background image

                                                                                                                                              

v

                                                                     

EDH0387En1020 — 09/18

BG Series                                                                                                                  Goniometric Cradles

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

af

f

n

ch

ach

2/

f

an

m

m

f

nf

f

EU Declaration of Co

 Co foo

f Council Directive(s):

܈

2014/30/EU Electro aagnetic Co pp

܆

2014/35/EU Low Voltage Directiv

܆

2014/68/EU Europe n P

 Pressure Eq

܈

2011/65/EU  Restriction of H

 Hazardo

܈

2006/4 /E

EC

M

iinery Directive (

whi h co

 conffoormity is declared:

܈

EN 61326-1:2013 (EMC); 

܆

܆

EN 61010-1:2010 (S fet

ety); 

܆

PED Module SEP (Sound E

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

an

u

i

n

a

ormity

patib

tibility Directive (EMCD)

e (LVD)

quipmentt Directive (PED)

ous Subbst nces

ces Directive (RoHS)

(MD)

܆

EN 61326-2-3:2013 (EMC); 

 Engineering Practices); 2014

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

an

f

n

a

Applicatio

tio   of C

St ddard(s) to

܆

PED Module SEP (Sound E

Emissions:

tif

܆

CISPR 11:2015

Industrial, Scien fic

ic and Medical Equipment Radio-Frequency D

Measurement

f

/

/

f

ita

f

ita

f

܆

IEC 61000-3-2:2014 EMC/Limits foor Harmonic Current Emission

(1)

܆

IEC 61000-3-3:2013 EMC/Lim atio

tions of V

 Voltage Fluctuations and Flicker in Low

܆

IEC 61000-3-3:2013 EMC/Lim atio

tions of V

 Voltage Fluctuations and Flicker in Low

܈

EN 55011: 2009+A1:2010 

(4)

܆

FCC 47 CFR Part 18: 2015

Immunity:

܈

IEC 61000-4-2:2008 EMC/Electrostatic Discharge Immunity Test 

܈

IEC 61000-4-3:2006 2006+AMD1:2007+AMD2:2010 EMC/Radiated Radio - Fre

܈

IEC 61000-4-4:2012 EMC/Electrical Fast Transient/Burst Immunity Test

܈

IEC 61000-4-5:2014 EMC/Surge Immunity Test

(3)

܈

IEC 61000-4-6:2013 EMC/Conducted Disturbances induced by Radio Frequency

܆

IEC 61000-4-8:2009 EMC/Power Frequency Magnetic Field Immunity Test

܆

IEC 61000-4-11:2004 EMC/Voltage Dips, Short Interruptions and Variations Imm

܆

IEC 61000-4-34:2005+AMD1:2009 EMC/Voltage Dips, Short Interruptions and V

Manufaacturers Name:

MICRO-CONTROLE Spectra-Physics. EVRY

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

 Engineering Practices); 2014

isturbance Characteristics - Limits and Methods of      

w-Voltage Supply Systems

(2)

w-Voltage Supply Systems

(3)

equency Electromagnetic Field Immunity Test

 Fields Immunity Test

munity Test

(5)

Variations Immunity Test 

(5)

Y, France.

PP/-PE/-PEBV6

f

n

s in confoormity with the selected European Union 

f

n

h

f

h

n

n

 an

  dd Standard(s) only when i installed in acc

 accordance 

e sole responsibility of t t e 

e manuufact

acturer.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

um

m

a

m

I pporter's Name & Locatio

tion:

/

Equip eent Type/Description:

High Precision Goniometers

Model N mbe

ber(s)

(6)

:

BGS50/80/-CC/-PP; M-/BGM120/160/200/-CC/-BP

d a

 th

ith

f

n

MKS co ffir

irms that, w h r

 respect to  hee products liste  above

bove, it believes it is

n

een

n

f

f

an

h

 a

h

f

on

la

n

a

n

m

har oo iizatio

tio   legis atio

tion. MKS product c nfor

orms to thee above Directive(s)

with m

 m uufact

acturer’s specifiications. This declaration h

 has b

  issued u dder th

u

u

 d

n

n

n

n

m

n

Date: 07/26/2018

Le Cointe Hervé
Quality Director

1)

Applicable to AC powered product only. Class B

2)

Applicable to AC powered product; DC powered connnections mus

ust not conne

nect to a D.C. distribution n

 network; I/O Sign

3)

Applicable to AC powered product; DC powered connnections and may connnect to a D.C. diistributtion network.

4)

Class A, Groupp 2

5)

Applicable to AC powered product only.

6)

Compliance of the above model numbers requires the use of a braided shielded cable properly terminated at both ends

en

MKS Instrum tts  Inc

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

 M

m

m

n

nal and Conttrol Lines muust be less than 30m a

 and no

    oth ends – if so noted in the  KS Instruction M

m

Document Numbber: M

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

ot exit the building.

 Manual.

 MKS-CR-1197

Revision: B

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

 

 

   

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

                                          

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

  

 

 

 

 

 

 

    

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

   

 

 

 

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

   

 

 

 

 

 

              

 

 

 

 

 

   

 

m

en

MKS Instrum tts, Inc.

Document Numbber: M

Andover, MA USA

MKS CONFIDENTIAL

EC Declaration of Conformity

Summary of Contents for BGM120

Page 1: ...Goniometric Cradles BG Series USER S MANUAL G U ARANTE E D S P E CIFICATIO N S...

Page 2: ...ranties expressed or implied including any implied warranty of merchantability or fitness for a particular use Newport Corporation shall not be liable for any indirect special or consequential damages...

Page 3: ...ion Definitions 4 3 4 Load Characteristics and Stiffness 4 3 5 Goniometric Cradle Weights 5 4 0 Drives and Motors 5 4 1 Stepper Drive Versions 5 4 2 DC Servo Drive Versions 6 4 3 Sensor Position 7 4 4...

Page 4: ...ric Cradles Assembly Pattern 15 7 1 BGM120 Interfaces 15 7 2 BGM160 Interfaces 16 7 3 BGM200 Interfaces 16 8 0 Dimensions 17 8 1 BGS50 Models 17 8 2 BGS80 Models 17 8 3 BGM Models 18 9 0 Maintenance 1...

Page 5: ...rers Name MICRO CONTROLE Spectra Physics EVRY Engineering Practices 2014 isturbance Characteristics Limits and Methods of w Voltage Supply Systems 2 w Voltage Supply Systems 3 equency Electromagnetic...

Page 6: ...y and preservation of the equipment or important tips WARNING Warning indicates a potentially dangerous situation which can result in bodily harm or death CAUTION Caution indicates a potentially hazar...

Page 7: ...liquid has entered the stage switch off the motor power and then disconnect the electronics from power supply Contact your Newport service facility and request repairs WARNING Do not insert or drop ob...

Page 8: ...temperature 10 to 35 C Storage temperature 10 to 40 C in its original packaging CAUTION Do not move this stage if its motor power is on Make sure that the cable to the electronics is disconnected bef...

Page 9: ...Vacuum compatible goniometric cradles to 10 6 hPa In this case max speed and load capacity have to be divided by two BGS50CC BGS80PP and BGM120BPP goniometric cradles RECOMMENDATION We recommend you...

Page 10: ...avel facilitates the return of the platform to a level position BG Series goniometric cradles are available in 5 sizes and may be configured with DC motors or stepper motors The selection of the motor...

Page 11: ...Accuracy Accuracy Correction Factor x Travel Repeatability Ability of a system to achieve a commanded position over many attempts Reversal Value Hysteresis Difference between actual position values ob...

Page 12: ...0 45 45 45 Minimum Incremental Motion 0 0005 0 0002 0 0005 0 0002 0 002 Uni directional Repeatability Typical 1 0 001 0 001 0 001 0 001 0 004 Bi directional Repeatability Typical 1 0 013 or 0 0065 0 0...

Page 13: ...igh torques The BGS50PP and BGS80PP are not equipped with an encoder Instead position is attained by the number of commanded steps and micro steps The high output torque of the stepper motor combined...

Page 14: ...incremental motion capabili ty However reversibility is compromised due to some backlash and hysteresis in the reduction gear and belt drive system The BGS80CC features a high resolution 4 000 cts re...

Page 15: ...oltage 4 3 Sensor Position End of Run and Mechanical Zero are 5 V open collector type The Index Pulse provides a repeatable Home Position at 1 step CAUTION End of Run and Mechanical Zero are active si...

Page 16: ...RS 422 type output signals Using these signals permits a high immunity to noise Emission circuits generally used by Newport are 26LS31 or MC3487 Reception circuits to use are 26LS32 or MC3486 0 1 Enco...

Page 17: ...ical Zero 14 Ground 15 N C 16 0 V 17 End of Run 18 End of Run 19 Encoder Phase A 20 Encoder Phase B 21 5 V 22 0 V 23 Encoder Phase A 24 Encoder Phase B 25 N C BGS80CC 1 N C 2 Motor 3 Mechanical Zero 4...

Page 18: ...r Phase B 21 5 V 22 0 V 23 Encoder Phase A 24 Encoder Phase B 25 Index Pulse I Connected to the cap Connected to the cap SUB D25M CONNECTOR 1 2 3 4 5 6 7 8 14 22 21 16 13 19 23 20 24 15 25 17 18 10 11...

Page 19: ...electronics unit CAUTION To protect the unit from damage be sure to Keep all air vents free of dirt and dust Keep all liquids away from the unit Do not expose the unit to excessive moisture 85 humidi...

Page 20: ...able is linked to the body of the stage for the BGS50 goniometric cradles BGS80 stages are delivered with a MSCABLE 3 cable and BGM stages with a MCAB 3 cable This cable is equipped with a SUB D25M fo...

Page 21: ...CABLE 1 50 38 CABLE IN MOTION 3 78 96 2 28 58 DISCONNECTED 39 10 SUB D25 CONNECTOR SHOWN DIMENSIONS IN INCHES AND MILLIMETERS WARNING This cable is shielded correctly For a correct operation make sur...

Page 22: ...ollers It is the customer s responsibility to modify the cable and take care of sensor signal connections when using the stage with non Newport controllers The Mechanical Zero logic signal is open col...

Page 23: ...pattern BGS80 on BGM120 use M4 holes in a SQR 1 89 48 mm pattern To access the mounting holes move the bottom stage carriage to one end of travel The 2 x M4 c bores on the BGM120 carriage will now be...

Page 24: ...62 92 DEPTH 31 8 4 HOLES M6 THD ON 6 14x 3 62 156x 92 DEPTH 31 8 BGM160 STAGE INTERFACES AFTER REMOVING THE BASE PLATE 4 HOLES M5 THD DEPTH 31 8 12 HOLES M6 THD DEPTH 31 8 3 62 92 4 HOLES C BORED FOR...

Page 25: ...FOR M3 SCREW ON 79x 2 52 20x 64 4 HOLES M3 THD ON SQR 79 20 DEPTH 20 5 4 HOLES M4 THD ON SQR 1 34 34 DEPTH 20 5 4 HOLES M4 THD ON SQR 1 89 48 DEPTH 24 6 4 HOLES M4 THD ON SQR 1 34 34 DEPTH 14 3 5 4 H...

Page 26: ...G H J K L M M BGM120 6 0x 2 0 152 4x 50 8 5 91x 3 94 150x 100 4 72 120 4 72 120 6 69 170 8 11 206 8 11 206 1 22 31 M BGM160 8 0x 4 0 203 2x 101 6 7 87x 5 91 200x 150 6 69 170 6 30 160 8 66 220 13 78...

Page 27: ...ion after 2000 hours of use If the BG goniometric cradle is mounted on a workstation and cannot be easily removed please contact Newport s After Sales Service for further instructions 9 2 Repair CAUTI...

Page 28: ...EDH0387En1020 09 18 20 BG Series Goniometric Cradles...

Page 29: ...Fax Name Company Address Country P O Number Item s Being Returned Model Description Reasons of return of goods please list any specific problems Return authorization Please obtain prior to return of i...

Page 30: ...sales newport com Technical Support Tel 800 222 6440 e mail tech newport com Service RMAs Returns Tel 800 222 6440 e mail service newport com Europe MICRO CONTROLE Spectra Physics S A S 9 rue du Bois...

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