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26

Korrekturfaktor C3 Heißkathode:
Ar

CO

2

H

2

He

N

2

Ne

Kr

Xe

0,8

0,74

2,4

5,9

1,0

3,5

0,6

0,41

Skalierung Analogausgang - Analog Output Characteristic (OC)

Die Skalierung des analogen Signalausgangs lässt sich mithilfe dieses Parameters
per Softwarebefehl den Erfordernissen der Anwendung anpassen. Beispielsweise
kann die Ausgangscharakteristik so eingestellt werden, dass das Signal zu Gerä-
ten anderer Hersteller kompatibel ist.
Eine denkbar einfache Anpassung der Kennlinie mit graphischer Unterstützung ist
z.B. mithilfe der Software VacuGraph

TM

möglich.

Im Datenteil des Software-Telegramms werden folgende Parameter übertragen:

CHAR:

»Log«: Spannung hängt logarithmisch vom Druck ab

V

out

[V] = GAIN[V] x log (p[mbar]) + OFFSET[V]

»Lin«: Spannung hängt linear vom Druck ab

V

out

[V] = GAIN[V/mbar] x p[mbar] + OFFSET[V]

GAIN:

G[float] Verstärkung in V pro Druckdekade bzw. V pro mbar

OFFSET:

O[float] Spannungsoffset in V

LOW.L:

L[float] kleinste zulässige Ausgabespannung in V

UPP.L:

L[float] höchste zulässige Ausgabespannung in V

UNDER.:

U[float] Ausgabespannung in V bei Messbereichsunterschreitung

OVER.:

O[float] Ausgabespannung in V bei Messbereichsüberschreitung

FAULT:

F[float] Fehlersignal in V

VSH-RS485-200116

Summary of Contents for VSH87D

Page 1: ...V a c u u m I n s t r u m e n t s VSH87D VSH88D VSH89D VSH87DL VSH88DL VSH89DL Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...

Page 2: ......

Page 3: ...11 4 3 Degas 14 4 4 Nachjustieren 15 4 5 Ausheizen 16 5 Kommunikation 17 5 1 Die serielle Schnittstelle des VSH 17 5 2 Parameter bersicht 18 5 3 Ger te Parameter und Information 19 5 4 Messwertabfrag...

Page 4: ...utzma nahmen Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien z B infolge der Eigenerw rmung des Produkts Ger t nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern Informieren Sie...

Page 5: ...ittstellenkonverter RS485 USB Steckernetzteil 24 V Zentrierdichtring DN25KF mit Metall Schutzblende ZZCH025 Zentrierdichtring DN40KF mit Metall Schutzblende ZZCH040 Metall Schutzblende f r DN40CF ZZCH...

Page 6: ...nur an geeignete und hierf r vorgesehene Komponenten angeschlossen werden Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbes...

Page 7: ...ch Verbindung Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen Dichtringe mit Zentrierring verwenden Sicherstellen dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter...

Page 8: ...hr standhalten Dies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te Wird der Transmitter an einem Thyracont Anz...

Page 9: ...nnlich Pin1 Identifikation 39 k Pin2 Signal Output 0 10 VDC Pin3 AGND Pin4 Voltage Supply 24 VDC Pin5 Supply GND Pin6 Relay 1 N O Pin7 Relay 1 Common Pin8 Relay 1 N C Pin9 Degas extern Pin10 RS485 Pi...

Page 10: ...rzu Abschnitt 5 8 Serielle Schnittstelle RS485 Der gemessene Druckwert kann ber die serielle RS485 Schnittstelle des Trans mitters digital ausgelesen werden Dar ber hinaus k nnen verschiedene Para met...

Page 11: ...11 4 2 Bedienung des VSH Die Status LED des VSH signalisiert folgende Betriebszust nde Die Schaltpunkt LEDs leuchten sobald das zugeh rige Relais angezogen ist VSH RS485 200116...

Page 12: ...Zum ndern der Anzeigeeinheit mbar Torr hPa w hrend die Spannungsversorgung angeschlos sen wird die Adj Taste gedr ckt halten bis die Anzeige Unit erscheint Dann die gew nschte Einheit durch Dr cken de...

Page 13: ...13 Bedienschema Adj Taster f r die Funktionen Degas und Nachjustieren VSH RS485 200116...

Page 14: ...endreher oder hnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz auf den Tas ter dr cken 2 bis die Status LED schnell rot zu blinken beginnt Nach 3 s ohne weiteren Tastendruck startet automatisch der Degas Vorgang si...

Page 15: ...er anderen klimatischen Bedingungen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmutzung k nnen ein Nachjustie ren des Pirani Sensors erforderlich machen Nachjustieren durch Tastendruck am Ger t...

Page 16: ...r Transmitter nun nachjustiert werden kann Hierzu nochmals kurz die Taste dr cken Gummi stopfen nun wieder einsetzen Nachjustieren per Software Kommando Siehe Abschnitt 5 7 4 5 Ausheizen Soll die Vaku...

Page 17: ...koll Versi on V2 als ASCII Code bertragen Ausf hrliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung Thyracont Communication Protocol Download unter www thyracont vacuum com unterstu...

Page 18: ...t High Atmosphere Pressure AH Adjust Low Zero Pressure AL Sensor Transition ST Degas DG Digital Logic DL Cathode Control CC Filament Control FC Filament Number FN Filament Status FS Gas Correction Fac...

Page 19: ...gen der Hardware Versionsnummer des Ger ts Version Firmware VF Abfragen der Firmware Versionsnummer des Ger ts Version Bootloader VB Abfragen der Bootloader Version des Ger ts Baud Rate BR Einstellen...

Page 20: ...l vom Hei kathodensensor gemessenen Druckwertes Bei ausgeschalteter Hei kathode wird der Fehlercode _ SEDIS zur ckgegeben 5 5 Displayfunktionen Display Unit DU Abfragen und Einstellen der f r das LCD...

Page 21: ...iedene Schaltmodi konfigu riert werden der Parameter dient zum Abfragen und Einstellen dieser Schaltmodi Einstellung T p1 F p2 Hier werden zwei Druckwerte T p1 true und F p2 false bertragen Fall T p1...

Page 22: ...b wenn eines der BA Filamente defekt ist Einstellung T0 Relais per Software Kommando ausschalten off Einstellung T1 Relais per Software Kommando einschalten on Die Kontroll LEDs auf der Steckerseite d...

Page 23: ...s ein Die Druckmessung l uft w hrend des Degas Vorgangs weiter Die ser endet automatisch nach ca 3 Minuten kann jedoch jeder zeit abgebrochen werden W hrend des Degas Vorgangs blinkt die Status LED de...

Page 24: ...automatisch gesteuerte Ein und Ausschalten des Hei kathoden Sen sors zu unterdr cken Hierzu ist es m glich den Sensor mithilfe des Ger te Parameters Cathode Con trol CC per Softwarebefehl zu deaktivie...

Page 25: ...us FS Mithilfe dieses Parameters wird der Fehlerstatus des Bayard Alpert Hei kathoden Sensors abgefragt 0 kein Fehler Filament 1 und 2 ok 1 Filament 1 defekt 2 Filament 2 defekt 3 Filament 1 und 2 def...

Page 26: ...Unterst tzung ist z B mithilfe der Software VacuGraphTM m glich Im Datenteil des Software Telegramms werden folgende Parameter bertragen CHAR Log Spannung h ngt logarithmisch vom Druck ab Vout V GAIN...

Page 27: ...Auch als Set SLZUB mit Schutzkoffer Schnittstellen adapter RS485 USB und 24 V Steckernetzteil f r den Transmitter erh ltlich Download VacuGraph www vacugraph com Plotten Analysieren und Speichern von...

Page 28: ..._VSH87A B_VSH88A und B_VSH89A Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Ver schlei zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Gew hrleistung Fehlersignal und St rungen Problem M gliche Urs...

Page 29: ...29 VSH RS485 200116...

Page 30: ...x10 2 mbar 2 v Messwert 1 0x10 2 1 0x10 8 mbar 5 v Messwert Materialien mit Vakuumkontakt Edelstahl 1 4307 Wolfram Nickel Glas Platin Iridium Yttriumoxid Filamente Bayard Alpert yttriertes Iridium Emi...

Page 31: ...misch Serielle Schnittstelle RS485 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Schaltausg nge 2x Relais potentialfrei 50 VAC 2 A bzw 30 VDC 2 A max 60 VA Elektrischer Anschluss Sub D 15polig m nnl versc...

Page 32: ...32 8 Konformit tserkl rung VSH RS485 200116...

Page 33: ...VSH 41 4 3 Degas 44 4 4 Readjustment 45 4 5 Bake Out 46 5 Communication 47 5 1 The Serial Interface of the VSH 47 5 2 Survey of Commands 48 5 3 Device Parameters and Information 49 5 4 Measurement Que...

Page 34: ...cess media used Consider possible reactions between materials and process media e g due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit...

Page 35: ...Accessory Set Smartline SLZUB Protective case Interface converter RS485 USB Plug in power supply 24 V Centering ring DN25KF with metal baffle ZZCH025 Centering ring DN40KF with metal baffle ZZCH040 Me...

Page 36: ...sure measurements in ga seous media It may only be connected to components specifically provided for such purpose Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper in particu...

Page 37: ...n via ISO KF small flange or CF conflat flange For small flange connection use clamps that can be opened and closed with appropriate tools only use sealing rings with a centering ring Make sure that t...

Page 38: ...Process media thus can leak and possibly damage your health 3 3 Electrical Connection 3 3 1 Operation with Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control...

Page 39: ...below Socket Sub D 15 pole male Pin1 Identification 39 k Pin2 Signal Output 0 10 VDC Pin3 AGND Pin4 Voltage Supply 24 VDC Pin5 Supply GND Pin6 Relay 1 N O Pin7 Relay 1 Common Pin8 Relay 1 N C Pin9 Deg...

Page 40: ...an be scaled by software com mand see section 5 8 Serial Interface RS485 The measured absolute pressure can be read out digitally via the transducer s seri al RS485 interface Additionally you can set...

Page 41: ...41 4 2 Operation of the VSH The status LED of the VSH signalizes the following operational states The switchpoint LEDs are on when the related relay is activated VSH RS485 200116...

Page 42: ...illuminated by a red back ground color In order to change the display unit mbar Torr hPa hold the Adj key pressed while connecting power supply until the display shows Unit Then select the desired un...

Page 43: ...43 How to access Degas and Adjustment functions by means of the Adj key VSH RS485 200116...

Page 44: ...j pushbutton 1 then press the button several times by means of a small screwdriver or similar tool 2 un til the status LED starts flashing quickly in red color After 3 s the degas process starts signa...

Page 45: ...nder different climatic conditi ons extreme temperature changes ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor Readjustment by Pushbutton Digital readjustment at...

Page 46: ...the transducer now can be readjusted by pushing the button once again Finally insert the rubber cap again Readjustment via Software Command See section 5 7 4 5 Bake Out When a bake out of the vacuum c...

Page 47: ...e Thyra cont protocol version V2 Detailed information is provided in the separate descrip tion Thyracont Communication Protocol Download link www thyracont vacuum com en support downloadcenter Interfa...

Page 48: ...lay 2 R2 Adjust High Atmosphere Pressure AH Adjust Low Zero Pressure AL Sensor Transition ST Degas DG Digital Logic DL Cathode Control CC Filament Control FC Filament Number FN Filament Status FS Gas...

Page 49: ...e VD Query of the device s hardware version Version Firmware VF Query of the device s firmware version Version Bootloader VB Query of the device s bootloader version Baud Rate BR Set the baud rate for...

Page 50: ...3 Query current pressure measurement of the hot cathode sensor If the hot cathode sensor is switched off error code _ SEDIS will be returned 5 5 Display Functions Display Unit DU Query and set the pre...

Page 51: ...switching modes The pa rameter is used to query and set these switching modes Setting T p1 F p2 In this case 2 pressure thresholds T p1 true and F p2 false are transmitted T p1 F p2 The relay closes...

Page 52: ...opens if one of the BA filaments is defective Setting T0 Open relay by software command off Setting T1 Close relay by software command on The control LEDs on top of the transducer will be on as soon...

Page 53: ...e status 0 Degas off 1 Degas on The degas procedure will stop automatically after approx 3 minu tes but can be cancelled any time While the sensor is degassing the red status LED is flashing slowly in...

Page 54: ...matic start of the hot cathode sensor which is usually controlled by the transducer electronics Therefore it is possible to disable the hot cathode by software comand Cathode Control CC 0 hot cathode...

Page 55: ...lure status of the hot cathode sensor 0 no error filaments 1 and 2 ok 1 filament 1 defective 2 filament 2 defective 3 filaments 1 and 2 defective Gas Correction Factor C1 C3 The measurement signal of...

Page 56: ...section of the software telegram contains the following parameters CHAR Log logarithmic relation between voltage and pressure Vout V GAIN V x log p mbar OFFSET V Lin linear relation between voltage a...

Page 57: ...e parameters Also available as set SLZUB with protective case interface adapter RS485 USB and 24 V plug in power supply for the transducer Download VacuGraph www vacugraph com Plot analyze and save me...

Page 58: ...and B_VSH89A Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Error Messages and Malfunction Problem Possible Cause Correction high measurement err...

Page 59: ...59 VSH RS485 200116...

Page 60: ...2 mbar 2 f reading 1 0x10 2 1 0x10 8 mbar 5 f reading Materials in contact with vacuum stainl steel 1 4307 tungsten nickel glass platinum iridium yttria oxide Filaments Bayard Alpert yttria coated ir...

Page 61: ...garithmic Serial interface RS485 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Switchpoints 2x relay potential free 50 VAC 2 A or 30 VDC 2 A max 60 VA Electrical connection Sub D 15 pole male lockable Vac...

Page 62: ...62 8 Declaration of Conformity VSH RS485 200116...

Page 63: ...VSH RS485 200116...

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