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7 Technische Daten
Messprinzip
Wärmeleitfähigkeit Pirani / Heißkathode
Bayard Alpert, gasartabhängig
Messbereich
1000 - 5,0x10
-10
mbar (750 - 5,0x10
-10
Torr)
Max. Überlast
4 bar abs.
Genauigkeit
1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
10 ... 1,0x10
-8
mbar: 10% v. Messwert
Wiederholbarkeit
10 ... 1,0x10
-2
mbar: 2% v. Messwert
1,0x10
-2
... 1,0x10
-8
mbar: 5% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt
Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas,
Platin, Iridium, Yttriumoxid
Filamente Bayard Alpert
yttriertes Iridium
Emissionsstrom
9 µA, 100 µA, 1,0 mA, 2,0 mA
Degas Methode
ohmsche Heizung der Anode
Reaktionszeit
50 ms (Ein-/Umschalten Emissionsstrom < 2 s)
Betriebstemperatur
5 ... 60
◦
C
Lagertemperatur
-40 ... +65
◦
C
Ausheiztemperatur
max. 180
◦
C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
VSH-RS485-200116
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Page 32: ...32 8 Konformit tserkl rung VSH RS485 200116...
Page 43: ...43 How to access Degas and Adjustment functions by means of the Adj key VSH RS485 200116...
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Page 62: ...62 8 Declaration of Conformity VSH RS485 200116...
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