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GEBRAUCHSANLEITUNG 

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87-900-874-01(B) 

ALLGEMEINES 

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch 
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren 
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei 
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, 
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht 
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier 
zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma 
Varian keinerlei Haftung. 
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V550 handelt es sich um 
Turbomolekularpumpen für Hoch- und 
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art 
von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung 
von Flüssigstoffen oder Festpartikel. 
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine 
(max. 42000 Upm) erzielt, die von einem 
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V550-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche Substanzen 
und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein 
"sauberes" Vakuum vorschreiben. 
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen 
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der 
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische 
Informationen sind im Anhang "Technical Information" 
enthalten.  

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise 
folgendermaßen hervorgehoben:

  

 

,

 

GEFAHR!

 

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des 
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei 
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen 
können. 

 

ACHTUNG! 

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den 
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden 
an der Anlage entstehen können. 

ANMERKUNG

 

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus 
dem Text hervorgehoben werden. 

LAGERUNG 

Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen 
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: 

− 

Temperatur:  von -20°C bis +70°C 

− 

Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% 

Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei 
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden 
(siehe Handbuch der Steuereinheit). 

VOR DER INSTALLATION 

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung 
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der 
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. 
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht 
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.  
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist 
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 
für Umweltschutz. 

 

ACHTUNG! 

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die 
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, 
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe 
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 

 
 
 
 

 

ANMERKUNG

 

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre 
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur 
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um 
Staubverschmutzungen zu vermeiden. 

INSTALLATION 

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die 
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und 
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte 
Brandgefahr besteht. 
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen 
eingehalten werden: 

− 

Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck 

− 

Temperatur: von +5°C bis +35°C 

− 

Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).

 

 
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über 
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms 
geschützt werden. 
 

 

ACHTUNG!

 

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim 
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. 

 

Summary of Contents for 969-9047 series

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Page 33: ...reen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The screen can be removed...

Page 34: ...t a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C The heater band...

Page 35: ...These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that the tube s gets loose or disconnected during operation Cooling may be carried out either through an open circuit wit...

Page 36: ...the pump base Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver Connect the fan to the controller A fan kit model 969 9314 is available for air cool ing the pump Fan specificati...

Page 37: ...e purge port cover as shown in the fol lowing figure The vent valve mod 969 9833 allows to avoid un desired venting of the pump during a temporary power failure 5 sec maximum and enables an automatic...

Page 38: ...the thread on the pump Screw the flange mod 969 9109 on the pump tak ing care of the o ring right position Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp VENT DEVICE IN...

Page 39: ...amps or claws as shown in the figure For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware 1 Turbo V controller To facilitate assembly and dismantling apply Fel pro C 100 high temperature...

Page 40: ...a mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming The turbopump is connected to the control...

Page 41: ...n 1 Close the corrosive gas flow into the system The result is increased electrical power consump tion by the motor most of which is dissipated in the rotor 2 Leaving the Turbo V pump and the backing...

Page 42: ...n damper ISO 160 969 9345 Vibration damper CFF 8 969 9335 Vent flange NW 10 KF 969 9109 Vent valve with fixed delay time 969 9833 Vent device with adjustable delay time 969 9831 Forepump DS 302 with 1...

Page 43: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 44: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 45: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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