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Page 2: ...darauf dass Sie elektronische Bau elemente nicht bei anliegenderVersorgungs spannungber hren ACHTUNG VORSICHT BEI HANDHABUNG ELEKTROSTATISCH GEF HRDETE BAUELEMENTE BAUGRUPPEN Bestimmungsgem eVerwendun...
Page 3: ...e Installation 2 Elektrische Installation 3 Beaufschlagen mit Betriebsmedium 4 Regul rer Arbeitsantrieb Die festgelegte Genauigkeit wird erst dann erreicht wenn nach dem Einschalten die thermischen Au...
Page 4: ...IT y LED blau leuchtet Bei MFC zeigt an dass die Stellgr e des Ventils nahezu 100 erreicht hat In der Praxis bedeutet dies meist dass der Druck am Regler nicht ausreicht um den gew nschten Durchfluss...
Page 5: ...are heavily contaminated or contain particulates are detrimental to precision if liquid phases enter the sensor chamber the function of the sensor and the MFC MFM may be impaired In these cases a sui...
Page 6: ...ng operation The specified precision will be obtained only when after switching on the thermal equilibration process have been completed and the device has reached its operating temperature CONNECTION...
Page 7: ...n activated LIMIT y LED blue lights With MFC indicates that the correcting variable of the valve has almost reached 100 In practice this usually means that the pressure at the controller is insufficie...
