Thyracont SP363, Operating Instructions Manual

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6 Technische Daten
Messprinzip Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani
(Pirani gasartabhängig)
Messbereich 2000 - 5,0x10
-5
mbar (1500 - 5,0x10
-5
Torr)
Max. Überlast 10 bar abs.
Genauigkeit 2000 ... 200 mbar: 2% v. Messwert
200 ... 40 mbar: 5% v. Messwert
40 ... 1,0x10
-3
mbar: 10% v. Messwert
Wiederholbarkeit 2000 ... 40 mbar: 0,1% v. Skalenendwert
40 ... 1,0x10
-2
mbar: 2% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, SiO
2
,
Zinn-Silber-Lot, Polyimid, Epoxid
Reaktionszeit 18 ms
Betriebstemperatur 5 ... 60
◦
C
Lagertemperatur -40 ... +65
◦
C
Ausheiztemperatur max. 125
◦
C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
Spannungsversorgung 12 - 30 VDC
Leistungsaufnahme max. 1,0 W
Ausgangssignal 4 - 20 mA, logarithmisch
Elektrischer Anschluss M12 Rundsteckverbinder A-codiert, 5polig,
männl., verschraubbar
Vakuumanschluss VSR53: Kleinflansch DN16 ISO KF
VSR54: Conflat Flansch DN16 CF
VSR-4-20 mA-210805