background image

Service Manual 

AMT-LX218 

Helium Vacuum  Leak Detector 

Catalog  No. 

8200-000, 8200-001, 8200-002, 8200-003, 8200-004, 8200-005 

From software version 

1.18 

klna89en1-04-( 1912) 

Содержание 8200-000

Страница 1: ...Service Manual AMT LX218 Helium Vacuum Leak Detector Catalog No 8200 000 8200 001 8200 002 8200 003 8200 004 8200 005 From software version 1 18 klna89en1 04 1912...

Страница 2: ......

Страница 3: ...m schematic 16 3 4 Vacuum components 17 3 4 1 Backing pumps 17 3 4 2 Diaphragm pump MVP 035 19 3 4 3 SplitFlow 80 with electronic drive unit TC 110 19 3 5 Vacuum measurement 21 3 6 Valve block 22 3 7...

Страница 4: ...5 1 Digital inputs 53 3 10 5 2 Relay outputs 54 3 10 5 3 Audio amplifier 56 3 10 5 4 Signal LEDs 57 3 10 6 Operator panel 57 3 10 7 Power supply unit 58 3 10 8 Fuses 60 3 11 Circuit diagrams 61 3 11 1...

Страница 5: ...mber 87 3 15 2 2 Test error messages 87 3 15 2 3 Reset the operating hours counter 87 3 15 2 4 Reset functions 87 3 15 2 5 Pressure dependent leak rate correction 88 4 Maintenance and service 89 4 1 G...

Страница 6: ...cing the SplitFlow 80 turbo pump 129 6 4 3 Dismounting the mass spectrometer helium sensor 136 6 4 4 Replacing the ion source 138 6 4 5 Replacing EW ion collector and pre amplifier unit 140 6 4 6 Repl...

Страница 7: ...f initialization errors 173 7 3 List of error messages and warnings 174 7 4 Warning messages 178 8 Adjustment instructions 184 8 1 Pirani adjustments 184 8 1 1 Pirani adjustment p2 185 8 1 2 Pirani ad...

Страница 8: ...For a Declaration of Decontamination form refer to the operating instructions of the device Additional forms are available at your service point The mains filter the power supply unit the wiring boar...

Страница 9: ...A specialist is someone who due to their special training knowledge and experience as weil as knowledge of the relevant provisions can assess the work given to him and identify possible hazards Servic...

Страница 10: ......

Страница 11: ......

Страница 12: ......

Страница 13: ......

Страница 14: ......

Страница 15: ......

Страница 16: ......

Страница 17: ......

Страница 18: ......

Страница 19: ......

Страница 20: ......

Страница 21: ......

Страница 22: ......

Страница 23: ......

Страница 24: ......

Страница 25: ......

Страница 26: ......

Страница 27: ......

Страница 28: ......

Страница 29: ......

Страница 30: ......

Страница 31: ......

Страница 32: ......

Страница 33: ......

Страница 34: ......

Страница 35: ......

Страница 36: ......

Страница 37: ......

Страница 38: ......

Страница 39: ......

Страница 40: ......

Страница 41: ......

Страница 42: ......

Страница 43: ......

Страница 44: ......

Страница 45: ......

Страница 46: ......

Страница 47: ......

Страница 48: ......

Страница 49: ......

Страница 50: ......

Страница 51: ......

Страница 52: ......

Страница 53: ......

Страница 54: ......

Страница 55: ......

Страница 56: ......

Страница 57: ......

Страница 58: ......

Страница 59: ......

Страница 60: ......

Страница 61: ......

Страница 62: ......

Страница 63: ......

Страница 64: ......

Страница 65: ......

Страница 66: ......

Страница 67: ......

Страница 68: ......

Страница 69: ......

Страница 70: ......

Страница 71: ......

Страница 72: ......

Страница 73: ......

Страница 74: ......

Страница 75: ......

Страница 76: ......

Страница 77: ......

Страница 78: ......

Страница 79: ......

Страница 80: ......

Страница 81: ......

Страница 82: ......

Страница 83: ......

Страница 84: ......

Страница 85: ......

Страница 86: ......

Страница 87: ......

Страница 88: ......

Страница 89: ......

Страница 90: ......

Страница 91: ......

Страница 92: ......

Страница 93: ......

Страница 94: ......

Страница 95: ......

Страница 96: ......

Страница 97: ......

Страница 98: ......

Страница 99: ......

Страница 100: ......

Страница 101: ......

Страница 102: ......

Страница 103: ......

Страница 104: ......

Страница 105: ......

Страница 106: ......

Страница 107: ......

Страница 108: ......

Страница 109: ......

Страница 110: ......

Страница 111: ......

Страница 112: ......

Страница 113: ......

Страница 114: ......

Страница 115: ......

Страница 116: ......

Страница 117: ......

Страница 118: ......

Страница 119: ......

Страница 120: ......

Страница 121: ......

Страница 122: ......

Страница 123: ......

Страница 124: ......

Страница 125: ......

Страница 126: ......

Страница 127: ......

Страница 128: ......

Страница 129: ......

Страница 130: ......

Страница 131: ......

Страница 132: ...pump Screw in the clamping claws and tighten the screws applying 9 Nm of torque Next remove the rubber feet from the SplitFlow 80 TMP and fit them on the old turbo pump In your next work step prepare...

Страница 133: ......

Страница 134: ......

Страница 135: ......

Страница 136: ......

Страница 137: ......

Страница 138: ......

Страница 139: ......

Страница 140: ......

Страница 141: ......

Страница 142: ......

Страница 143: ......

Страница 144: ......

Страница 145: ......

Страница 146: ......

Страница 147: ......

Страница 148: ......

Страница 149: ......

Страница 150: ......

Страница 151: ......

Страница 152: ......

Страница 153: ......

Страница 154: ......

Страница 155: ......

Страница 156: ......

Страница 157: ......

Страница 158: ......

Страница 159: ......

Страница 160: ......

Страница 161: ......

Страница 162: ......

Страница 163: ......

Страница 164: ......

Страница 165: ......

Страница 166: ......

Страница 167: ......

Страница 168: ......

Страница 169: ......

Страница 170: ......

Страница 171: ......

Страница 172: ......

Страница 173: ......

Страница 174: ......

Страница 175: ......

Страница 176: ......

Страница 177: ......

Страница 178: ......

Страница 179: ......

Страница 180: ......

Страница 181: ......

Страница 182: ......

Страница 183: ......

Страница 184: ......

Страница 185: ......

Страница 186: ......

Страница 187: ......

Страница 188: ......

Страница 189: ......

Страница 190: ......

Страница 191: ......

Страница 192: ......

Отзывы: