background image

GEBRUIKSAANWIJZINGEN 

 

11 

87-900-878-01(C) 

ALGEMENE INFORMATIE 

Deze  apparatuur  is  bestemd  voor  beroepsmatig  gebruik.  De 
gebruiker  wordt  verzocht  aandachtig  deze  handleiding  en  alle 
overige  door  Varian  verstrekte  informatie  door  te  lezen 
alvorens  het  apparaat  in  gebruik  te  nemen.  Varian  acht  zich 
niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk 
in  acht  nemen  van  de  aanwijzingen,  onoordeelkundig  gebruik 
door  niet  hiervoor  opgeleid  personeel,  reparaties  waarvoor 
geen  toestemming  is  verkregen  of  gebruik  in  strijd  met  de 
specifieke nationale wetgeving. 
De  pompen  van  de  serie  Turbo-V700HT  zijn  turbomoleculaire 
pompen  voor  hoge  en  ultrahoge  vacu¸mtoepassingen,  die  in 
staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn 
niet  geschikt  voor  het  pompen  van  vloeistoffen  of  vaste 
deeltjes. 
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende 
turbine (max. 42.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door 
een  elektrische  draaistroommotor  met  hoog  rendement.  De 
Turbo-V700HT  pompen  zijn  volledig  vrij  van  verontreinigingen 
en  zijn  dus  ook  geschikt  voor  toepassingen  die  een  ìschoon 
vacu¸mî verlangen. 
In  de  volgende  paragrafen  is  alle  informatie  vermeld  om  de 
veiligheid  van  de  operator  tijdens  het  gebruik  van  de 
apparatuur  te  verzekeren.  Gedetailleerde  informatie  is  te 
vinden in de bijlage "Technical information". 

Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:

 

 

!

!

!

!

 

GEVAAR!

 

Bij  dit  symbool  staat  tekst  die  de  aandacht  van  de  operator 
vestigt  op  een  speciale  procedure  of  methode  die,  indien  niet 
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. 
 

!

!

!

!

 

ATTENTIE! 

Bij  dit  symbool  staat  tekst  met  procedures  die,  indien  niet 
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. 
 

OPMERKING 

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst 
is gelicht. 

OPSLAG 

Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de 
volgende omgevingscondities aanwezig zijn: 

− 

 temperatuur: van -20RC tot +70RC 

− 

 relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) 

Als de opslagperiode van lange duur is, de pomp met de SOFT 
START wijze opstarten (zie handleiding regeleenheid). 

UITPAKKEN 

De  pomp  wordt  in  een  speciale  beschermende  verpakking 
geleverd;  als  er  schade  wordt  geconstateerd  die  tijdens  het 
transport  veroorzaakt  zou  kunnen  zijn,  meteen  contact 
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. 
Zorg  er  bij  het  uitpakken  voor  dat  de  pomp  niet  kan  vallen  of 
stoten te verduren krijgt. 
 Laat  de  verpakking  niet  ergens  buiten  achter.  Het 
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de 
EEG milieurichtlijn 85/399.   
 

!

!

!

!

 

ATTENTIE! 

Om  ontgassingsproblemen  te  voorkomen,  mogen  de 
componenten die met het vacu¸m in aanraking komen niet met 
de  blote  handen  aangeraakt  worden.  Gebruik  altijd  wanten  of 
een andere geschikte bescherming. 
 

 

OPMERKING 

De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan 
de  atmosfeer  blootgesteld  te  worden.  Toch  wordt aangeraden 
om  de  pomp  gesloten  te  houden  zolang  deze  niet  in  het 
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof 
wordt voorkomen. 

INSTALLATIE 

De  pomp  mag  niet  geÔnstalleerd  en/of  gebruikt  worden  in 
ruimten  die  blootgesteld  zijn  aan  de  weersomstandigheden 
(regen,  vorst,  sneeuw),  stof,  agressieve  gassen,  of  in  ruimten 
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. 
Tijdens  de  werking  moeten  de  volgende  omgevingscondities 
aanwezig zijn: 

− 

max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk 

− 

temperatuur:  van +5RC tot +35RC 

− 

relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). 

