Varian 969-9357 Series Скачать руководство пользователя страница 7

ISTRUZIONI PER L'USO 

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87-900-860-01(E) 

 

 
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata 
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singo-
li. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia e tipo 
di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di 
serraggio stringerli. 
 

FLANGIA TIPO 

DI 

MORSETTO 

N. COPPIA 

DI 

SERRAGGIO 

ISO 63 

Morsetto doppio  

 

con filettatura M10 

4 22 

Nm 

 Morsetto 

singolo 

 

con filettatura M8 

4 11 

Nm 

 
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissa-
ta alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria mecca-
nica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical 
Information". 
Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario 
utilizzare tre viti M4 fissate agli appositi fori presenti sulla base 
della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di snerva-
mento di 500 N/mm

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 e devono essere fissate con una coppia di 

0,9 Nm. 
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical 
Information". 

USO 

Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa 
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. 
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. 
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare 
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.  
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la tem-
peratura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 
°C. 
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni 
di riscaldamento. 

 

!

 

PERICOLO!

 

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le 
operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare 
lesioni alle persone. 

!

 ATTENZIONE! 

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte 
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso 
l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar. 

!

 ATTENZIONE! 

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa 
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. 

!

 

ATTENZIONE! 

Per il pompaggio di gas aggressivi utilizzare solo le versioni spe-
ciali della pompa Turbo - V 70. Tali pompe sono dotate di una 
apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa 
un flusso di gas inerte compreso tra 0,4 e 1 mbar l/s. 

MANUTENZIONE 

Le pompe della serie Turbo-V70 non richiedono alcuna manuten-
zione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale 
autorizzato. 
 

!

 

PERICOLO!

 

Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollega-
re il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa apren-
do l'apposita valvola ed attendere fino al completo arresto del roto-
re ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia 
inferiore a 50 °C. 
 
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione 
Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di 
ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. 

NOTA 

Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o a-
dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per-
venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" 
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa 
deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedi-
zione. 

 
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua 
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 
 

NO!

 

!

 

PERICOLO!

 

Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun 
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della 
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (op-
zionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni 
oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca 
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. 

Содержание 969-9357 Series

Страница 1: ...9360 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SI...

Страница 2: ...Turbo V 70...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Страница 6: ...omolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per q...

Страница 7: ...as inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa...

Страница 8: ...den Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feucht...

Страница 9: ...chette Optional ausgeheizt werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR eventue...

Страница 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Страница 11: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de...

Страница 12: ...ales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcion...

Страница 13: ...to La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta a...

Страница 14: ...evem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft St...

Страница 15: ...rbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras o...

Страница 16: ...temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de e...

Страница 17: ...tuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan...

Страница 18: ...ingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumpe...

Страница 19: ...P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller b...

Страница 20: ...lytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pu...

Страница 21: ...ttenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning a...

Страница 22: ...pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og st...

Страница 23: ...De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar FORSIKTIG Unng st t...

Страница 24: ...an seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Страница 25: ...n tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkas...

Страница 26: ...at th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj p...

Страница 27: ...INDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a c...

Страница 28: ...the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started wh...

Страница 29: ...ories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 b...

Страница 30: ...gher initial voltage frequency ratio Model 969 9360 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function wit...

Страница 31: ...tional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80...

Страница 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Страница 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Страница 34: ...at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater ba...

Страница 35: ...the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system In both cases the water temper...

Страница 36: ...in the three feed from the rear as shown in the diagram and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub scr...

Страница 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Страница 38: ...N Screw the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min an...

Страница 39: ...l 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge It typically reduces the vibration transmitted from the Tu...

Страница 40: ...gh temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn...

Страница 41: ...otor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start T...

Страница 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Страница 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Страница 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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