Varian 969-9357 Series Скачать руководство пользователя страница 10

MODE D’EMPLOI 

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87-900-860-01(E) 

GENERALITES 

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession-
nelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice 
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire four-
nie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par consé-
quent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle 
des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un 
personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi 
contraire aux réglementations nationales spécifiques. 
Les pompes de la série Turbo-V 70.sont des pompes turbomolé-
culaires conçues pour des applications de vide poussé et ultra-
poussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de 
composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de 
liquides ou de particules solides. 
L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à 
vitesse élevée (75000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique 
triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V 70 sont totale-
ment dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent indi-
quées pour les applications exigeant un vide “propre”. 
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications néces-
saires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de 
l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans 
l’appendice “Technical Information”. 
 

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

 

 

!

 

DANGER!

 

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une 
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effec-
tuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. 

!

 

ATTENTION! 

Les messages d'attention apparaissent  avant certaines procédu-
res  qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager 
sérieusement l'appareillage. 

NOTE

 

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du 
texte. 

STOCKAGE 

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pom-
pes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les 
instructions suivantes : 

• 

Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doi-
vent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes 
suivantes: 

• 

température : de –20 °C à +70 °C 

• 

humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) 

• 

A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doi-
vent toujours être mises en marche en mode soft-Start.   

• 

Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 
10 mois à compter de la date d'expédition. 

!

 ATTENTION!

 

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être 
retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le 
représentant Varian de zone.  

PREPARATION POUR L'INSTALLATION 

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si 
l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits 
pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. 
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particu-
lièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir 
aucun choc ni aucune vibration. 
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entiè-
rement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en 
matière de protection de l'environnement. 

 

!

 

ATTENTION! 

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les 
mains nues, les éléments devant être  exposés au vide. Mettre 
toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 
 

 

NOTE 

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement 
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la gar-
der enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute 
pollution due à la poussière. 

INSTALLATION 

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à 
des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, 
à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à 
risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est néces-
saire de respecter les conditions environnementales suivantes: 
 

− 

pression maxi: 2 bar 

− 

température: de +5°C° à +35°C 

− 

humidité relative: 0 - 95% (non condensante) 

 
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 70 ne doivent 
être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian (série 
969-9405, 969-9505, 969-9507 ou 969-9508) et doivent être 
connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Technical 
Information”). 

!

 

ATTENTION! 

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la 
connexion de la turbopompe au système. 

 

 

 

Содержание 969-9357 Series

Страница 1: ...9360 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SI...

Страница 2: ...Turbo V 70...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Страница 6: ...omolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per q...

Страница 7: ...as inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa...

Страница 8: ...den Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feucht...

Страница 9: ...chette Optional ausgeheizt werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR eventue...

Страница 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Страница 11: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de...

Страница 12: ...ales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcion...

Страница 13: ...to La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta a...

Страница 14: ...evem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft St...

Страница 15: ...rbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras o...

Страница 16: ...temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de e...

Страница 17: ...tuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan...

Страница 18: ...ingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumpe...

Страница 19: ...P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller b...

Страница 20: ...lytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pu...

Страница 21: ...ttenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning a...

Страница 22: ...pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og st...

Страница 23: ...De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar FORSIKTIG Unng st t...

Страница 24: ...an seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Страница 25: ...n tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkas...

Страница 26: ...at th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj p...

Страница 27: ...INDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a c...

Страница 28: ...the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started wh...

Страница 29: ...ories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 b...

Страница 30: ...gher initial voltage frequency ratio Model 969 9360 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function wit...

Страница 31: ...tional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80...

Страница 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Страница 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Страница 34: ...at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater ba...

Страница 35: ...the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system In both cases the water temper...

Страница 36: ...in the three feed from the rear as shown in the diagram and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub scr...

Страница 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Страница 38: ...N Screw the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min an...

Страница 39: ...l 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge It typically reduces the vibration transmitted from the Tu...

Страница 40: ...gh temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn...

Страница 41: ...otor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start T...

Страница 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Страница 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Страница 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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