Thyracont VSM77PN, Operating Instructions Manual

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7 Technische Daten
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode
(Invertiertes Magnetron), gasartabhängig
Messbereich 1000 - 5,0x10
-9
mbar (750 - 5,0x10
-9
Torr)
Max. Überlast 10 bar abs.
Genauigkeit 1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
10 ... 2,0x10
-3
mbar: 10% v. Messwert
2,0x10
-3
... 1,0x10
-8
mbar: 25% v. Messwert
Wiederholbarkeit 10 ... 1,0x10
-2
mbar: ca. 2% v. Messwert
1,0x10
-2
... 1,0x10
-8
mbar: ca. 7% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas,
Molybdän, Al
2
O
3
Keramik
Anodenmaterial Molybdän
Anodenspannung < 2,5 kV
Reaktionszeit 50 ms (Einschalten Kaltkathode < 2 s)
Betriebstemperatur 5 ... 50
◦
C
Lagertemperatur -40 ... +65
◦
C
Ausheiztemperatur max. 160
◦
C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
VSM-Profinet-200116