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11/12/2019
TR - ELA - BA - DGB - 0027 - 03
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6.4.1.3 Skalierung: Auflösung [nm] .............................................................. 66
6.4.2 TR-Submodule Po Geschwindigkeit 1 bis 1-30 ................................... 69
6.4.2.1 Aufbau der zyklischen Prozessdaten ............................................... 69
6.4.2.2.1 Status ............................................................................... 70
6.4.2.2.2 Positions- und Geschwindigkeitswerte 1 bis 30 ............... 71
6.4.2.3.1 Steuerbyte, Preset-Justage ............................................. 72
6.4.2.3.2 Magnet-Nummer .............................................................. 73
6.4.2.3.3 Justagewert ...................................................................... 73
8.3.1 Modul: PNO Encoder Profil, Submodul: Position 32 Bit .................................. 76
8.3.2 Modul: TR Encoder Profil, Submodul: Shared Device Pos. + Vel. 1 - 30 ........ 77