Parametrierung und Konfiguration
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TR - ELA - BA - DGB - 0027 - 03
11/12/2019
6.3.4.5 Skalierung: Auflösung [nm] (PNU 65006)
Über diesen Parameter wird die Auflösung des Mess-Systems in [nm] eingestellt, siehe auch Kapitel
PNU
65006
Bedeutung
Auflösung in nm
Datentyp
Unsigned32
Zugriff
lesen / schreiben
Aktivierung
PNU 972
Speicherung
PNU 971
Bits
Definition
0-31
0x0000 03E8 (1000):
Auflösung = 1 µm pro Schritt
0x0000 07D0 (2000):
Auflösung = 2 µm pro Schritt
0x0000 1388 (5000):
Auflösung = 5 µm pro Schritt
0x0000 2710 (10 000):
Auflösung = 10 µm pro Schritt
0x0000 C350 (50 000):
Auflösung = 50 µm pro Schritt
0x0001 86A0 (100 000): Auflösung = 100 µm pro Schritt
0x000F 4240 (1000 000): Auflösung = 1 mm pro Schritt
6.3.4.6 Skalierung: Gesamtauflösung (PNU 65007)
Über diesen Parameter wird die Gesamtschrittzahl über den gesamten Messbereich des Mess-
Systems festgelegt, siehe auch Kapitel 6.3.3.15 auf Seite 40.
PNU
65007
Bedeutung
Gesamtauflösung in Schritte
Datentyp
Unsigned32
Zugriff
lesen / schreiben
Aktivierung
PNU 972
Speicherung
PNU 971