Varian 969-9057 Скачать руководство пользователя страница 25

KƒYTT÷OHJEET 

 

20 

87-900-878-01(C) 

 

 

Sarjan  V700HT  turbomolekyylipumppuja  tulee  k‰ytt‰‰ 
ainoastaan  niihin  sopivien  varian  valvojien  kanssa  (sarja  969-
9445,  969-9545,  969-9872)  ja  niiden  t‰ytyy  olla  yhdistettyin‰ 
p‰‰pumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). 
Turbopumppu  voidaan  asentaa  mihin  tahansa  asentoon. 
Turbopumppu  tulee  kiinnitt‰‰  vakaaseen  asentoon  liitt‰m‰ll‰ 
turbopumpun  sis‰‰ntulolaippa  kiinte‰‰n  vastalaippaan,  joka 
kannattaa  4000  Nm  momenttia  akselinsa  ymp‰rill‰,  tai 
k‰ytt‰en 

tarkoitukseen 

sopivia 

lis‰varusteita 

sen 

kiinnitt‰miseen.  
Turbopumpu 

ISO 

sis‰‰ntulolaipalla 

tulee 

kiinnitt‰‰ 

tyhjiˆkammariin  kaksois  kiinnikkeill‰  tai  yksinkertaisilla 
kiinnikkeill‰.  Seuraava  taulukko  kuvaa  kaikki  laippakoot  ja 
kiinnikemallit, 

kiinnikkeiden 

tarpeellisen 

m‰‰r‰n 

ja 

kiristysmomentti. 
 

LAIPPA 

KIINNIKE 

MƒƒRA 

KIRISTYSMO-

ENTTI 

ISO 200  Kaksoiskiinnike, 

kierteitys M10 

22 Nm 

 

Yksinkertainen 
kiinnike, kierteitys 
M10 

12 

22 Nm 

 
Torbopumppu  ConFlat  sia‰‰ntilolaipalla  tulee  kiinnitt‰‰ 
tyhjiˆkammariin  sopivien  Varian  mekaanisien  varusteiden 
avulla.  Lis‰tietoja  lˆytyy  ©Technical  Information©-liittest‰. 
Pumppu  tulee  kiinnitt‰‰  jalustan  avulla  k‰ytt‰en  kolmea  M6 
ruuvia  jotka  on  kiinnitetty  sopiviin  pumpun  jalustassa  oleviin 
rakoihin.  Ruuveilla  tulee  olla  venytysrasitus  joka  vastaa  500 
N/mm

2

, ja tulee kiinnitt‰‰ 3,1 Nm momentilla. 

Lis‰laitteiden  asennuksen  ohjeet  ovat  n‰ht‰viss‰  "Technical 
Information" osassa. 

KƒYTT÷ 

Turbopumpun  oikeaoppiseen  k‰yttˆˆn  tarvittavat  ohjeet 
lˆytyv‰t valvojan k‰sikirjasta. 
Lukekaa huolellisesti kyseinen k‰sikirja ennen k‰yttˆˆnottoa. 
Jotta  saavutettaisiin  paremmat  rajapaineet,  on  pumpun  kotelon 
kuumentaminen mahdollista k‰ytt‰m‰ll‰ lis‰tilauksesta saatavaa 
kuumenninta.  Tyhjiˆkammion  mahdollisen  kuumentamisen 
aikana ei sis‰‰njohtavan laipan l‰mpˆtila saa olla yli 120 PC. 

K‰ytt‰k‰‰ aina kuumentamisen aikana vett‰ j‰‰hdytykseen. 
 

!

!

!

!

 

VAARA!

 

ƒlk‰‰ 

koskeko 

turbopumppuun 

tai 

sen 

lis‰osiin 

kuumentamisen  aikana.  Korkea  l‰mpˆtila  voi  saada  aikaan 
henkilˆiden loukkaantumisia. 
 

!

!

!

!

 HUOMIO

 

P‰‰stett‰ess‰  pumppuun  ilmaa  tulee  k‰ytt‰‰  ilmaa  tai 
jalokaasua,  joissa  ei  ole  pˆly‰  tai  hiukkasia.  Sis‰‰njohtavan 
paineen  siihen  sopivan  aukon  l‰pi  t‰ytyy  olla  alle  2  bar:ia 
(paitsi atmosf‰‰rinen paine). 
 

!

!

!

!

 HUOMIO

 

V‰lt‰ kolhuja, heiluntaa tai ‰kkiliikkeit‰ turbopumpun toiminnan 
aikana, sill‰ laakerit voivat vahingoittua. 
 

!

!

!

!

 HUOMIO

 

Aggressiivisten  kaasujen  pumppauksta  varten  m‰n‰  pumput 
on  varustettu  sopivalla  aukolla  jonka  l‰pi  tulee  kulettaa 
pumppuun  ei-aktiivisia  kaasuja  (typpi  tai argooni) jotta laakerit 
suojataan (katso liite ìTechnical informationî). 
 

!

!

!

!

 

VAARA!

 

Jolloin  pumppua  k‰ytet‰‰n  myrkyllisten,  tulenvaarallisten  ja 
radioaktiivisten  kaasujen  pumppaamiseen  tulee  seurata  joka 
kaasuun  sopivaa  menettelytapaa.  ƒlk‰‰  k‰yt‰  pumppua 
r‰j‰hdysherkkien kaasujen l‰hell‰. 

HUOLTO 

Sarjan  Turbo-V700HT  pumput  eiv‰t  vaadi  lainkaan  huoltoa. 
Mink‰  tahansa  toimenpiteen  t‰ytyy  suorittaa  siihen  valtuutettu 
henkilˆ. 
 

!

!

!

!

 

VAARA!

 

Ennen  mink‰‰n  tyyppist‰  toimenpidett‰  ottakaa  pois  p‰‰lt‰ 
verkkovirta,  p‰‰st‰k‰‰  pumppuun  ilmaa  avaten  siihen 
tarkoitettu 

venttiili 

ja 

odottakaa 

roottorin 

t‰ydellist‰ 

pys‰htymist‰ ja ett‰ pumpun pintal‰mpˆ on alle 50g. 
 
Laitteen  vahingoittuessa  on  mahdollista  k‰ytt‰‰  Varianin 
korjauspalvelua  tai  "Varian  advanced  exchange  service",  joka 
mahdollistaa  regeneroidun  pumpun  saamisen  vahingoittuneen 
tilalle. 

HUOMAUTUS 

Ennen  pumpun  l‰hett‰mist‰  valmistajalle  korjausta  tai 
advanced  exchange  service‰  varten,  on  ehdottomasti 
t‰ytett‰v‰  ja  toimitettava  paikalliseen  myyntitoimistoon 
"Turvallisuus  ja  Terveys"-kaavake,  joka  lˆytyy  liitteen‰ 
ohjekirjan  mukana.  Kyseisen  kaavakkeen  kopio  tulee  liitt‰‰ 
pumpun pakkaukseen ennen sen l‰hett‰mist‰. 

 
Mik‰li  pumppu  t‰ytyy  romuttaa,  toimikaa  kansallisen 
lains‰‰d‰nnˆn m‰‰r‰‰m‰ll‰ tavalla. 

!

!

!

!

 

VAARA!

 

Jotta 

henkilˆvahingoilta 

v‰ltytt‰isiin, 

ei 

miss‰‰n 

tapauksessa turbopumpun suuaukkoon saa laittaa sormia 
tai  muita  esineit‰.  Turvaverkon  k‰yttˆ  on  suositeltavaa 
(lis‰varuste). 
Mik‰li  suuaukolla  k‰ytet‰‰n  v‰r‰htelyjen  vaimentajaa  tai 
taipuvaa  metallista  paljetta,  tulee  turbopumppu  kiinnitt‰‰ 
aina jalustaan. 

EI!

 

Содержание 969-9057

Страница 1: ...UALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA ODHGIES C...

Страница 2: ...Turbo V 700HT...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...RBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 AIR COOLING KIT INSTALLATION 31 GAS PURGE VALVE INSTALLATION 32 VENT VA...

Страница 6: ...seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 QC a 70 QC umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare la pompa nel modo SOFT START vedere il manuale del...

Страница 7: ...e aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica ATTENZIONE Evitare urti oscillazio...

Страница 8: ...en k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltni...

Страница 9: ...umpe noch eventuelle hei e Anschlu teile ber hrt werden denn es besteht Verbrennungsgefahr ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden Der Eingang...

Страница 10: ...ller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20UC 70UC humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche en mode SOFT...

Страница 11: ...sonnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf ri...

Страница 12: ...ones ambientales siguientes temperatura de 20TC a 70TC humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START v ase el manu...

Страница 13: ...culas La presi n de entrada a trav s de la puerta apropiada deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica ATENCION Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbob...

Страница 14: ...bombas n o devem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20VC a 70VC humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT STA...

Страница 15: ...acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN BO Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de e...

Страница 16: ...atie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20RC tot 70RC relatieve vochtigheid 0 95 ni...

Страница 17: ...ijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de a...

Страница 18: ...skade p udstyret BEM7RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20R...

Страница 19: ...nvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbin...

Страница 20: ...maskinskada skall uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten F RVARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20QC till 70Q...

Страница 21: ...pumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 b...

Страница 22: ...t skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING N r pumpene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20MC til 70MC rela...

Страница 23: ...til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingnin...

Страница 24: ...mi tekstiss k sitellyt t rke t tiedot VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist a koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20PC 70PC suhteellinen kosteus 0...

Страница 25: ...in kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Sis njohtavan...

Страница 26: ...keu SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH Oi shmei seij peri coun shmantik j plhrofor ej pou coun apospaste ap to ke meno APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH Kat th di rkeia thj metafor j kai th...

Страница 27: ...a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH PROSOCH PROSOCH PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a crhsimopoie ste a ra adran j a rio kaqar ap sk nh lla stoice a H p esh eis dou diam sou...

Страница 28: ...ollowing envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20M to 70 MC relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode see...

Страница 29: ...articles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The b...

Страница 30: ...gs The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding ro tor discs These are made of aluminium alloy During n...

Страница 31: ...60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5q C to 35q C Coolant water flow 200 l h 0 89 GPM temperature 10q C to...

Страница 32: ...TION 27 87 900 878 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Страница 33: ...e inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The inlet scree...

Страница 34: ...tact with the pump wall to ob tain fast and efficient heating Switch on the heater while the turbopump is in op eration In the event of turbopump overheat the heater will be automatically cut out by t...

Страница 35: ...Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that t...

Страница 36: ...specification air flow 25 l s 51 CFM input voltage 120 Vac 50 60 Hz maximum power 17 W dimensions 119 x 119 mm 4 69 x 4 79 inches Position the fan on the pump ensuring that the holes in the plate line...

Страница 37: ...ge port cover as shown in the follow ing figure and then screw the gas purge valve with a torque of 2 5 Nm as shown in the following figure VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod 969 9833 allows t...

Страница 38: ...INSTALLATION The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min and enables an automatic vent operation Unscrew an...

Страница 39: ...LANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Страница 40: ...mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Connection C ELECTRICAL The turbopump is con...

Страница 41: ...pheric pressure in the system 4 Turn off the Turbopump 5 When the Turbo V pump and the backing pump are stopped and the system is at at mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisa...

Страница 42: ...ime 969 9833 Vent device with adjustable delay time 969 9831 Forepump DS 402 with 1 ph 3 ph universal motor 949 9382 Dry forevaccum pump MD 60 120 V 949 9411 Dry forevacuum pump MD 60 220 V 949 9412 T...

Страница 43: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Страница 44: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Страница 45: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Отзывы: