Varian 969-9357 Series Скачать руководство пользователя страница 18

BRUGSANVISNING 

 13 

87-900-860-01(E) 

ALMENE OPLYSNINGER 

Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren 
bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, 
Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke 
ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er 
delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af 
ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb 
på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast 
til det pågældende lands særlige normer. 
Turbo-V 70 serien omfatter turbomolekulære pumper til 
højvakuum og til ultra-højvakuum, der er i stand til at pumpe alle 
typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke egnet til at 
pumpe væsker eller faste partikler. 
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj 
hastighed (max. 75000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv 
trefaset elektrisk motor. Turbo-V 70 pumperne er fuldstændig fri 
for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der 
kræves et "rent" vakuum. 
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens 
sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger 
henvises til den vedlagte "Technical Information". 
 

I denne håndbog findes følgende regler:

 

 

!

 

ADVARSEL! 

Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb 
eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for 
kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. 
 

!

 PAS PÅ

 

Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal 
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. 
 

BEMÆRK 

Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. 

OPBEVARING 

Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre 
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper 
fra Varian: 

• 

Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i 
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af 
pumperne: 

• 

temperatur: fra –20 °C til +70 °C, 

• 

relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). 

• 

Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved 
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af 
pumperne for første gang. 

• 

De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra 
forsendelsesdatoen. 

!

VIGTIGT!

 

Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er 
det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere 
oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian 
repræsentant. 

FORBEREDELSE TIL MONTERING 

Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt 
vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der 
kan være sket under transporten. 
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til 
den under udpakningen. 
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er 
genbrugsmateriale i overensstemmelse med EF-direktiv 85/399 
vedrørende miljøbeskyttelse. 
 

!

 PAS PÅ

 

For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de 
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid 
handsker eller anden passende beskyttelse. 

 

BEMÆRK 

Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den 
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det 
dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. 

MONTERING 

Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der 
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende 
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor 
brandfare. 
Følgende betingelser skal overholdes under driften: 

− 

maksimaltryk: 2 bar 

− 

temperatur: fra +5°C til +35°C 

− 

relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). 

 
Turbomolekulærpumperne i V 70 serien må kun anvendes med en 
af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9405, 969-9505, 
969-9507 eller 969-9508) og skal forbindes med en primær 
pumpe (se skemaet i "Technical Information"). 
 

!

 

PAS PÅ

 

Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, 
turbopumpen tilsluttes anlægget. 
 

 

 

Содержание 969-9357 Series

Страница 1: ...9360 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SI...

Страница 2: ...Turbo V 70...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Страница 6: ...omolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per q...

Страница 7: ...as inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa...

Страница 8: ...den Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feucht...

Страница 9: ...chette Optional ausgeheizt werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR eventue...

Страница 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Страница 11: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de...

Страница 12: ...ales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcion...

Страница 13: ...to La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta a...

Страница 14: ...evem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft St...

Страница 15: ...rbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras o...

Страница 16: ...temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de e...

Страница 17: ...tuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan...

Страница 18: ...ingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumpe...

Страница 19: ...P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller b...

Страница 20: ...lytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pu...

Страница 21: ...ttenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning a...

Страница 22: ...pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og st...

Страница 23: ...De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar FORSIKTIG Unng st t...

Страница 24: ...an seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Страница 25: ...n tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkas...

Страница 26: ...at th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj p...

Страница 27: ...INDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a c...

Страница 28: ...the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started wh...

Страница 29: ...ories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 b...

Страница 30: ...gher initial voltage frequency ratio Model 969 9360 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function wit...

Страница 31: ...tional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80...

Страница 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Страница 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Страница 34: ...at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater ba...

Страница 35: ...the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system In both cases the water temper...

Страница 36: ...in the three feed from the rear as shown in the diagram and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub scr...

Страница 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Страница 38: ...N Screw the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min an...

Страница 39: ...l 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge It typically reduces the vibration transmitted from the Tu...

Страница 40: ...gh temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn...

Страница 41: ...otor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start T...

Страница 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Страница 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Страница 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Отзывы: