background image

5. Ordering Information   

 

 

LC

  

  -

 

  3*02L 

 

-

 

  MO 

 

-

 

  22

 

  VR1 

   

J

            

A0A0

 

     

 

    

[1]   

 

 

 

[2]     

     

[3] 

      

[4] 

   

[5] 

      

[6]   

 

 

 

[1] Series Model 

 

LC: Liquid Mass Flow Controller    LC Series 

              * Depends on the flow rate   

 

[2] Seal type (Surface treatment) 

 

   

 

NO: No treatment   

       

 

MO: Precision polishing treatment 

 

[3]INLET,OUTLET fitting size (IN side, OUT side)

 

 

       

 

E.g. if : 3.2mm, OUT: 3.2mm, label as [22]    2 indicates size is 3.2mm 

 

[4] Fitting type 

         

 

VR1: VCR-compatible 112mm    SWL: SWL127.4 mm 

              * Depends on the fitting size 

 

[5] Option    J: 2% Close (This option “J” is recommended) 

 

[6] Other options 

     

       

               

Non-option setting is labeled “AA0A0”, please consult for more information. 

6. Connection 

 

(1) Analog interface connector 

   

 

                                   

Mounted connector :D-Sub 9pin (male)

 

Pair connector :D-Sub 9pin (female) 

                                                                                                  (Fixed size of screw M3) 

Pin No. 

Signal Name 

Function 

Valve override open/close signal  (Note 4) 

+15VDC:Open, -15VDC:Close 

Flow rate output signal 0 to 5 VDC 

Flow rate of power output (plus side) 
0 to 5 VDC 

P o w e r   s u p p l y   + 1 5 V D C ± 3 % 

Power supply (plus)    (100mA) 

Power supply COMMON (Note 5) 

Power supply COMMON ±15VDC 

P o w e r   s u p p l y   - 1 5 V D C ± 3 %  

Power supply (minus)    (50mA) 

Flow rate setting signal   
0 to 5 VDC 

Flow rate of power input (plus side)     
0 to 5VDC 

Flow rate output COMMON (Note5) 

Flow rate output signal COMMON 

Flow rate setting COMMON (Note5) 

Flow rate setting signal COMMON 

N.C. 

   

     

Note

 

     

4)

 

The impedance of the input setting of flow rate voltage is 100kΩ, the resistance of valve open 

     

                                                    

and close is 100kΩ. 

      Note5)

 

Pin No. 4,

 

7,

 

8 are connected in this device. 

   

   

To avoid the effect of COMMON potential difference, please follow the circuit as below. 

 
 
 
 
 
 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

     

If the high accuracy of the control is necessary, setting flow rate voltage is COMMON 

     

(Pin.8), and the flow rate output is COMMON (Pin.7) on the power side. Please do not 

       

connect the power COMMON (Pin4).

 

 

(2) Digital interface connector 

 

                             

Mounted connector: RJ45 modular jack      Pair connector: RJ45 modular plug 

Pin No. 

Name 

Function 

Signal COMMON 

RS-485 Signal COMMON 

Signal COMMON 

RS-485 Signal COMMON 

N.C. 

Signal [-Txd/Rxd] 

RS-485 2 -wire system transmitter. 
receiver minus signal 

Signal [+Txd/Rxd] 

RS-485 2- wire system transmitter. 
receiver plus signal 

N.C. 

N.C. 

N.C. 

 

 

7. Alarm function 

This LC features two alarm modes: alarm A and alarm B. Using a digital interface, 
alarm output of the digital connector or LED indicator located on top of the LC can 
monitor the alarm status. Alarm setting can only be changed through digital 
communication, so if a change is required, please do it through communication.   
Details are described in the digital interface manual and others. 

 

Alarm 

Set off 

LED indicator 

Setting value ≠ Flow rate output 

Continuous Red     

Flow totalizer Alarm level 2 
Power supply voltage drop (+15VDC) 

Off 

Valve voltage offset (At controllers) 

Red (every 0.5sec flashing) 

Zero adjustment error (Note6) 
Flow totalizer Alarm level 1 

Other 

Command error 

Continuous Red (every 0.5sec flashing) 

Normal 

Green (every 1sec flashing) 

8. Initial setting value (factory shipped value) 

This device is provided with a software switch for operation mode setting. Before 
operation, input the necessary data for various functions by using the digital   

interface. Details of the functions are described in the digital interface manual etc. 

 

Software switch 

Available values 

Function 

Default 

Device number 

00 to 99 

LC No. Registration 

00 

Alarm A range 

1 to 99 [%] 

Setting Alarm A range   

5% 

Alarm B range 

1 to 99 [%] 

Setting of Alarm B range   

20% 

Alarm timer 

0 to 99 [seconds] 

Setting of time to prohibit Alarm   

5 seconds 

Alarm A output 

Enable / Disable   

Setting of Alarm A LED display   

Enable 

Alarm B output   

Enable / Disable 

Setting of Alarm B LED display 

Disable 
(Note 6) 

Operation mode 

Analog / Digital 

Switching of Analog/digital   

Analog 

Power on mode 

Analog / Preset 

Switching  of  Operation  mode  in 
power turning on 

Preset 

Valve control 

C / O / H / S 

Close / Open / Hold / Servo 

Servo 

Control speed 

FAST / SLOW 

Switching of Response speed   

FAST 

Control mode   
(Note 7) 

2%Close/2%Hold/Normal 

Control mode setting at flow rate setting<2%. 
2%Close: Valve Close 
2%Hold: 2% Control 
Normal: Normal Control 

2%Close 

Communication 
protocol     

9600 to 38400bps 
8bit / 7bit 
Odd/Even/ None 
1bit / 2bit 

Baud rate       
Character length 
Parity 
Stop bit 

9600bps 
7bit 
None 
2bit 

Note

 

     

6)

 

Zero adjustment error alarms regardless of the “Enable” / “Disable” of the alarm. 

