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Edwards AIM-S-NW25, Инструкция по эксплуатации, Страница: 1 / 40

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Edwards AIM-S-NW25 Скачать руководство пользователя страница 1

D14641885

Issue L/Ausgabe L/Version L

Original Instructions

Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d’emploi

Active Inverted Magnetron Gauge/Aktiv-Penning-Meßröhren/Jauge active Magnétron inverse

Description

Beschreibung

Description

Item Number

Bestellnummer

Numéro de Référence

AIM-S-NW25

D14641000

AIM-SL-NW25

D14644000

AIM-X-NW25

D14642000

AIM-XL-NW25

D14645000

Содержание AIM-S-NW25

Страница 1: ...riebsanleitung Mode d emploi Active Inverted Magnetron Gauge Aktiv Penning Meßröhren Jauge active Magnétron inverse Description Beschreibung Description Item Number Bestellnummer Numéro de Référence AIM S NW25 D14641000 AIM SL NW25 D14644000 AIM X NW25 D14642000 AIM XL NW25 D14645000 ...

Страница 2: ...This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est délibérément laissée blanche ...

Страница 3: ...he Daten 9 2 4 Fehlerüberwachung 10 2 5 Werkstoffe im Vakuum 10 3 Einbau 11 3 1 Auspacken und Kontrollieren 11 3 2 Montage der AIM Meßröhre in das Vakuumsys tem 11 3 3 Elektrische Anschlüsse 12 3 3 1 Anschluß an Edwards Controller oder AGD An zeigegerät 13 3 3 2 Anschluß an eigene Netzversorgung und eigene Steuerung 13 4 Betrieb 17 4 1 Sicherheit 17 4 2 Zulässiger Betriebsbereich der AIM Meßröhre ...

Страница 4: ...öhre ins Vakuumsystem 25 5 3 Austausch der Elektrodengruppe 25 5 4 Ausbau der Meßelektronik und des Magnetge häuses 27 5 5 Reinigung der internen Komponenten 28 5 6 Fehlersuche 29 6 Lagerung und Entsorgung 31 6 1 Lagerung 31 6 2 Entsorgung 31 7 Ersatzteile und Zubehör 34 7 1 Einleitung 34 7 2 Ersatzteile 34 7 3 Zubehör 34 Für die Rücksendung von Geräten sind die HS Formulare am Ende dieser Betrieb...

Страница 5: ...sch NW25 4 2 Abmaße mm 8 3 Schaltschema der typischen elektrischen An schlüsse 14 4 Explosionsdarstellung der AIM Meßröhre 26 Tabellen Tabelle Seite 1 Pinbelegung an der Anschlußbuchse für die AIM Meßröhre 15 2 Druck und Spannungswerte für Stickstoff und trockene Luft 20 Warenzeichen Edwards und das Edwards Logo sind Marken von Edwards Limited Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Gro...

Страница 6: ...All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D14641885 Issue L Ausgabe L Edition L This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est délibérément laissée blanche ...

Страница 7: ...hoben Bitte befolgen Sie diese Anweisungen Die Verwendung von WARNUNGS und VORSICHTS Anweisungen ist nachfolgend definiert VORSICHT Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt befolgt werden müssen um Schäden an Ausrü stungen angeschlossenen Ausrüstungen oder Fehler im Gesamtprozeß zu vermeiden Die in diesem Handbuch durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internation...

Страница 8: ...en S SL X und XL Die Meßröhren X und XL haben einen erweiterten Meßbereich siehe unten und eine lineare Ausgangskennlinie Die Meßröhren S und SL haben ein sehr niedriges externes Magnetfeld und eignen sich für den Einsatz mit empfindlichen Analyseinstrumenten Der Meßbereich der Meßröhren AIM S und AIM SL beträgt 1x10 8 bis 1x10 2 mbar Der Meßbereich der Meßröhren AIM X und AIM XL beträgt 1x10 9 bi...

Страница 9: ...an der AIM Meßröhre wird für den Anschluß an Ihre Aktiv Controller Anzeigegeräte für Aktiv Meßröhren oder elektrische Versorgung und Voltmeter verwendet Mit passenden Steckern versehene Kabel stehen als Zubehör zur Verfügung Auf dem elektrischen Stecker ist ein Signal zur Identifizierung von Meßröhren verfügbar Mit Hilfe dieses Signals stellt der Edwards AGC den angeschlossenen Meßröhrentyp fest D...

Страница 10: ...nge 3 Body tube 4 Magnet housing 5 Cable connector plug 6 Set point potentiometer on end of item 1 7 AIM Gauge connector socket 1 Außenmantel 2 Vakuumflansch 3 Meßröhrenkörper 4 Magnetgehäuse 5 Kabelstecker 6 Sollwert Potentiometer an der Seite des Außenmantels 7 AIM Anschlußbuchse 1 Anneau de protection 2 Bride de connexion au vide 3 Tube 4 Logement de l aimant 5 Prise de raccordement du câble 6 ...

Страница 11: ...schaften des Gases Deshalb ist auch das Ausgangssignal der AIM Meßröhre gasartabhängig Die Umrechnung der Ausgangssignalspannung in Druck in Tabelle 2 gilt für Stickstoff und trockene Luft Kalibrierungskurven zur Verwendung mit Argon Neon Krypton Helium und Kohlendioxid stehen auf Wunsch zur Verfügung bitte setzen Sie sich mit Ihrem Händler oder Edwards direkt in Verbindung sortie du point de cons...

Страница 12: ...te Page 6 Edwards Limited 2020 All rights reserved D14641885 Issue L Ausgabe L Version L This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est délibérément laissée blanche ...

Страница 13: ...t IP40 BS5490 und IP403 IEC529 Umgebungstemperatur Betrieb 5 bis 60 C Lagerung 0 bis 70 C Umgebungsluftfeuchtigkeit Betrieb 10 bis 90 nicht kondensierend Max Höhe über Meeresspiegel für Betrieb 2000 m Nur zur Verwendung im Innenbereich Max Innendruck 10 Bar abs 9 Bar Überdruck Druckmeßbereich AIM S SL NW25 1 x 10 8 bis 1 x 10 2 mbar AIM X XL NW25 1 x 10 9 bis 1 x 10 2 mbar Verschmutzungsgrad 2 2 C...

Страница 14: ...ghts reserved D14641885 Issue L Ausgabe L Version L Figure 2 Dimensions mm Abbildung 2 Abmaße mm Figure 2 Dimensions mm 1 Clearance required for electrical cable 1 Freiraum für elektrisches Kabel 1 Espace requis pour le passage du câble électrique ...

Страница 15: ...p FCC68 RJ45 8 polig Druckausgangssignal Bereich 2 Ausgang 10 V Gs Fehlerbereich Ausgang 2 V Gs oder Ausgang 10 V Gs Impedanz 0 1 Min Lastimpedanz 10 k Max Stromquelle 1 mA Freigabe Meßröhre Regelung Aktiv niedrig Aktivpegel 1 3 V Regelimpedanz 12 k hochziehend zur positiven Versorgung Sollwertausgang Externe Nennlast 40 V Gs 100 mA max Sollwert Auslösepegel Bereich 1 8 bis 10 0 V Minimale Lastimp...

Страница 16: ...ssignalspannung 1 8 V beträgt 2 5 Werkstoffe im Vakuum Rostfreier Stahl AISI 304 and 306 Fluoroelastomer Kalknatronglas EMK Freilaufdiode Bei Benutzung eines an den Sollwertausgang angeschlossenen externen Gleichstromrelais Min Stoßspannung 1 A Min Gegenspannung 100 V Meßröhren Identifikationswiderstand AIM S SL NW25 100 k 2 AIM X XL NW25 110 k 2 2 4 Détection des erreurs La sortie du point de con...

Страница 17: ...zabdeckungen wieder aufsetzen Die AIM Meßröhre unter geeigneten Bedingungen lagern siehe Abschnitt 6 3 2 Montage der AIM Meßröhre in das Vakuumsystem Die AIM Meßröhre kann in beliebiger Lage montiert werden Um Ansammlungen von Kontaminationen und kondensierbaren Stoffen im Gehäuse der AIM Meßröhre zu vermeiden diese bewirken wahrscheinlich Meßfehler empfehlen wir senkrechten Einbau wie in Abbildun...

Страница 18: ...s der Steckeranschluß 6 in der gewünschten Stellung ist 3 3 Elektrische Anschlüsse Wird ein Kabel von mehr als 30 m Länge verwendet ist zur uneingeschränkten Einhaltung der EN61326 eine Überspannungsschutzeinrichtung zwischenzuschalten siehe Abschnitt 7 3 WARNUNG WARNUNG Bei Störungen der AIM Meßröhre kann es zu Fehlanzeigen kommen Wenn daraus eine Verletzung von Personen oder eine Beschädigung vo...

Страница 19: ...ung und eigene Steuerung Hinweis Den Masseanschluß der Stromversorgung Pin 2 nicht mit dem Signalmasseanschluß Pin 5 verbinden Wenn dies geschieht wird das Ausgangssignal der AIM Meßröhre ungenau Abbildung 3 zeigt das Schaltschema der elektrischen Anschlüsse der AIM Meßröhre Tabelle 1 zeigt die Kontaktbelegung der AIM Anschlußbuchse Angaben über die elektrische Versorgung das Gleichstromrelais und...

Страница 20: ...5 D C relay optional 6 Back EMF suppression diode optional 7 Gauge enable switch 8 Voltmeter set point trip level 1 AIM Anschlußbuchse 2 Kabelstecker 3 3 Elektrische Versorgung 4 Voltmeter 5 Gleichstromrelais wahlweise 6 EMK Freilaufdiode wahlweise 7 Freigabeschalter der Meßröhre 8 Voltmeter Sollwertauslösepegel 1 Prise de raccordement électrique de la jauge AIM 2 Prise de raccordement électrique ...

Страница 21: ...ollwertausgang eingeschaltet wird zu messen siehe Abbildung 3 Einen Schalter zwischen Pin 2 und 7 anschließen um die Meßröhre freigeben und sperren zu können siehe Abschnitt 4 2 Um den Identifikations Code zu lesen um den Typ der AIM Meßröhre zu bestimmen messen Sie den Widerstand zwischen Pin 4 und 5 Nummer Belegung 1 2 3 4 5 6 7 8 Plusanschluß der elektrischen Versorgungsspannung Masseanschluß V...

Страница 22: ...te Page 16 Edwards Limited 2020 All rights reserved D14641885 Issue L Ausgabe L Version L This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est délibérément laissée blanche ...

Страница 23: ...geschlossen ist oder wenn explosive oder entflammbare Gase mit der Meßröhre in Kontakt kommen können Im Inneren des Gehäuses der AIM Meßröhre werden Hochspannungen bis zu 3 kV erzeugt diese können zu Verletzungen von Personen führen bzw eine Zündquelle sein WARNUNG WARNUNG Die AIM Meßröhre enthält Magneten Nicht in die Nähe von Herzschrittma chern Computern Kreditkarten und anderen magnetisch empf...

Страница 24: ...iegt und das Meßgerät deaktivieren wenn der Systemdruck 1 x 10 2 mbar oder größer ist Bei Anschluß der AIM Meßröhre an einen AGC oder ein AGD lesen Sie die jeweilige Betriebs anleitung wie die AIM Meßröhre freizugeben einzuschalten bzw zu sperren abzuschalten ist Ansonsten wird die AIM Meßröhre durch Anschluß von Pin 7 an Pin 2 oder an Masse freigegeben eingeschaltet Zur Sperrung Abschaltung die A...

