Varian 969-9057 Instruction Manual Download Page 12

INSTRUCCIONES DE USO 

 

87-900-878-01(C) 

INFORMACION GENERAL 

Este  equipo  se  ha  concebido  para  un  uso  profesional.  El 
usuario  deber·  leer  atentamente  el  presente  manual  de 
instrucciones  y  cualquier  otra  informaciÛn  suplementaria 
facilitada  por  Varian  antes  de  utilizar  el  equipo.  Varian  se 
considera  libre  de  cualquier  responsabilidad  debida  al 
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco 
apropiado  por  parte  de  personal  sin  adiestrar,  a  las 
intervenciones no autorizadas o al uso que no cumpla con las 
normas nacionales especÌficas. 
Las  bombas  de  la  serie  Turbo-V700HT  son  bombas 
turbomoleculares  para  aplicaciones  de  vacÌo  alto  y  ultra  alto 
que  pueden  bombear  cualquier  tipo  de  gas  o  de  compuesto 
gaseoso.  No  son  apropiadas  para  bombear  lÌquidos  o 
partÌculas sÛlidas. 
El efecto de bombeo se consigue mediante una turbina rotativa 
de alta velocidad (42000 r.p.m./min. m·x) movida por un motor 
trif·sico  de  gran  rendimiento.  Las  bombas  Turbo-V700HT  no 
llevan ning˙n tipo de agentes contaminantes y por lo tanto son 
aptas para aplicaciones que requieren un vacÌo ìlimpioî. 
Los  apartados  siguientes  contienen  toda  la  informaciÛn 
necesaria para garantizar la seguridad necesaria del operador 
al  utilizar  el  aparato.  InformaciÛn  m·s  detallada  se  puede 
encontrar en el anexo ìTechnical Informationî. 

Este  manual  utiliza  los  sÌmbolos  convencionales 
siguientes: 

 

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°PELIGRO!

 

Los mensajes de peligro atraen la atenciÛn del operador sobre 
un  procedimiento  o  una  operaciÛn  especÌfica  que,  al  no 
realizarse  correctamente,  podrÌa  provocar  graves  lesiones 
personales. 

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°ATENCION! 

Los  mensajes  de  atenciÛn  se  visualizan  antes  de 
procedimientos que, al no respetarse, podrÌan provocar daÒos 
al equipo. 

NOTA 

Las notas contienen informaciÛn importante extraÌda del texto. 

ALMACENAMIENTO 

Durante  el  transporte  y  el  almacenamiento  de  las  bombas  se 
deber· cumplir con las condiciones ambientales siguientes: 

− 

temperatura: de -20TC a +70TC 

− 

humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) 

Si  el  periodo  de  almacenamiento  es  muy  largo,  poner  en 
marcha  la  bomba  en  modalidad  SOFT  START  (vÈase  el 
manual de la unidad de control). 

PREPARACION PARA LA INSTALACION 

La  bomba  se  suministra  en  un  embalaje  de  protecciÛn 
dimensional;  si  se  observan  seÒales  de  daÒos,  que  podrÌan 
haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto 
con la oficina de venta m·s cercana. 
 Durante  la  operaciÛn  de  desembalaje,  prestar  una  atenciÛn 
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. 
 No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es 
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE/399 para la 
preservaciÛn del medio ambiente. 

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°ATENCION! 

Para  evitar  la  degasificaciÛn,  no  tocar  con  las  manos  sin 
guantes  los  componentes  destinados  a  someterse  al  vacÌo. 
Utilizar siempre los guantes u otra protecciÛn apropiada. 

 

NOTA 

La  bomba  no  se  puede  daÒar  sÛlo  por  quedar  expuesta  a  la 
atmÛsfera.  De  todas  formas,  se  aconseja  mantenerla  cerrada 
hasta  el  momento  de  la  instalaciÛn  en  el  sistema  para  evitar 
una posible contaminaciÛn debida al polvo. 

 

INSTALACION 

No  instalar  ni  utilizar  la  bomba  en  ambientes  expuestos  a 
agentes  atmosfÈricos  (lluvia,  hielo,  nieve),  polvos,  gases 
agresivos,  en  ambientes  explosivos  o  con  alto  riesgo  de 
incendio. 
Durante  el  funcionamiento  es  preciso  que  se  respeten  las 
condiciones ambientales siguientes: 

− 

presiÛn  m·xima:  2  bar  por  encima  de  la  presiÛn 
atmosfÈrica 

− 

temperatura: de +5TC a + 35TC 

− 

humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora) 

 
Cuando  hay  campos  electromagnÈticos  la  bomba  ha  de 
protegerse  mediante  pantallas  oportunas.  VÈase  el  apÈndice 
ìTechnical Informationî para m·s detalles.  
Las  bombas  turbomoleculares  de  la  serie  Turbo-V700HT  han 
de  utilizarse  exclusivamente  con  uno  de  los  controladores 
Varian  (serie  969-9445, 969-9545, 969-9872) y se conectar·n 
a  una  bomba  primaria  (vÈase  esquema  en  ìTechnical 
Informationî). 
 

!

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°ATENCION!

 

Eliminar el adhesivo y quitar el tapÛn de protecciÛn sÛlo en el 
momento en que se conecte la turbobomba al sistema. 
 

 

 

Summary of Contents for 969-9057

Page 1: ...UALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA ODHGIES C...

Page 2: ...Turbo V 700HT...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...RBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 AIR COOLING KIT INSTALLATION 31 GAS PURGE VALVE INSTALLATION 32 VENT VA...

Page 6: ...seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 QC a 70 QC umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare la pompa nel modo SOFT START vedere il manuale del...

Page 7: ...e aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica ATTENZIONE Evitare urti oscillazio...

Page 8: ...en k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltni...

Page 9: ...umpe noch eventuelle hei e Anschlu teile ber hrt werden denn es besteht Verbrennungsgefahr ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden Der Eingang...

Page 10: ...ller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20UC 70UC humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche en mode SOFT...

Page 11: ...sonnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf ri...

Page 12: ...ones ambientales siguientes temperatura de 20TC a 70TC humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START v ase el manu...

Page 13: ...culas La presi n de entrada a trav s de la puerta apropiada deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica ATENCION Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbob...

Page 14: ...bombas n o devem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20VC a 70VC humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT STA...

Page 15: ...acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN BO Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de e...

Page 16: ...atie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20RC tot 70RC relatieve vochtigheid 0 95 ni...

Page 17: ...ijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de a...

Page 18: ...skade p udstyret BEM7RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20R...

Page 19: ...nvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbin...

Page 20: ...maskinskada skall uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten F RVARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20QC till 70Q...

Page 21: ...pumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 b...

Page 22: ...t skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING N r pumpene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20MC til 70MC rela...

Page 23: ...til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingnin...

Page 24: ...mi tekstiss k sitellyt t rke t tiedot VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist a koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20PC 70PC suhteellinen kosteus 0...

Page 25: ...in kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Sis njohtavan...

Page 26: ...keu SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH Oi shmei seij peri coun shmantik j plhrofor ej pou coun apospaste ap to ke meno APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH Kat th di rkeia thj metafor j kai th...

Page 27: ...a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH PROSOCH PROSOCH PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a crhsimopoie ste a ra adran j a rio kaqar ap sk nh lla stoice a H p esh eis dou diam sou...

Page 28: ...ollowing envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20M to 70 MC relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode see...

Page 29: ...articles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The b...

Page 30: ...gs The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding ro tor discs These are made of aluminium alloy During n...

Page 31: ...60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5q C to 35q C Coolant water flow 200 l h 0 89 GPM temperature 10q C to...

Page 32: ...TION 27 87 900 878 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Page 33: ...e inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The inlet scree...

Page 34: ...tact with the pump wall to ob tain fast and efficient heating Switch on the heater while the turbopump is in op eration In the event of turbopump overheat the heater will be automatically cut out by t...

Page 35: ...Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that t...

Page 36: ...specification air flow 25 l s 51 CFM input voltage 120 Vac 50 60 Hz maximum power 17 W dimensions 119 x 119 mm 4 69 x 4 79 inches Position the fan on the pump ensuring that the holes in the plate line...

Page 37: ...ge port cover as shown in the follow ing figure and then screw the gas purge valve with a torque of 2 5 Nm as shown in the following figure VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod 969 9833 allows t...

Page 38: ...INSTALLATION The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min and enables an automatic vent operation Unscrew an...

Page 39: ...LANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Page 40: ...mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Connection C ELECTRICAL The turbopump is con...

Page 41: ...pheric pressure in the system 4 Turn off the Turbopump 5 When the Turbo V pump and the backing pump are stopped and the system is at at mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisa...

Page 42: ...ime 969 9833 Vent device with adjustable delay time 969 9831 Forepump DS 402 with 1 ph 3 ph universal motor 949 9382 Dry forevaccum pump MD 60 120 V 949 9411 Dry forevacuum pump MD 60 220 V 949 9412 T...

Page 43: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 44: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 45: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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