Varian 969-9357 Series Instruction Manual Download Page 16

GEBRUIKSAANWIJZINGEN 

 11 

87-900-860-01(E) 

ALGEMENE INFORMATIE 

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De 
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle 
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens 
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet 
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht 
nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet 
hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen 
toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke 
nationale wetgeving. 
De pompen van de serie Turbo-V 70 zijn turbomoleculaire 
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat 
zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet 
geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. 
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende 
turbine (max. 75.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een 
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V 
70 pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook 
geschikt voor toepassingen die een “schoon vacuüm” verlangen. 
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de 
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te 
verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage 
"Technical information". 
 

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

 

 

!

 

GEVAAR!

 

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt 
op een speciale procedure of methode die, indien niet correct 
uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. 
 

!

 

ATTENTIE! 

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet 
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. 
 

OPMERKING 

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is 
gelicht. 

OPSLAG 

Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de 
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de 
volgende voorschriften in acht worden genomen: 

• 

tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet 
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: 

• 

temperatuur: van –20 °C tot 70 °C 

• 

relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) 

• 

de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-
Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de 
eerste keer in werking worden gesteld 

• 

de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 
maanden vanaf de verzenddatum. 

!

ATTENTIE!

 

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de 
pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie 
wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegen-
woordiger van Varian. 

UITPAKKEN 

De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking 
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans-
port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met 
het plaatselijke verkoopkantoor. 
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten 
te verduren krijgt. 

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het 
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de 
EEG milieurichtlijn 85/399. 

 

!

 

ATTENTIE! 

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de 
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de 
blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd wanten of een 
andere geschikte bescherming. 

 

OPMERKING 

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan 
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om 
de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem 
wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt 
voorkomen. 

INSTALLATIE 

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten 
die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, 
sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met 
explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. 
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities 
aanwezig zijn: 

− 

max. druk: 2 bar  

− 

temperatuur:  van +5°C tot +35°C 

− 

relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). 

De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 70 mogen 
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale 
Varian controllers (serie 969-9405, 969-9505, 969-9507, of 969-
9508) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie 
schema in “Technical Information”). 

!

 

ATTENTIE!

 

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem 
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop 
verwijderd worden. 

 

 

Summary of Contents for 969-9357 Series

Page 1: ...9360 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SI...

Page 2: ...Turbo V 70...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Page 6: ...omolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per q...

Page 7: ...as inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa...

Page 8: ...den Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feucht...

Page 9: ...chette Optional ausgeheizt werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR eventue...

Page 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Page 11: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de...

Page 12: ...ales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcion...

Page 13: ...to La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta a...

Page 14: ...evem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft St...

Page 15: ...rbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras o...

Page 16: ...temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de e...

Page 17: ...tuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan...

Page 18: ...ingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumpe...

Page 19: ...P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller b...

Page 20: ...lytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pu...

Page 21: ...ttenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning a...

Page 22: ...pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og st...

Page 23: ...De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar FORSIKTIG Unng st t...

Page 24: ...an seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Page 25: ...n tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkas...

Page 26: ...at th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj p...

Page 27: ...INDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a c...

Page 28: ...the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started wh...

Page 29: ...ories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 b...

Page 30: ...gher initial voltage frequency ratio Model 969 9360 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function wit...

Page 31: ...tional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80...

Page 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Page 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Page 34: ...at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater ba...

Page 35: ...the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system In both cases the water temper...

Page 36: ...in the three feed from the rear as shown in the diagram and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub scr...

Page 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Page 38: ...N Screw the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min an...

Page 39: ...l 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge It typically reduces the vibration transmitted from the Tu...

Page 40: ...gh temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn...

Page 41: ...otor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start T...

Page 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Reviews: