Varian 969-9357 Series Instruction Manual Download Page 13

INSTRUCCIONES DE USO 

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87-900-860-01(E) 

 

 
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. Fijar la 
turbobomba en posición estable uniendo la brida de entrada de la 
turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 
200 Nm alrededor de su eje, o utilizando el kit opcional apropiado 
para la fijación a la base. 
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la 
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas 
individuales. La tabla siguiente describe el número de mordazas 
necesarias y el par de apriete al que han de apretarse. 

 

BRIDA 

TIPO DE MORDAZA 

N. 

PAR DE 

APRIETE 

ISO 63  Mordaza doble 

con rosca M10 

4 22 

Nm 

 Mordaza 

individual 

con 

rosca M8 

4 11 

Nm 

 

La turbobomba con brida de entrada ConFiat se fijará a la cámara 
de vacío mediante los accesorios mecánicos Varian. Para más 
detalles véase el anexo “Technical Information”. 
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres 
tornillos M4 fijados en los orificios correspondientes que se 
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han de 
tener una carga de deformación elástica de 500 N/mm

2

 y han de 

fijarse a un par de 0,9 Nm. 
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical 
Information”. 

UTILIZACION 

Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la 
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. 
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. 
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la 
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional. Durante el 
posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la 
brida de entrada no deberá superar 120°C. Utilizar siempre la 
refrigeración por agua durante las operaciones de calentamiento. 

 

!

 

¡PELIGRO!

 

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las 
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede 
provocar lesiones a las personas. 

  

!

 

¡ATENCION! 

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin 
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta 
apropiada deberá ser inferior a 2 bar. 

 

!

 

¡ATENCION! 

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la 
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían 
dañarse. 

 

!

 

¡ATENCION! 

Para bombear gases agresivos utilizar sólo las versiones especia-
les de la bomba Turbo - V 70. Estas bombas van dotadas de una 
puerta a través de la cual es preciso suministrar a la bomba un 
caudal de gas inerte comprendido entre 0.4 y 1 mbar l/s. 

 

MANTENIMIENTO 

Las bombas de la serie Turbo-V70 no necesitan ningún tipo de 
mantenimiento. Cualquier operación tendrá que ser realizada por 
personal autorizado. 
 

!

 

¡PELIGRO!

 

Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba, 
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba 
abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare 
completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50 
ºC. 

 

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación 
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite 
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. 

 

NOTA 

Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o 
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar y 
remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de "Seguridad 
y Salud" adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia 
de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba 
antes de enviarla. 

 

En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su 
eliminación respetando las normas nacionales específicas. 

!

 

¡PELIGRO!

 

Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por 
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de 
la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de protección 
(opcional). Si se utiliza un amortiguador de vibraciones o un 
fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la 
turbobomba a la base. 

NO!

 

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Page 2: ...Turbo V 70...

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Page 4: ......

Page 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Page 6: ...omolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per q...

Page 7: ...as inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa...

Page 8: ...den Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feucht...

Page 9: ...chette Optional ausgeheizt werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR eventue...

Page 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Page 11: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de...

Page 12: ...ales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcion...

Page 13: ...to La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta a...

Page 14: ...evem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft St...

Page 15: ...rbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras o...

Page 16: ...temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de e...

Page 17: ...tuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan...

Page 18: ...ingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumpe...

Page 19: ...P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller b...

Page 20: ...lytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pu...

Page 21: ...ttenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning a...

Page 22: ...pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og st...

Page 23: ...De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar FORSIKTIG Unng st t...

Page 24: ...an seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Page 25: ...n tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkas...

Page 26: ...at th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj p...

Page 27: ...INDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a c...

Page 28: ...the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started wh...

Page 29: ...ories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 b...

Page 30: ...gher initial voltage frequency ratio Model 969 9360 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function wit...

Page 31: ...tional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80...

Page 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Page 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Page 34: ...at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater ba...

Page 35: ...the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system In both cases the water temper...

Page 36: ...in the three feed from the rear as shown in the diagram and screw them in ensuring that they do not protrude from the other end For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub scr...

Page 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Page 38: ...N Screw the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min an...

Page 39: ...l 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge It typically reduces the vibration transmitted from the Tu...

Page 40: ...gh temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn...

Page 41: ...otor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start T...

Page 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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