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Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh-
len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens
10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten.
5.8 Sensor Parameter
Degas (DG)
Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden des Heißkatho-
densensors können zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahochvakuum führen sowie an-
dererseits Instabilitäten im Mess-Signal verursachen.
In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2,0x10
-6
mbar die
Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten Gas-
molekülen zu reinigen. Die Anode erwärmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf
bis zu 800
◦
C.
Der Parameter dient zum Abfragen und Steuern des Ausheizvorganges.
»0«:
Degas aus
»1«:
Degas ein
Die Druckmessung läuft während des Degas-Vorgangs weiter. Die-
ser endet automatisch nach ca. 3 Minuten, kann jedoch jeder-
zeit abgebrochen werden. Während des Degas-Vorgangs blinkt die
Status-LED des VSH rot.
Schaltsignal für Degas-Funktion - Degas Logic (DL)
Degas kann gestartet werden, indem Anschluss-Pin 9 (siehe Abschnitt 3.3.2) kurz-
zeitig (min. 20 ms) auf ein definiertes Potential gelegt wird. Über den Geräte-
Parameter »Degas Logic« (DL) kann per Softwarebefehl festgelegt werden, ob
hierzu ein 3 ... 24 VDC oder GND Signalpegel verwendet werden soll:
»0«:
GND, active low (Default)
»1«:
3 ... 24 VDC, active high
Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST)
Im VSH erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und
Heißkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt.
Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas-
sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon-
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Содержание VSH87D
Страница 2: ......
Страница 13: ...13 Bedienschema Adj Taster f r die Funktionen Degas und Nachjustieren VSH RS485 200116...
Страница 29: ...29 VSH RS485 200116...
Страница 32: ...32 8 Konformit tserkl rung VSH RS485 200116...
Страница 43: ...43 How to access Degas and Adjustment functions by means of the Adj key VSH RS485 200116...
Страница 59: ...59 VSH RS485 200116...
Страница 62: ...62 8 Declaration of Conformity VSH RS485 200116...
Страница 63: ...VSH RS485 200116...
Страница 64: ...VSH RS485 200116...