Note

 

     

7)

 

This table is the setting when less than 2% Close setting "JA0A0" is specified. 

· 

If the zero adjust button on the top of the device is pressed and held for over 5 seconds,   

 

 

the communication protocol is reset to default value (factory shipped value). 

9. Operation 

    (1) Preparation, operation

 

          1)    This product is packed in a clean room before shipment. Please break the seals in a   
             

                

clean room after taking it out of its box. 

          2)    Check the liquid type and flow rate, and check the direction of the gas flow and the   
               

       

MFC before installation. 

          3)    Check for gas leaks from the tubing with a helium (He) leak detector. 
          4)    Connect the interface connectors according to the Connector table. 
          5)    Power requirements are +15VDC:100mA and -15VDC:50mA. 
                    Check the voltage, polarity and capacitance of the power supply voltage. 
       

 

6) 

   

Turn on the power supply and let the equipment warm up for at least 5     

             

   

       

minutes (Recommended time: 30min). 

     

 

7) 

       

Adjust the zero point by pressing the zero-adjustment switch located on the top of 

               

       

the LC. 

Before zero adjustment, check that liquid is not being supplied and 

               

             

the device was warmed up for 30 minutes or more in order to ensure sensor 

               

              

stability.

 

         

  

 

8)   

  

Input the flow rate setting signal and supply gas with required differential pressure to the 

             

         

LC. The LC will begin to control the liquid flow in proportion to the preset voltage. 

           

 

 

 

Full-scale voltage is 5VDC. Maximum input voltage is ±15.5VDC. 

       

 

9)

           

           

When the output flow rate signal is used, the tolerance voltage of the external 

           

                       

device should be more than ±15.5VDC. When the power is supplied, there is the 

               

              

possibility to achieve the maximum voltage in the range of ±15.5VDC. 

     

 

    

10)

           

When a highly reactive liquid is used, thoroughly purge all foreign matter from   

           

 

   

         

 

the tubing and the LC before operation.   

       

 

11)

           

When contaminated liquid is used, install a filter at the equipment inlet. 

       

 

12)

           

Use the LC within the range of the operating temperature, and keep it at the 

           

same temperature with the gas. If used 

 

         

    

in any environment that does not meet the above-mentioned requirements, 

           

                           

the flow rate cannot be measured accurately and the device may fail. 

       

 

13)

             

Do not switch the power supply on and off within one second. It may cause   

           

         

       

failure.   

       

 

14)

             

Helium (He) gas is recommended for pushing the liquid. If any other gas is used, 

                  the

   

dissolved gas will produce bubbles, and it may make the control unstable.             

               

 

              15)

    

           

Bubbles may become the cause of the unstable control. So, perform the vacuuming   

               

       

         

   

of liquid line thoroughly before the introduction of liquid (Recommended).       

    

      

 

 

(2) Usage of the digital interface 

This unit supports RS-485 interface. Therefore, with the use of the digital 
interface, high performance liquid mass flow control can be achieved. Please 
refer to the digital interface manual. 

10. Product warranty 

(1) Period 

This product is guaranteed for a period of 1 year from the date of 
shipment. Defects are repaired according to the following regulations.  

(2) Scope 

  Warranty coverage is restricted to this product only. Any other damage 
  caused by this product is not covered. 

(3) Disclaimer facts   

  The following repairs are not covered by the warranty. 

    1) Failure caused by by-product of liquid or gas used   
    2) Failure caused by misuse (including careless operation) or incorrect repair or modification 
    3) Failure caused by falling or dropping after purchase 
    4) Failure caused by fire, earthquake, flood, lightning or other natural disasters 

 

      Even if the warranty period is still in effect, repair service may not be provided 
      in the following cases. 

   

1) When the kind of liquid or gas used in the product is unclear 

   

2) The product is returned with liquid or gas remaining inside and safety cannot 

 

 

 

be confirmed 

 

Please be aware that this device is a precision instrument and the generation   

 

of excessive electrical noise, changes in liquid temperature or pressure 

 

fluctuations may result in unstable control.   

 

This instruction manual is subject to revision without notice. 

                 

         

 

                       

http://www.lintec-mfc.co.jp 

Corporate Headquarters 

4-1-23 Sekinotsu, Otsu City, Shiga Pref. 520-2277, Japan

 

TEL.

 

+81-(0)77-536-2210 FAX. +81-(0)77-536-2215 

Tokyo Branch Office

 

3F Hattori Build., 4-30-14 Yotsuya Shinjyuku-ku Tokyo 160-0004, Japan

 

TEL.    +81-(0)3-5366-2801 FAX. +81-(0)3-3341-3513 

Reviews: