HP 5528A, User Manual, Page: 20 / 362

Model
55lBA
list of Figures &
US! of Tables
xvi
List of Figures (Continued)
F igure A-1. laser Measurement System - Simplified Block DI<lgram
. . . . . . . . . . . • • • . . . . .
A5
Figure A-2. Distance and Vel ocity Measurements . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . A6
Figure A·3. Angular
M
ea s ure m e nt
s
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . • . . • . • . • . •
, . . . . , A7
F
i g ur e
1\-4. Flatness M
e asu rements
. . , . . . . . . . . . . . . . . . • . •
, . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . A7
Figure A-S. Straighlness M easurements
. , . . , . . . . . . . . . . . • . • . • . . . . . • . . . . " . , . . . • • • . . , . .
A 9
Figure B·l. Six
Degrees of Freedom
. . . . . . . . . . . . . • . . . . . • . . . . . . • . . . . . . . . . • • • . • • • '
• •
,
' ,
.
81
F
ig
u
r
e
8·2.
S
q
u
a
r
en
e
ss
between Axes
.
. .
.
, . . . " . . . . . . . . . . . . . . , . . . , . . , . . . . • . • . • . • . . . . .
82
Figure 0-3. Tilrset Exilmples of Accuracy, Precision, and Resolution
. . . . . . . . • • . . . . . • . . . . .
82
Figure IJ- 4. C a li per E)(ample or Abbe' Err o
r . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . . . 84
LIST OF TABLES
Table '-1. 5526A H ar
d
war
e versus
Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
Table 1-2. Hardware list (Descriptions)
. . . . . . . . . . . . . . . . • . • . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1-5
Table 3-1.
Operating Procedures - Summary
. . . . . . . . . . . . • . • . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3-1
Table
3-2.
Guide to Refercnce M a tc r
ia
l
. . . . . . . . . . . . . . . . . • . • • . . . . . . . . . . . . . . . • . . . . . . . . .
3-2
Table 4-1. Measurement verSllS Setup Axis
. . . . . . . . . . .
.
.
.
.
. .
, . . .... .. . . . .. .. ...... .. . . 4·9
Table 9·1.
Accuracy Term
. .
.
.
. .
. .
.
.
. . .
.
.
.
. . .
. .
. .
, . . . . . . . . • . . . • . . . • . • . . . . . • . . . . . . . . .
9-1
Table
15-1.
Summary
or
A
l
i g n m en t
Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15-1
Table 16-1.
Preset Key runctions, Dc(aul! V
a l
u
es
,
and R a ng
e
s
. . . . . . . • . . . . . . . . . . . . . . . .
16-9
Table
17-1.
laser M e
a
su
r
e
m
ent
System
Error Me
ss
ag
es
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17-1
Table 18-1. !-tP-1I} C3pablillies
.
.
.
. .
.
.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . • . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . 18-2
Table 18-2. HP-IB Cables .
. . .
. .
.
.
.
. .
_
.
.
. . . .
. . . .
.
.
. . .
. . .
. .
. .
.
. .
.
.
.
.
, . . . . ' . . . . . . . . . . . 18-3
Table 18-3. HP-IB Address S witc h S
eU
in
g..
,
.
.
.
.
.
.
.
. _
. .
,
. . .
. . ,
.
"
.
.
.
.
. . . . .
.
.
. _
.
.
.
.
.
. .
18-7
Table 18
-
4
.
HP·IB
Cables . . . . . . . . . . . . . . . . .
"
. •
. . .
•
.
•
•
•
. .
. .
. . .
. . . . .
•
. • . •
' • . • _
• . . . . . .
18-8
Table 19-1. " Standard" C o n d
ll
io n
s
. . . . . . . . , " , . . . , " , . . . . , . . . . • . • . • ' . ' , . •
'
. . .
.
. . .
. . 19-2
Table 19-
2
.
Guide to Compensation Tables
.
,
.
,
. . . . . • . • . . . .
,
. . . . . . . . . . . . . . . . , . " ' , . . 19-4
Table 19-3. Metric: - WitJe-R;mge
.
.
, . . . . . " . , . . . . . •
, • . , . . . . . . . . . . . • . . • • . • . . • . , " , .
19-8