 99 8 Fig 3 Dimensional drawing dimensions in mm...

Page 9: ...WG When using the appropriate Leybold accessories e g connector lines and when powering the pump with the specified Leybold frequency converters the protection level prescribed in the EMC Guidelines w...

Page 10: ...CT MAG W 1600 C CT MAG 2000 C CT MAG W 2000 C CT MAG DRIVE 2000 GA 05 135 1 02 August 1998 MAG W 2010 C 3 Beta site units MAG DRIVE 2000 GA 05 136 1 02 July 1998 MAG W 2010 C MAG DRIVE 2000 GA 05 136...

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