Varian 969-9357 Series Instruction Manual Download Page 17

GEBRUIKSAANWIJZINGEN 

 12 

87-900-860-01(E) 

 

 

 

De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig 
de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van 
de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 200 
Nm rondom de eigen as kan verdragen, of gebruik het speciale 
optie-pakket voor bevestiging aan de basis. 
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer 
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige 
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde 
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten 
worden. 

 

FLENS KLEMTYPE NR. 

AANHAALKOPPEL 

ISO 63 

Dubbele klem met 

M10 schroefdraad 

4 22 

Nm 

 Enkelvoudige 

klem 

met M8 

schroefdraad 

4 11 

Nm 

 

De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de 
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale 
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer 
informatie de bijlage “Technical Information”. 
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie M4 
bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp worden 
ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van 500 N/mm

2

 

bezitten en met een koppel van 0,9 Nm worden aangehaald. 
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als 
optie verkrijgbaar zijn. 

GEBRUIK 

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn 
in de handleiding van de regeleenheid vermeld. 
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. 
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis 
verwarmd worden met behulp van een optionele verwarmingsunit. 
Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de 
temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.  
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe. 

 

!

 

GEVAAR!

 

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het 
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel 
veroorzaken. 
 

!

 

ATTENTIE! 

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas 
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor 
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische 
druk) bedragen. 
 

!

 

ATTENTIE! 

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de 
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders 
beschadigd raken. 
 

!

 

ATTENTIE! 

Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de 
speciale uitvoeringen van de Turbo-V70 pomp. Deze pompen zijn 
voorzien van een speciale poort, waardoor een stroom inert gas 
moet worden geleverd die varieert tussen 0.4 en 1 mbar lt/s. 
 

ONDERHOUD 

De pompen van de serie Turbo-V70 zijn onderhoudsvrij. 
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel 
worden uitgevoerd. 
 

!

 

GEVAAR!

 

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de 
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor 
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil 
staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een 
temperatuur van 50 °C is gezakt. 
  
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van 
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: 
zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. 
 

OPMERKING 

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te 
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid 
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke 
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart 
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden 
gevoegd. 

 
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de 
specifieke nationale wetgeving te werk.  

 

!

 

GEVAAR!

 

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen 
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening 
van de turbompomp worden gestoken. Men raadt gebruik van 
het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of 
een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt 
aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. 

NEE!

 

Summary of Contents for 969-9357 Series

Page 1: ...9360 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SI...

Page 2: ...Turbo V 70...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Page 6: ...omolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per q...

Page 7: ...as inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa...

Page 8: ...den Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feucht...

Page 9: ...chette Optional ausgeheizt werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR eventue...

Page 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Page 11: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de...

Page 12: ...ales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcion...

Page 13: ...to La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta a...

Page 14: ...evem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft St...

Page 15: ...rbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras o...

Page 16: ...temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de e...

Page 17: ...tuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan...

Page 18: ...ingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumpe...

Page 19: ...P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller b...

Page 20: ...lytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pu...

Page 21: ...ttenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning a...

Page 22: ...pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og st...

Page 23: ...De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar FORSIKTIG Unng st t...

Page 24: ...an seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Page 25: ...n tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkas...

Page 26: ...at th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj p...

Page 27: ...INDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a c...

Page 28: ...the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started wh...

Page 29: ...ories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 b...

Page 30: ...gher initial voltage frequency ratio Model 969 9360 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function wit...

Page 31: ...tional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80...

Page 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Page 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Page 34: ...at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater ba...

Page 35: ...the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system In both cases the water temper...

Page 36: ...in the three feed from the rear as shown in the diagram and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub scr...

Page 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Page 38: ...N Screw the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min an...

Page 39: ...l 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge It typically reduces the vibration transmitted from the Tu...

Page 40: ...gh temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn...

Page 41: ...otor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start T...

Page 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Reviews: