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V   a   c   u   u   m        I   n   s   t   r   u   m   e   n   t   s           

VSM77PN, VSM78PN, VSM79PN

Vakuum Transmitter

Vacuum Transducer

®Registered trademark of Profibus & Profinet International (PI)

Betriebsanleitung

Operating Instructions

Summary of Contents for VSM77PN

Page 1: ...V a c u u m I n s t r u m e n t s VSM77PN VSM78PN VSM79PN Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Registered trademark of Profibus Profinet International PI Betriebsanleitung Operating Instructions...

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Page 3: ...eines 10 4 2 Status LED 11 4 3 Ausheizen 11 5 Kommunikation 12 5 1 Die serielle Schnittstelle des VSM 12 5 2 Die Profinet Schnittstelle des VSM 13 5 3 Parameter bersicht 14 5 4 Ger te Parameter und In...

Page 4: ...eaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien z B infolge der Eigenerw rmung des Produkts Ger t nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eve...

Page 5: ...Metall Schutzblende ZZCH025 Zentrierdichtring DN40KF mit Metall Schutzblende ZZCH040 Metall Schutzblende f r DN40CF ZZCH040CF Stecker und Messkabel Kabel 3m f r Stromversorgung WE0012003 Kabel 5m f r...

Page 6: ...mponenten angeschlossen werden Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbesondere Anschluss an Ger te oder Komponenten...

Page 7: ...schluss fachgerecht ber KF Kleinflansch CF Flansch herstellen F r Kleinflansch Verbindung Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen Dichtringe mit Zentr...

Page 8: ...r Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten Dies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Spannungsversorgung RS485 Schnittstelle Die elekt...

Page 9: ...Switch erforderlich Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV gerecht gem untenstehender Pinbelegung herzustellen Stecker 2x M12 D kodiert 4polig weiblich Pin1 Tx Transmit D...

Page 10: ...ausgelesen werden Dar ber hin aus k nnen verschiedene Parameter wie Gasart Korrekturfaktoren programmiert werden Weitere Informationen hierzu finden Sie in Kapitel 5 Stabilisierungszeit Die Ausgabe d...

Page 11: ...Vakuumkammer mit angeflanschtem VSM ausgeheizt werden so darf die Temperatur am Sensorflansch 160 C keinesfalls berschreiten Die Spannungsversorgung des Transmitters muss w hrend des Ausheizens der K...

Page 12: ...die Telegramme gem Thyracont Protokoll Versi on V2 als ASCII Code bertragen Ausf hrliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung Thyracont Communication Protocol Download unte...

Page 13: ...Anzeige Zustand Beschreibung L A PN P1 gr n aus keine Verbindung mit Profinet Netzwerk an Port 1 an linked physikalische Verbindung zu ar beitsf higem Profinet Netzwerk an Port 1 vorhanden flackert ak...

Page 14: ...ni M1 Measurement Value 4 Cold Cathode M41 Adjust High Atmosphere Pressure AH x Adjust Low Zero Pressure AL x Sensor Transition ST x Cathode Control CC x Gas Correction Factor 1 Pirani C1 x Gas Correc...

Page 15: ...Versionsnummer des Ger ts Version Firmware VF Abfragen der Firmware Versionsnummer des Ger ts Version Bootloader VB Abfragen der Bootloader Version des Ger ts Baud Rate BR Einstellen der Baudrate zur...

Page 16: ...bei Versorgungsspannung 24 V stehend d h mit dem Flansch nach unten abgeglichen Andere Einbaulagen Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmu...

Page 17: ...ansprechbar Kaltkathode aktivieren und deaktivieren Cathode Control CC Bei bestimmten Prozess Schritten kann es gew nscht sein das von der Ger te elektronik automatisch gesteuerte Ein und Ausschalten...

Page 18: ...ren f r beide Sensortypen gesetzt werden Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Ger t mit den jeweiligen Korrekturfaktoren multipliziert so dass am digitalen Ausgang des Transmitters ein ko...

Page 19: ...ibrierte Ersatzsen soren ausgetauscht werden Ersatzteile B_VSM77 B_VSM78 und B_VSM79 Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Ver schlei zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Gew hrl...

Page 20: ...20 VSM Profinet 200116...

Page 21: ...2 0x10 3 1 0x10 8 mbar 25 v Messwert Wiederholbarkeit 10 1 0x10 2 mbar ca 2 v Messwert 1 0x10 2 1 0x10 8 mbar ca 7 v Messwert Materialien mit Vakuumkontakt Edelstahl 1 4307 Wolfram Nickel Glas Molybd...

Page 22: ...t no parity Anschluss M12 Rundsteckverbinder A codiert 5polig weibl verschraubbar Profinet Schnittstelle Anschluss M12 Rundsteckverbinder D codiert 4polig weibl verschraubbar Vakuumanschluss VSM77 Kle...

Page 23: ...23 8 Konformit tserkl rung VSM Profinet 200116...

Page 24: ...24 VSM Profinet 200116...

Page 25: ...2 Status LED 33 4 3 Bake Out 33 5 Communication 34 5 1 The Serial Interface of the VSM 34 5 2 The Profinet interface of the VSM 35 5 3 Survey of Commands 36 5 4 Device Parameters and Information 37 5...

Page 26: ...ns between materials and process media e g due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether...

Page 27: ...s Available Accessories Centering ring DN25KF with metal baffle ZZCH025 Centering ring DN40KF with metal baffle ZZCH040 Metal baffle for DN40CF ZZCH040CF Connectors and Cables Cable 3m for power suppl...

Page 28: ...to components specifically provided for such purpose Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper in particular connection to components which are not specified for in t...

Page 29: ...he protective cover is required again during maintenance work Make vacuum connection via ISO KF small flange or CF conflat flange For small flange connection use clamps that can be opened and closed w...

Page 30: ...nnections with elastomer sealings cannot withstand such pressures Process media thus can leak and possibly damage your health 3 3 Electrical Connection 3 3 1 Voltage Supply RS485 Interface The electri...

Page 31: ...ctrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below Socket 2x M12 D coded 4 pole female Pin1 Tx Transmit Data Pin2 Rx...

Page 32: ...dditionally you can set various parameters like gas correction factors For further information see chapter 5 Warm Up Time The signal output is available approx 2 s after the unit is switched on To tak...

Page 33: ...a bake out of the vacuum chamber is performed with the VSM being moun ted to the chamber the temperature at the sensor flange must not exceed 160 C The transducer s voltage supply must be switched of...

Page 34: ...tted as ASCII text according to the Thyra cont protocol version V2 Detailed information is provided in the separate descrip tion Thyracont Communication Protocol Download link www thyracont vacuum com...

Page 35: ...splay State Explanation L A PN P1 green off No connection with Profinet net work at port 1 on linked Physical connection with opera ting Profinet network at port 1 flickering aktiv Network data traffi...

Page 36: ...ment Value 1 Pirani M1 Measurement Value 4 Cold Cathode M41 Adjust High Atmosphere Pressure AH x Adjust Low Zero Pressure AL x Sensor Transition ST x Cathode Control CC x Gas Correction Factor 1 Piran...

Page 37: ...he device s hardware version Version Firmware VF Query of the device s firmware version Version Bootloader VB Query of the device s bootloader version Baud Rate BR Set the baud rate for data transmiss...

Page 38: ...justed ex works with 24 V voltage supply in upright position flange to the bottom Other orientation operation under different climatic conditions extreme tempera ture changes ageing or contamination c...

Page 39: ...10 4 2 0x10 3 mbar Not accessible via Profinet Enable Disable Cold Cathode Cathode Control CC For certain vacuum processes it may be favoured to suppress the automatic start of the cold cathode sensor...

Page 40: ...ctors for both sensor types The measurement results of each sensor are then individually multiplied with the corresponding correction factors by the unit s microcontroller thereby providing a correcte...

Page 41: ...e by calibra ted replacement sensors spare parts B_VSM77 B_VSM78 and B_VSM79 Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Error Messages and Mal...

Page 42: ...42 VSM Profinet 200116...

Page 43: ...g 10 2 0x10 3 mbar 10 f reading 2 0x10 3 1 0x10 8 mbar 25 f reading Repeatability 10 1 0x10 2 mbar approx 2 f reading 1 0x10 2 1 0x10 8 mbar approx 7 f reading Materials in contact with vacuum stainl...

Page 44: ...nterface 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Connector M12 round type A coded 5 pole female lockable Profinet interface Connector M12 round type D coded 4 pole female lockable Vacuum connection...

Page 45: ...45 8 Declaration of Conformity VSM Profinet 200116...

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