AIXTRON CRIUS II, System Manual

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AIXTRON
- Dokumentation CONFIDENTIAL 17
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06/
201
0
System Manual Safety
CRIUS II
2 Safety
2 Safety
2.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.1 Compulsory reading material!. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.2 Residual dangers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.1.3 Responsibilities regarding safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
2.2 General safety regulations for the end user . . . . . . . . . . . 19
2.2.1 Personnel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.2.2 System documentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.2.3 Transport, installation and commissioning . . . . . . . . . . . . . . . 20
2.2.4 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
2.2.5 Maintenance and service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.2.6 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
2.3 Hazard alerts in this System Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
2.4 Danger areas for operating personnel . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2.5 Danger areas for maintenance and service personnel . . . 25
2.5.1 Dangers originating from electric power . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.5.2 Dangers originating from mechanical energy . . . . . . . . . . . . . 27
2.5.3 Dangers originating from hazardous gases . . . . . . . . . . . . . . 28
2.6 Safety circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.6.1 EMERGENCY-OFF button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.6.2 PROCESS-STOP button . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.6.3 Door locks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
2.7 Lockout/tagout procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.7.1 Applying lockout/tagout devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.7.2 What to do if a device cannot be locked . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
2.7.3 Removing lockout/tagout devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
2.8 Personal protective equipment (PPE). . . . . . . . . . . . . . . . . 42
2.9 Fire risk report . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
2.10 Gas sensing equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
2.11 Unintended releases. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
2.12 Safety labels on the CRIUS II. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.12.1 Hazardous materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.12.2 Hazardous voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
2.12.3 Hot surface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
2.12.4 Pinch points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.12.5 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
2.13 Appendix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
2.13.1 Material Safety Data Sheets (MSDS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
2.13.2 Electromagnetic compatibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
2.13.3 Emission of gases and chemical substances . . . . . . . . . . . . . 54