Страница 25: ...tmeter angeschlossen ist muß die gemessene Spannung in den entsprechenden Druckwert umgerechnet werden bei AIM S und AIM SL Meßröhren siehe Tabelle 2 bei AIM X und AIM XL Meßröhren wird die Gleichung P 10 verwendet wobei P für den Druck in mbar und V für die gemessene Spannung steht Falls erforderlich muß der Meßwert entsprechend der Gasart korrigiert werden siehe Abschnitt 1 3 7 8V 10 75 4 3 Mesu...

Страница 26: ... 9 8 x 10 7 1 3 x 10 6 1 7 x 10 6 2 2 x 10 6 2 8 x 10 6 3 6 x 10 6 4 5 x 10 6 5 6 x 10 6 2 00 2 50 3 00 3 20 3 40 3 60 3 80 4 00 4 20 4 40 4 60 4 80 5 00 5 20 5 40 5 60 5 80 6 00 6 20 7 5 x 10 9 1 8 x 10 8 4 4 x 10 8 6 1 x 10 8 8 3 x 10 8 1 1 x 10 7 1 6 x 10 7 2 2 x 10 7 3 0 x 10 7 4 1 x 10 7 5 5 x 10 7 7 4 x 10 7 9 8 x 10 7 1 3 x 10 6 1 7 x 10 6 2 1 x 10 6 2 7 x 10 6 3 4 x 10 6 4 2 x 10 6 6 9 x 1...

Страница 27: ...t mit einer Fehlerüber wachungsvorrichtung ausgestattet die gewährleistet daß das Sollwertausgangssignal in folgenden Fällen ausgeschaltet wird Wenn die Meßröhre abgeschaltet d h nicht freigegeben ist 0 5 Sekunden lang unmittelbar nachdem die AIM Meßröhre eingeschaltet wird Wenn sich das Druckausgangssignal außerhalb des Bereichs befindet weil die Meßröhre sich möglicherweise nicht zünden läßt Fal...

Страница 28: ...ie Meßröhre normal arbeitet wird dann das Sollwertausgangssignal gesetzt Hinweis Wenn die Sollwertbetriebsspannung auf 9 5 V eingestellt wird beträgt die Hysteresespannung 10 V und das Sollwertausgangssignal wird möglicherweise nicht ausgeschaltet wenn der Druck ansteigt ist dies der Fall wird das Sollwertausgangssignal nur ausgeschaltet wenn die Meßröhre abgeschaltet d h gesperrt wird Si nécessai...

Страница 29: ...ng der Wartungs verfahren die nur nach Bedarf auszuführen sind WARNUNG WARNUNG Die Meßelektronik und das Magnetgehäuse nicht vom Meßröhrenkörper trennen wenn die Meßröhre am Vakuumsystem angeschlossen ist Bei einer Plasma Entladung im Vakuumsystem in der Nähe des Meßröhrenkörpers kann sich dieser elektrisch aufladen WARNUNG WARNUNG Vor Ausbau des AIM Meßröhre aus dem Vakuumsystem das Kabel von der...

Страница 30: ...s Magnetgehäuse 1 festhalten und den Meßröhrenkörper 5 entgegen dem Uhrzeigersinn vom Vakuumflansch aus gesehen drehen um den Bajonettverschluß zu öffnen Den Meßröhrenkörper aus dem Magnetgehäuse herausnehmen 2 Den neuen Meßröhrenkörper ins Magnetgehäuse 1 einführen wie durch Pfeil B gezeigt 3 Das Magnetgehäuse 1 festhalten und den Meßröhrenkörper 5 im Uhrzeigersinn vom Vakuumflansch aus gesehen d...

Страница 31: ...hnitt 7 mitgelieferten Flachschlüssel an den beiden Nasen unten am Kragen 2 ansetzen dann den Kragen gegen den Uhrzeigersinn drehen den Kragen vom Meßröhrenkörper 5 abschrauben und die Anodengruppe 3 sowie den O Ring 4 ausbauen 4 Mit der Sprengringzange den Sprengring 8 von der Vakuumflanschseite des Gehäuserohres 5 abnehmen dann das Katodenrohr 7 und die Katodenplatte 6 herausnehmen 5 Die neue Ka...