 
Bij  aanwezigheid  van  magnetische  velden  moet  de  pomp  op 
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage ìTechnical 
Informationî voor meer informatie. 
 

!

!

!

!

 

ATTENTIE!

 

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem 
wordt  aangesloten  mogen  de  sticker  en  de  beschermdop 
verwijderd worden. 

 

 

Summary of Contents for 969-9057

Page 1: ...UALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA ODHGIES C...

Page 2: ...Turbo V 700HT...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...RBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 AIR COOLING KIT INSTALLATION 31 GAS PURGE VALVE INSTALLATION 32 VENT VA...

Page 6: ...seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 QC a 70 QC umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare la pompa nel modo SOFT START vedere il manuale del...

Page 7: ...e aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica ATTENZIONE Evitare urti oscillazio...

Page 8: ...en k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltni...

Page 9: ...umpe noch eventuelle hei e Anschlu teile ber hrt werden denn es besteht Verbrennungsgefahr ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden Der Eingang...

Page 10: ...ller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20UC 70UC humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche en mode SOFT...

Page 11: ...sonnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf ri...

Page 12: ...ones ambientales siguientes temperatura de 20TC a 70TC humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START v ase el manu...

Page 13: ...culas La presi n de entrada a trav s de la puerta apropiada deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica ATENCION Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbob...

Page 14: ...bombas n o devem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20VC a 70VC humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT STA...

Page 15: ...acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN BO Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de e...

Page 16: ...atie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20RC tot 70RC relatieve vochtigheid 0 95 ni...

Page 17: ...ijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de a...

Page 18: ...skade p udstyret BEM7RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20R...

Page 19: ...nvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbin...

Page 20: ...maskinskada skall uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten F RVARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20QC till 70Q...

Page 21: ...pumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 b...

Page 22: ...t skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING N r pumpene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20MC til 70MC rela...

Page 23: ...til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingnin...

Page 24: ...mi tekstiss k sitellyt t rke t tiedot VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist a koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20PC 70PC suhteellinen kosteus 0...

Page 25: ...in kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Sis njohtavan...

Page 26: ...keu SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH Oi shmei seij peri coun shmantik j plhrofor ej pou coun apospaste ap to ke meno APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH Kat th di rkeia thj metafor j kai th...

Page 27: ...a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH PROSOCH PROSOCH PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a crhsimopoie ste a ra adran j a rio kaqar ap sk nh lla stoice a H p esh eis dou diam sou...

Page 28: ...ollowing envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20M to 70 MC relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode see...

Page 29: ...articles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The b...

Page 30: ...gs The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding ro tor discs These are made of aluminium alloy During n...

Page 31: ...60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5q C to 35q C Coolant water flow 200 l h 0 89 GPM temperature 10q C to...

Page 32: ...TION 27 87 900 878 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Page 33: ...e inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The inlet scree...

Page 34: ...tact with the pump wall to ob tain fast and efficient heating Switch on the heater while the turbopump is in op eration In the event of turbopump overheat the heater will be automatically cut out by t...

Page 35: ...Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that t...

Page 36: ...specification air flow 25 l s 51 CFM input voltage 120 Vac 50 60 Hz maximum power 17 W dimensions 119 x 119 mm 4 69 x 4 79 inches Position the fan on the pump ensuring that the holes in the plate line...

Page 37: ...ge port cover as shown in the follow ing figure and then screw the gas purge valve with a torque of 2 5 Nm as shown in the following figure VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod 969 9833 allows t...

Page 38: ...INSTALLATION The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min and enables an automatic vent operation Unscrew an...

Page 39: ...LANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Page 40: ...mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Connection C ELECTRICAL The turbopump is con...

Page 41: ...pheric pressure in the system 4 Turn off the Turbopump 5 When the Turbo V pump and the backing pump are stopped and the system is at at mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisa...

Page 42: ...ime 969 9833 Vent device with adjustable delay time 969 9831 Forepump DS 402 with 1 ph 3 ph universal motor 949 9382 Dry forevaccum pump MD 60 120 V 949 9411 Dry forevacuum pump MD 60 220 V 949 9412 T...

Page 43: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 44: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 45: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Reviews: