Varian 919-1114 Скачать руководство пользователя страница 11

INSTRUCTIONS D’UTILISATION 

Le fonctionnement de la pompe n'est optimisé que si celle-ci 
est utilisée avec l'une des unités de contrôle Varian spécifiques 
(Dual, MidiVac ou MiniVac).  

 

ATTENTION! 

Lors de l'utilisation des pompes, le respect des normes de sé-
curité est impérativement subordonné à l'emploi des unités de 
contrôle Varian. 

La pompe Vacion 

Plus

  peut être installée dans toutes les posi-

tions. Par facilité elle est généralement montée en position ver-
ticale avec bride d’entrée en partie haute. Les pompes peuvent 
également être suspendues dans toutes les positions à l’aide 
de leur bride d’entrée. Pour plus de détails sur l’installation de 
la pompe, consulter l’appendice “Technical information”. 

UTILISATION 

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la 
pompe Vacion 

Plus

 sont fournies dans la notice de l'unité de 

contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant 
d'utiliser la pompe. Il est recommandé de porter la pompe à 
une pression de 1x10

-4

 Torrs (mbars) de façon à obtenir un dé-

marrage plus rapide. Pour ce faire il est préférable de ne pas 
utiliser une pompe mécanique scellée à l’huile mais au cas où il 
serait nécessaire d’utiliser une telle pompe, il est recommandé 
d’introduire un dispositif de retenue le long de la ligne de vide 
afin de réduire la pression due aux vapeurs d’eau et d’huile en-
gendrées par la pompe mécanique. Essayer de réduire au mi-
nimum le temps où la pompe mécanique est ouverte vers le 
système et vers la pompe ionique car ses vapeurs se répan-
dent dans le système à des pressions inférieures à 1x10

-1 

Torrs 

(mbars) causant une contamination de celui-ci. Dans les sys-
tèmes où l’huile doit être complètement absente, il est préféra-
ble d’effectuer ladite opération à l’aide d’une pompe Turbo. Des 
dépôts hygroscopiques et l’absorption d’hydrogène dans le 
composé de titane peuvent provoquer, par effet du vieillisse-
ment de la pompe, l’allongement du temps de démarrage. Pen-
dant l’exposition à l’air, le dépôt du composé de titane absorbe 
de la vapeur d’eau et cette action a pour conséquence qu’au 
démarrage suivant le chauffage de la pompe entraînera la dis-
persion de la vapeur et d’une partie de l’hydrogène pompée 
précédemment ce qui aura pour effet d’allonger le temps de 
démarrage. 

Procédure d’utilisation 

Contrôler que la polarité de l’unité de contrôle soit correcte pour 
la pompe: polarité positive pour les pompes Diode et négative 
pour les pompes StarCell. Se reporter au manuel corres-
pondant et observer la procédure suivante pour l’utilisation de 
la pompe: 
1.  A l'aide d'une pompe de pré-vide, porter le système à une 

pression minimale de démarrage en suivant le tableau de 
la page 9 et en fonction du type de pompe ionique. 

2.  Brancher l’unité de contrôle à une source d’alimentation 

appropriée et l’allumer. 

3.  Contrôler la tension, le courant et la pression. Lorsque la 

mise en route est effectuée à une pression de 5x10

-2

 Torrs 

(mbars) la tension est généralement d’environ 300 - 400 
V. Une valeur de courant proche du courant de court-
circuit de l’unité de contrôle révèle l’existence d’une fuite 
dans la pompe et dans le système. Au cours de la phase 
de démarrage, un accroissement momentané de la pres-
sion de pré-vide est normal. 

4.  Laisser la soupape de pré-vide ouverte pendant le démar-

rage de la pompe ionique tant qu’une pression de démar-
rage appropriée n’a pas été atteinte. Si la tension de la 
pompe ionique descend après la fermeture de la soupape, 
la rouvrir pour un pré-pompage supplémentaire. Dès que 
la pression commence à diminuer, la tension augmente à 
nouveau et la valve de pré-vide peut être fermée. 

5.  Lorsque la tension a atteint 2 - 3 kV, mettre l’unité de 

contrôle en état de PROTECT. Le système sera ainsi pro-
tégé contre toute augmentation de pression au-delà de 
1x10 Torrs (mbars) lorsque la pompe n’est pas contrôlée. 

Si une telle augmentation devait être enregistrée, l’unité 
de contrôle s’éteindrait automatiquement. 

6.  La pression de la pompe peut également être calculée en 

relevant le courant et en convertissant la lecture en pres-
sion à l’aide du diagramme pression-courant illustré dans 
l’appendice “Technical Information” de ce manuel. 

NOTE 

Les paliers du diagramme de pression – courant sont une ca-
ractéristique du mode de fonctionnement du Dual. Lorsque le 
courant absorbé par la pompe atteint des valeurs déterminées, 
l'unité de contrôle porte la valeur de haute tension en sortie à 
une valeur inférieure. 

7. 

Lorsque l’on porte la pompe à la pression atmosphérique , 
utiliser de l’azote sec de façon à éviter que les parois de la 
pompe n’absorbent de la vapeur aqueuse.

 

,

DANGER!

 

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures ap-
propriées à chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence 
de gaz explosifs. 
 

,

DANGER!

 

Lorsque le réchauffeur est installé, éviter de toucher la pompe 
pendant les opérations de chauffage et de refroidissement. La 
température élevée peut provoquer des brûlures. 

 ATTENTION! 

Ne pas approcher de dispositifs électroniques de la pompe. Le 
champ magnétique environnant cette dernière peut entraîner 
des dysfonctionnements desdits dispositifs. 

MAINTENANCE 

Les pompes de la série Vacion 

Plus

 ne demandent aucun en-

tretien. Toute intervention doit être exécutée par un personnel 
agréé. 

,

DANGER!

 

Avant toute intervention sur la pompe, la débrancher de la 
haute tension. 
 
En cas de mise au rebut d’une pompe, procéder à son élimina-
tion dans le respect des normes nationales en vigueur.

 

 

MISE AU REBUT 

 
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes 

Le symbole ci-dessous

 

est appliqué conformément à la direc-

tive CE nommée "WEEE". 
Ce symbole 

(uniquement valide pour les pays de la Com-

munauté européenne)

 indique que le produit sur lequel il est 

appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures mé-
nagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par 
un système de collecte sélective. 
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, 
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du 
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le 
processus de collecte et mise au rebut. 

-4 

 

 

 

6

 

87-900-106-01(B)

 

Содержание 919-1114

Страница 1: ...odel 919 1115 Model 919 1125 Model 919 1145 Model 919 1146 Model 919 1114 Model 919 1124 Model 919 1144 I MANUALE DI ISTRUZIONI D BEDIENUNGSHANDBUCH F NOTICE DE MODE D EMPLOI GB INSTRUCTION MANUAL 87 900 106 01 B APRIL 2006 ...

Страница 2: ...VacIon Plus 20 ...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ... Vacuum evaluation 14 Short circuits 14 TYPICAL INSTALLATION 14 INLET FLANGE CONNECTION 15 CONTROL UNIT CONNECTION 16 SAFETY INTERLOCK 16 HEATER INSTALLATION 16 HEATER REPLACEMENT 17 BAKEOUT OPERATION 17 Bakeout of VacIon pump with the integral heaters 17 OPERATING PROCEDURE 17 MAINTENANCE 18 Exchange of the high voltage feedthrough 18 Leakage current check 19 High potting 19 PUMP TROUBLESHOOTING ...

Страница 6: ...engono informazioni importanti estrapolate dal te sto PREPARAZIONE PER L INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati du rante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l o perazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o v...

Страница 7: ...ione all aria il deposito del composto di titanio assorbe vapore acqueo in con seguenza di ciò al successivo avvio il riscaldamento della pom pa provoca il rilascio del vapore e di parte dell idrogeno pompato precedentemente con l effetto dell allungamento del tempo di avvio ATTENZIONE Non avvicinare dispositivi elettronici alla pompa Il campo ma gnetico attorno ad essa può provocare dei malfunzio...

Страница 8: ...hr besteht ACHTUNG Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam daß bei Nichteinhaltung Schäden am Gerät entstehen können Während des Betriebes soll die Umgebungstemperatur zwi schen 0 C und 85 C betragen um die angegebenen techni schen Merkmale zu gewährleisten ANMERKUNG ACHTUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben wer...

Страница 9: ...lußstromwert der Steuereinheit annähert weist auf eine Leckstelle an der Pumpe und am System hin Ein zeitweiliger Anstieg des Vorvakuumdruckes ist während der Anlaufphase nor mal 4 Während des Anlaufes der Ionenpumpe soll das Vorvaku umventil geöffnet bleiben bis ein angemessener Anlauf druck erreicht ist Wenn die Spannung der Ionenpumpe nach Schließung des Ventils abfällt ist das Ventil für eine ...

Страница 10: ...fonctionne ment pour respecter les spécifications techniques déclarées la température ambiante doit être comprise entre 0 C et 85 C ATTENTION Les messages d attention apparaissent avant certaines procé dures dont le non respect peut provoquer des dommages irré versibles à l appareillage NOTE ATTENTION Les notes contiennent des renseignements importants extrapo lés du texte La pompe doit être conse...

Страница 11: ...0 V Une valeur de courant proche du courant de court circuit de l unité de contrôle révèle l existence d une fuite dans la pompe et dans le système Au cours de la phase de démarrage un accroissement momentané de la pres sion de pré vide est normal 4 Laisser la soupape de pré vide ouverte pendant le démar rage de la pompe ionique tant qu une pression de démar rage appropriée n a pas été atteinte Si...

Страница 12: ... in explosive environments or those with a high fire risk Dur ing operation to obtain the specified operation the ambient temperature must be between 0 C and 85 C CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment CAUTION NOTE The notes contain important information taken from the text The pump should be kept sealed with its pinch...

Страница 13: ...pumped hydrogen thus the starting time may be lengthened CAUTION Do not put any electronic device near the pump otherwise the magnetic field around it may cause a device malfunctioning MAINTENANCE Operating procedure The VacIon Plus series pump does not require any mainte nance Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel Check that the controller HV polarity is corre...

Страница 14: ...ity high voltage supply is required to operate Diode and Noble Diode pumps A nega tive polarity high voltage supply is required to op erate StarCell pump since the anode is grounded and the cathode is held at negative potential The pump can operate in any position and can be supported on the mounting flange The inlet Con Flat flange is a 2 3 4 NW 35 Fig 1 shows the VacIon Plus 20 pump Fig 2 shows ...

Страница 15: ...rate the VacIon Plus 20 pump it normally requires an amount of gas equal to 0 6 Torr litres mbar litres Consequently pumps can operate for extended periods of time at low pressures in the non saturated state if they are properly conditioned VACION PLUS 20 STARCELL Fig 3 Pumping speed vs pressure for Nitrogen Fig 4 Pumping speed vs pressure for Argon Fig 5 Pressure vs current diagram 10 87 900 106 ...

Страница 16: ...TECHNICAL INFORMATION VACION PLUS 20 NOBLE DIODE Fig 6 Pumping speed vs pressure for Nitrogen Fig 7 Pumping speed vs pressure for Argon Fig 8 Pressure vs current diagram 11 87 900 106 01 B ...

Страница 17: ...20 DIODE Fig 9 Pumping speed vs pressure for Nitrogen Fig 10 Pressure vs current diagram OUTLINE DRAWING The following figure shows the outline drawing for the VacIon Plus pump Fig 11 VacIon Plus pump outline drawing 12 87 900 106 01 B ...

Страница 18: ...ine of the pump and in the plane of the flange as a function of distance from the pump are shown in Figs 13 14 and 15 Fig 12 VacIon Plus pump axis identification Fig 13 Stray magnetic field along X axis Fig 14 Stray magnetic field along Y axis Fig 15 Stray magnetic field along Z axis 13 87 900 106 01 B ...

Страница 19: ...for an indication of one of the following conditions If the pump is free of leaks and is at a low pressure the pressure indication shall within 10 minutes fall to or below the 10 8 Torr mbar range as the volume of gas is pumped If the pressure inside the pump is at or near atmospheric level an arc may strike inside the high voltage feedthrough giving a pop ping sound and the pump current will fluc...

Страница 20: ...rnal vacuum using pliers to open the copper tube pinch off CAUTION Do not open the pinch off seal with a saw or grinder These methods will cause metal particles to be drawn into the pump by the inrushing air as the pump is opened WARNING The pinch off seal is extremely sharp Be careful when opening Watch your fingers Use appropriate procedures to maintain the clean condition of the pump and vacuum...

Страница 21: ... or blanked off WARNING Before removing the high voltage connector of the cable from the control unit be sure the main power is removed from the control unit Wait at least 10 seconds after removing the main power from the control unit to allow capacitors to discharge com pletely To disconnect the coaxial high voltage cable from the controller slide the safety locking sleeve very little sleeve trav...

Страница 22: ... the pump and system cool down to room temperature a drop in pressure should be ob served Note that the ion pump can be also baked when switched off into an external turbo pump through a bakeable isolation valve This method gives the best vacuum performance Bakeout of VacIon pump with the integral heaters 1 The integral heaters are to be powered with the appropriate voltage Please refer to the ins...

Страница 23: ... it be sure the main power is removed from the control unit Before removing the high voltage connector of the cable from the control unit be sure the main power is removed from the control unit Wait at least 10 seconds after removing the main power from the control unit to allow capacitors to discharge com pletely VacIon Plus pumps are maintenance free In case of life time expiry or premature fail...

Страница 24: ...d emis sion current high potting should be performed High potting is the term used to describe the ap plication of higher than normal operating voltage 10 12 KV 20 50 mA for the purpose of burning off whiskers sharp edges on the pump cathode High potting should be done under vacuum and preferably without pump magnets installed to re duce the drawn current The output of an appropriately sized AC tr...

Страница 25: ... and pump Subse quent reduction in pressure de pends on the rate of depletion of this vapour Heavy hydrocarbons are most troublesome because of their relative low vapour pressure and they are very difficult to re move even by baking Bake the system walls thereby accelerating the desorption proc ess Baking mobilizes the vapours so they can be cracked and pumped by discharge see para BAKEOUT OPERATI...

Страница 26: ... Ferrite magnets 919 0040 919 0039 919 0035 Samarium Cobalt magnets 919 0036 Heaters 120V 220V 919 0044 919 0043 Copper gasket for 2 3 4 inlet flange 10 pack individually sealed FG 0275 CI Nut and bolt set for 2 3 4 inlet flange 1 4 28 x 1 1 4 25 pack FB 0275 C12 Copper gasket for 1 1 3 CF feedthrough flange 10 pack individually sealed FG 0133 CI Nut and bolt set for 1 1 3 CF feedthrough flange 8 ...

Страница 27: ...20 Vac 2 Neg 120 Vac 1 Pos 120 Vac 2 Pos 230 Vac 1 Neg 230 Vac 2 Neg 230 Vac 1 Pos 230 Vac 2 Pos 929 7008 929 7009 929 7010 929 7011 929 7012 929 7013 929 7014 929 7015 MidiVac 120 Vac with single output 120 Vac with double output 230 Vac with single output 230 Vac with double output 929 5001 929 5005 929 5003 929 5007 MiniVac MiniVac 120 Vac 220 Vac 24 Vdc 929 0191 929 0290 929 0196 MiniLink 120 ...

Страница 28: ...NTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Custome...

Страница 29: ...ate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach v...

Страница 30: ...2 1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chi...

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