Agilent Technologies TV 551 Navigator, User Manual

Page: 148 / 328

9 Instruksjon Manual
Bruk
148/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
Bruk
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye
gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120 °C.
ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av
tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i
funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over
atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller
kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information).
ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal
ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.