Страница 32: ...Meßröhre Figure 4 Vue éclatée de la jauge AIM 1 Magnet housing 2 Collar 3 Anode assembly 4 O ring 5 Body tube 6 Cathode plate 7 Cathode tube 8 Circlip 1 Magnetgehäuse 2 Kragen 3 Anodengruppe 4 O Ring 5 Meßröhrenkörper 6 Katodenplatte 7 Katodenrohr 8 Sprengring 1 Logement de l aimant 2 Collier 3 Ensemble anode 4 Joint torique 5 Tube 6 Plaque cathodique 7 Tube cathodique 8 Circlip ...

Страница 33: ...d Außenmantel enthalten die Meßelektronik für den AIM Anzeiger Die komplette Einheit wie folgt austauschen 1 Die AIM Meßröhre wie in Abschnitt 5 2 1 ausbauen 2 Den Meßröhrenkörper wie in Schritt 1 Abschnitt 5 2 2 beschrieben ausbauen 3 Das alte Magnetgehäuse mitsamt dem Außenmantel entsorgen siehe Abschnitt 6 4 Den Meßröhrenkörper in das neue Magnetgehäuse mitsamt Außenmantel einsetzen siehe hierz...

Страница 34: ...einer Fühlerlehre prüfen daß der Zwischenraum mindestens 0 25 mm beträgt 4 Katodenplatte 6 Katodenrohr 7 Meßröhrenkörper 5 und Anodengruppe 3 unter Verwendung eines geeigneten Mittels entfetten 5 Die Komponenten in einem geeigneten Laborreinigungsmittel gründlich einweichen 6 Die Komponenten unter sauberem Wasser abspülen um das Reinigungsmittel wieder zu entfernen 7 Die Komponenten in Methanol au...

Страница 35: ...he AIM Gauge refer to Section 2 5 6 Fehlersuche Wenn die AIM Meßröhre nicht korrekt arbeitet alle elektrischen Anschlüsse überprüfen siehe Abschnitt 3 Sicherstellen daß die Stromversorgung für die AIM Meßröhre geeignet ist siehe Abschnitt 2 5 6 Recherche des causes de panne Si la jauge AIM ne fonctionne pas correctement vérifiez que les raccordements électriques sont corrects voir Section 3 et ass...

Страница 36: ...te Page 30 Edwards Limited 2020 All rights reserved D14641885 Issue L Ausgabe L Version L This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est délibérément laissée blanche ...

Страница 37: ...nen Sie das Produkt und oder die Kabel wiederaufbereiten Wenden Sie sich zur Beratung an Edwards oder an den Fachhändler siehe auch unten Dieses Produkt und die zugehörigen Kabel sowie die Ionisations Messröhren unterliegen der Richtlinie 2002 96 EG über Elektro und Elektronik Altgeräte Ab August 2005 bietet Edwards seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für das Produkt die Ka...

Страница 38: ...stances found in the equipment are hazardous which is important for the safety of our employees and all other people involved in the service of your equipment The hazard information also lets us select the correct procedures to service your equipment We provide instructions for completing the form in the Declaration of Contamination of Vacuum equipment and Components Procedure HS1 Download the lat...

Страница 39: ...ubehör von der Ihnen nächstgelegenen Edwards Niederlassung oder dem Ihnen nächstgelegenen Vertragshändler Geben Sie bei der Bestellung bitte für jedes bentigte Teil an Modell und Bestellnummer Ihrer Ausrüstung Seriennummer sofern vorhanden Bestellnummer und Bezeichnung des Teiles 7 2 Ersatzteile Ersatzteil Bestellnummer Elektronik und Magnetgehäuse AIM S NW25 D14641800 AIM SL NW25 D14644800 AIM X ...

Страница 40: ...te Page 34 Edwards Limited 2020 All rights reserved D14641885 Issue L Ausgabe L Version L This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est délibérément laissée blanche ...

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