Varian Turbo-V 2000 ICE Скачать руководство пользователя страница 10

MODE D’EMPLOI 

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87-900-915-01(E) 

INDICATIONS GENERALES 

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation 
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire 
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre 
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser 
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité 
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions 
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non 
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux 
réglementations nationales spécifiques. 
Les pompes de la série Turbo-V2000 ICE sont des pompes 
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide 
poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le 
pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé 
gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de 
liquides ou de particules solides. 
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à 
vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur 
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V2000 ICE sont totalement exemptes d'agents polluants et sont 
par conséquent indiquées pour des applications exigeant un 
vide "propre". 
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications 
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant 
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés 
se trouvent dans l'appendice "Technical Information". 

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: 

 

,

 

DANGER!

 

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur 

sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle 

n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de 

graves lésions. 

   ATTENTION ! 

Les messages d'attention apparaissent  avant certaines 

procédures  qui, si elles ne sont pas observées, pourraient 

endommager sérieusement l'appareillage. 

NOTA

 

Les notes contiennent des renseignements importants, 

isolés du texte. 

EMMAGASINAGE 

Pendant le transport et l'emmagasinage des pompes, il 

faudra veiller à respecter les conditions environnementales 

suivantes: 

-  température: de - 20°C - à + 70°C  

-  humidité relative 0 - 95 % (non condensante) 

Si le temps d'emmagasinage est très long, mettre la pompe 

en marche en mode SOFT START (voir la notice du 

contrôleur). 

PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION 

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; 
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être 
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de 
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, 
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et 
à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. 
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est 
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 
85/399 en matière de protection de l'environnement. 

   

ATTENTION !

 

 

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas 

toucher, les mains nues, les éléments devant être  exposés 

au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection 

appropriée. 

 

NOTE

 

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement 
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la 
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter 
toute pollution due à la poussière. 

INSTALLATION 

,

DANGER!

 

Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée 
à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si 
nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir 
préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur 
le corps de la pompe. 
 
Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à 
laquelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être 
utilisée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une 
façon plus générale pour des applications impliquant un vide 
"propre". Pour toute autre application,  veuillez contacter  Var-
ian Vacuum Technologies ou votre fournisseur habituel. 
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux 
exposés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des 
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux 
explosifs ou à risque élevé d'incendie. 

   

ATTENTION!

 

Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection 

qu’au moment du branchement de la turbopompe au 

systéme.

 

 

 

Содержание Turbo-V 2000 ICE

Страница 1: ...9127 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA...

Страница 2: ...Turbo V 2000 ICE...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...9 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 VENT DEVICE INSTALLATION 31 VENT VALVE INSTALLATION 32 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES 33 Gas Purge 33 Gas Purge Vent Device Description 33 Solid State Flowmeter Ins...

Страница 6: ...azzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare...

Страница 7: ...raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento PERICOLO Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare...

Страница 8: ...und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltnisse vorliegen Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend Nach extrem langer Lagerung mu die P...

Страница 9: ...akuumkammer darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120 C nicht berschreiten Vakuumsystemen die TP mit Was serk hlung arbeiten GEFAHR W hrend des Ausheizens d rfen weder die Pumpe noch...

Страница 10: ...il faudra veiller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche...

Страница 11: ...urs le refroidissement par eau pendant les op rations de chauffage DANGER viter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peu...

Страница 12: ...n las condiciones ambientales siguientes temperatura de 20 C a 70 C humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START...

Страница 13: ...empre la refrigeraci n por agua durante las operaciones de calentamiento PELIGRO No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede pro...

Страница 14: ...evem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20 C a 70 C humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT START ver manua...

Страница 15: ...deve ultrapassar 120 C Utilizar sempre o resfriamento com gua durante as opera es de aquecimento PERIGO N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A eleva...

Страница 16: ...belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve v...

Страница 17: ...sunit Tijdens het eventuele verwarmen van de vacu mkamer mag de temperatuur van de ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 C bedragen Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe GEVAAR Raak d...

Страница 18: ...ade p udstyret BEM RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumperne skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20 C...

Страница 19: ...en og rotoren ikke overskride 120 C Brug altid vandafk ling under opvarmningen ADVARSEL R r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh r under opvarmningsman vrerne Den h je temperatur kan for rsage...

Страница 20: ...ARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20 C till 70 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Efter l ng f rvaring skall pumpen start...

Страница 21: ...en ska temperaturen f r ing ngsfl nsen och rotorn inte verstiga 120 C Under uppv rmningen m ste vattenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r a...

Страница 22: ...pfylles temperatur fra 20 C til 70 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Skal utstyret lagres lengre m pumpen MYKSTARTES se kontrollenhetens manual KLARGJ RE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesi...

Страница 23: ...ling under oppvarmingen ADVARSEL Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller...

Страница 24: ...stoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Jos varastointiaika on hyvin pitk tulee pumppu k ynnist SOFT STA...

Страница 25: ...120 C K ytt k aina kuumentamisen aikana vett j hdytykseen VAARA lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P...

Страница 26: ...louqej periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C m cri 70 C scetik ugras a 0 95 asump knwth An o cr noj apoq keushj e nai pol makr j h antl a qa pr pei na teqe se k nhsh me tr po SOFT START bl pe...

Страница 27: ...ta ugr y xh KINDUNOS KINDUNOS KINDUNOS KINDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH...

Страница 28: ...TORAGE When transporting and storing the pumps the following envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20 to 70 C relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is...

Страница 29: ...nd of the rotor must not exceed 120 C Always use the water cooling system during the heating operations WARNING Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high...

Страница 30: ...rced air cooling A water cooling kit is available to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when forced air is insufficient for cooling purposes Two thermistor sensors are mou...

Страница 31: ...TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo V2000 ICE outline dimensions The dimensions arte indicated in mm inches 26 87 900 915 01 E...

Страница 32: ...5 bar 45 to 75 Psi Bakeout tempera ture 80 C at inlet flange ISO flange 120 C at inlet flange CF flange Max rotor temperature 120 C Vibration level displacement 0 01 m at inlet flange Motor supplied...

Страница 33: ...CAL INFORMATION Graph of compression ratio vs foreline pressure measured with vertical axis Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 28 87 900 91...

Страница 34: ...h a 120 Vac power supplied controller mod 969 9449 CAUTION The use of a wrong supply voltage heating jacket model may cause a serious damage to both heat ing jacket and controller It is applied to the...

Страница 35: ...338 metallic model and 969 9348 plastic model Model 969 9338 Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be hel...

Страница 36: ...LATION Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjust...

Страница 37: ...e mod 969 9843 allows to avoid un desired venting of the pump during a temporary power failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Tighten...

Страница 38: ...ing figure or model 969 9115 operating in the range from 0 to 150 SCCM with Nitrogen and from 0 to 125 SCCM with Argon that connected to the controller can monitor the flow of the protective gas purge...

Страница 39: ...for refer ence Ask VARIAN for proper temperature set ting Heater jacket must be always on even during start up and shutdown 1 Turbo V controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional Fil...

Страница 40: ...mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures...

Страница 41: ...Inlet screen ISO 250 969 9350 Heating jacket 120 Vac 969 9821 Heating jacket 220 Vac 969 9820 Water cooling kit for American fractional tubes 969 9338 Water cooling kit for Metric tubes 969 9348 Pump...

Страница 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Страница 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Страница 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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