Lintec MC-3300 Series Скачать руководство пользователя страница 1

LN0360E2103C0 

         

Mass Flow Controller 

Instruction Manual 

   

MC-3300/3400L Series

 

  

Safety Precautions 

 

 
Incorrect handling may cause death or injury

 

 

(1)

 

Before connecting the fittings, check that no damage or defects are  found on 
the  fittings.  Make  connections  properly  and  make  sure  that  a  leak  test  is 
conducted  before  actual  operation  to  prevent  fluid  from  leaking  into  the 

atmosphere (Hereafter, the measured fluid is called “gas” or “fluid”).

 

(2)

 

DO NOT apply any fluids corrosive to materials exposed to gas. Corrosion may 
cause fluid to leak into the atmosphere. Check the gas type to be used in advance.

 

(3)

 

This device is not designed as an explosion proof structure. DO NOT use this 
device in a place where explosion-proof structures are required. Doing so may 
cause fire or explosion.

 

 

Incorrect handling may lead to medium or slight injury or may 
cause damage to, or loss of, facilities or equipment

 

 

(1)

 

Observe the precautions listed in the WARNING (above)

 

(2)

 

Strictly  observe  the  electrical  specifications.  Not  doing  so  may  cause  fire, 
damage to sensors or malfunction.

 

(3)

 

This  device  is  not  designed  to  be  waterproof.  DO  NOT  locate  this  device 
outdoors or in a place where it may be splashed with water. Doing so may cause 
fire, trouble, or malfunction of the device.

 

(4)

 

DO NOT modify this device. It may cause fire or other problems. 

(5)

 

This  device  is  not  designed  to  handle  hot  swap.  Please  avoid  attaching  and 
removing the power supply connector and interface connector with the power 
switched  on.  Attachment  and/or  removal  with  the  power  on  may  result  in 

                                       

failure of the device. 

(6)  While  a  power  supply  is  applied  to  MFC,  ±15VDC  must  be  applied 

simultaneously. If only +15VDC or -15VDC is applied, electronic circuits will 
become unstable and it may cause a malfunction of MFC.

 

(7)

 

This device is a precious device, please handle it carefully. Dropping down or 
handling  it  carelessly  will  cause  damage.  Please  use  assist  instrument  while 
moving or setting the device.

 

(8)

 

Regular  maintenance  is  recommended  for  steady  use  of  this  device 
(Recommended proofreading frequency is once a year). 

 

 

1. Introduction 

   

This manual explains basic operation of the MC-3300/3400L series (Hereafter, it is 
called "MFC"). Please read through this manual and other separate volumes (Digital 
Interface  Manual,  Special  Function  Manual,  Command  Chart)  carefully  to 
familiarize yourself with the features of this device. 

 

2. Summary 

   

The MFC is high performance mass flow controller for gas using thermal flow 
sensor and high response piezoelectric valve,

 

excluding MC-3302L. 

 

3. Features 

The MFC is the following features. 

(1)

 

LINTEC’s proprietary ambient temperature compensation type flow sensor is carried.

 

 

  ·

 

Low sensor temperature, long-time steady monitor, and few problems such 

       

           

as degradation of gas to be monitored. 

·

 

The effect of ambient temperature is less because the sensor temperature is 

 

   

kept at the ambient temperature.   

     

         

·

 

Steady temperature distribution of sensor and high-speed response. 

(2)

 

Digital computing system with microprocessor and high-resolution A/D, D/A 
converter is carried 

 

· High functionality   
·

   

By setting of device number (address), multiple devices can be controlled   

 

   

through a single interface   

· Many additional are provided as standard, e.g., totalizer function, zero adjust, 
 

 

ramping function   

(3)

                 

Universal digital Interface (RS-485)

   

(4)

 

   

Small dead space structure using a diaphragm valve 

(5)

 

Superior  corrosion  resistant  sealing  materials  make  maintenance  easy.  Metal 
seals (Au) 

(6)

 

Particle-free structure 

(MC-3400L) 

(7)

 

By using a metal case and various types of filters, steady operation can achieve 
even in an environment of high-frequency noise and stationary magnetic field

 

(8)

 

Based on RoHS 

 

 

4. Structure 

   

The  MFC  consists  of  sensors,  bypass,  valves,  and  a  microcomputer  for  signal 
processing. A digital PID feedback control system controls the valve action so that 
flow rate output from the sensor agrees with flow rate setting value. 

 
 
 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

5. Specification / Dimensions 

     

(1) Specification 

 ·Connect the MFC to the frame ground. 

 

     

(2) Dimensions 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 
 
 
 

6. Ordering information 

M C - 3 3 0 2 L   –   N C   –   6 J R 3   A A 0 A 0   –   d d   –   e e   –   f f  

       

   

[1]

   

         

[2]

 

     

[3]

   

   

[4]

 

     

                                 

   

[5]

     

   

[6]

   

           

[7]

 

[1] Series model 
    MC: Mass Flow Controller Series 
    MC-3302L, MC-3452L, MC-3462L, MC-3472L 
[2] Valve mode 

   

NC, RC: Normally closed (No treatment), MC: Normally closed (LEP) 

[3] Fitting 

   

6JR3: 9.52UJR163, 4JR4: 6.35UJR156, 6SW3: 9.52SWL162 

   

※ Please consult for more information. 

[4] Optional 

   

If no option is specified, it is “AA0A0” 

   

       

※ Default setting is labeled 

“AA0A0”.

 Please consult for more information.

 

 

[5] Gas type 
[6] Full scale flow rate 
[7] Flow rate unit     

SLM (0 ºC standard)

 

 

Name 

Mass Flow Controller 

Model 

MC-3302L 

MC-3452L 

MC-3462L 

MC-3472L 

Standard flow rate 
in nitrogen (Full scale) 

100SLM 
150SLM 

50 SLM 

100 SLM 
150 SLM 

200 SLM 

Valve operation mode 

Normally closed valve 

Internal surface treatment 

No treatment/ Precision polishing (LEP) 

Minimum controllable flow rate 

2%F.S. 

Analog flow rate setting signal 

Proportional to flow rate 0 to 5VDC 

Analog flow rate output signal 

Proportional to flow rate 0 to 5VDC 

Accuracy 

±2.0%F.S. 

100%F.S. to 35%F.S.

 

±1.0%S.P. 

35%F.S. to 2%F.S.   

±0.35%F.S. 

±1.0%F.S. 

Repeatability 

±0.5%F.S. 

Response time 

1second   

(Typical) 

1.5 seconds   

(Total flow control range) 

1second (Typical) 

1second 

(Typical) 

Operating differential 
pressure 

250 to 500kPa  150 to 500kPa  250 to 500kPa 350 to 500kPa 

Maximum operating pressure 

500kPa(G) 

Withstanding pressure 

1MPa(G) 

Operating temperature   
& Humidity 

5 to 50℃·0 to 80%RH 

(Condensation should be avoided) 

Temperature 
coefficient 
(Standard Temp.25℃) 

Zero 

±0.1%F.S./℃ 

Span 

Storage temperature   
& Humidity 

0 to 60℃·0 to 80%RH 

(Condensation should be avoided) 

Leak integrity 

Less than 1.0×10-11Pa·m3/sec (He) 

(RC: Less than 1.0×10-8Pa·m3/sec (He)) 

Mounting direction 

Free 

Materials exposed to gas 

Stainless steel 304, Stainless steel 316L, Teflon, Viton, Au 

Seal materials 

NC, MC: Au        RC: Au, Viton 

Actuator 

Solenoid 

actuator 

Piezoelectric actuator 

Fittings 

6.35UJR, 9.52UJR, 9.52SWL type 

Power supply 

+15VDC: 100mA 

-15VDC: 200mA 

+15VDC: 100mA 

-15VDC: 50mA 

Digital interface 

RS-485 (2-wire) 

Weight 

Approx. 1.7kg 

Approx. 1.4kg 

Отзывы: